基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用 被引量：6

1

作者 李程 江志斌 +4 位作者 李友 李娜 耿娜 姚世清 贾文友 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期230-235,共6页

针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组... 针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 批处理 瓶颈 调度

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面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略及参数优化 被引量：10

2

作者 张怀 江志斌 郭乘涛 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1257,共6页

针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、... 针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、方差和制品数量等4个指标上均有所改善. 展开更多

关键词 派工策略 响应曲面法 期望函数 半导体晶圆制造系统

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半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化 被引量：5

3

作者 李衍飞 江志斌 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期209-213,共5页

从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现... 从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 时变多目标 生产计划与调度 模糊控制 模拟退火法

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基于问题分解的蚁群算法在半导体晶圆制造调度中的应用 被引量：9

4

作者 郭乘涛 江志斌 张怀 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1798-1802,共5页

为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间... 为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间设置重叠操作以保证调度的一致性.为调度各子问题,提出一种分类蚁群算法以处理不同类型的机器.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行,结果表明,该方法对调度结果有显著的提升. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 调度 分解 蚁群算法

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基于驻留约束的半导体晶圆蚀刻系统实时调度算法 被引量：1

5

作者 李鑫 周炳海 陆志强 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1742-1745,1750,共5页

为有效利用半导体晶圆蚀刻系统,根据蚀刻系统的特点,进行了实时调度问题域的描述,提出了基于驻留约束的实时调度算法.在此基础上,建立了以无不良品和总完工时间最小为目标的启发式实时调度算法.仿真实验结果表明,该算法是有效和实用的.

关键词 蚀刻系统 半导体晶圆制造 实时调度 驻留约束

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基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究 被引量：1

6

作者 李衍飞 江志斌 张怀 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期732-737,共6页

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最... 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统(swfs) 时变多目标(TVMO) 生产计划与调度 模糊控制

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基于改进型多目标粒子群算法的晶圆制造系统瓶颈工作站调度 被引量：8

7

作者 周炳海 胡新宇 孙超 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期63-68,共6页

为了尽可能提高瓶颈工作站利用率,在获得较高系统产能的同时得到一个合理的制造周期,构建了以最小化瓶颈工作站的平均加权提前/拖期时间和最小化瓶颈工作站流程时间为优化目标的改进型多目标粒子群算法,并对瓶颈工作站进行了性能分析.... 为了尽可能提高瓶颈工作站利用率,在获得较高系统产能的同时得到一个合理的制造周期,构建了以最小化瓶颈工作站的平均加权提前/拖期时间和最小化瓶颈工作站流程时间为优化目标的改进型多目标粒子群算法,并对瓶颈工作站进行了性能分析.将准时交货和快速生产要求分别映射为瓶颈工作站平均加权提前/拖期时间和流程时间,并构建了多目标优化模型.通过改进速度和位置的更新机制,对陷入局部最优的粒子进行交叉操作,设计了用于瓶颈工作站调度的改进型多目标粒子群算法.在不同作业规模下从算法的稳定性、Pareto前沿质量、收敛速度及运行时间出发,进行了调度仿真试验.结果表明该算法对提高瓶颈工作站的调度性能是有效的、可行的. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 瓶颈 工作站 调度 改进型多目标粒子群算法

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基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台 被引量：6

8

作者 张怀 江志斌 +1 位作者 郭乘涛 刘惠然 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1857-1863,共7页

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台... 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 仿真 实时调度 拓展型面向对象Petri网

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半导体生产线动态在制品水平控制方法 被引量：8

9

作者 胡鸿韬 江志斌 张怀 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2008年第9期1759-1765,共7页

针对半导体晶圆制造中设备众多,生产周期长和多次重入等特点,提出一种在制品水平分解控制方法。首先,通过仿真实验,依据系统关键指标受设备性能变化影响的灵敏度大小,确定设备的约束权重;然后,依据设备约束权重,结合产品的加工参数,确... 针对半导体晶圆制造中设备众多,生产周期长和多次重入等特点,提出一种在制品水平分解控制方法。首先,通过仿真实验,依据系统关键指标受设备性能变化影响的灵敏度大小,确定设备的约束权重;然后,依据设备约束权重,结合产品的加工参数,确定每种产品各加工阶段合理的在制品水平分布;最后,设备依据实际在制品水平和目标在制品水平的差别和上下游信息,动态地选择工件加工。通过仿真实验,验证了算法的可行性和有效性。 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 调度 在制品水平 设备约束权重

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晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法

10

作者 姚世清 江志斌 +1 位作者 郭乘涛 胡鸿韬 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1655-1659,共5页

针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真... 针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真最终获取Lot加工优先序列表.仿真结果表明,采用该算法在短期调度区间内,与一般的基于规则的动态调度算法相比,效果得到了显著的改善. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 蚁群算法 离散事件仿真 时间复杂度

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基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析 被引量：3

11

作者 邵志芳 钱省三 《系统工程理论方法应用》 2004年第2期177-181,共5页

晶圆制造生产线由于存在回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象,使得生产管理及调度问题变得极为复杂。建立描述系统的模型是优化系统性能的前提,指出了用Petri网建立晶圆制造系统模型的优点,建立了一个拥有4个... 晶圆制造生产线由于存在回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象,使得生产管理及调度问题变得极为复杂。建立描述系统的模型是优化系统性能的前提,指出了用Petri网建立晶圆制造系统模型的优点,建立了一个拥有4个工作中心、8台设备的晶圆制造系统Petri网模型,并对模型进行分析。最后提出了下一步的工作目标。 展开更多

关键词 PETRI网 半导体晶圆 制造系统 建模 生产线 生产管理

原文传递

Edwards成为450mm晶圆制造设备联盟（F450C）的创始成员

12

《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期640-640,共1页

2013年7月9日，精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成，旨在组建450mm晶圆制造设备联盟（F450C）的工作组。这是全球450联盟（G450C）的一个... 2013年7月9日，精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成，旨在组建450mm晶圆制造设备联盟（F450C）的工作组。这是全球450联盟（G450C）的一个分小组，其建立是为了解决下一代450mm半导体晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。 展开更多

关键词 晶圆制造 制造设备 联盟 半导体设备 尾气处理系统 基础设施 增值服务 供应商

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安捷伦科技推出业界最低价位的晶圆筛检及测试解决方案——含512只接脚的Agilent 93000 Parallel Probe 400系统为业界最低价位

13

《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期i003-i003,共1页

安捷伦科技(Agilent Technologies)今日宣布推出业界最低价位的晶圆筛检测试解决方案，以解决当前半导体晶圆制造商与日俱增的测试需求。

关键词 测试解决方案 安捷伦科技 晶圆制造 半导体 价位 最低价 需求 系统

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基于Kohonen神经网络的晶圆光刻流程动态调度方法 被引量：1

14

作者 蒋舒宇 周炳海 潘尔顺 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1788-1793,共6页

由于半导体晶圆制造过程的复杂性,使得实时控制过程难于实施.针对光刻区的不同状态,提出一种基于Kohonen神经网络的多策略实时调度方法,以适应生产过程中的复杂变化.仿真结果表明,该调度方法是有效可行的.

关键词 半导体晶圆制造系统 光刻 KOHONEN网络 动态调度

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基于瓶颈设备处理时间波动的WIP估计方法 被引量：1

15

作者 蒋舒宇 周炳海 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1953-1957,共5页

针对半导体晶圆制造系统缩短制造周期(CT)和提高产出率(TH)两个目标,考虑了瓶颈设备偏离其正常和可预测处理时间的情况(即瓶颈设备处理时间波动),结合CONWIP投料规则和G/G/m排队网络模型,开发了一种确定半导体晶圆制造系统中合理在制品(... 针对半导体晶圆制造系统缩短制造周期(CT)和提高产出率(TH)两个目标,考虑了瓶颈设备偏离其正常和可预测处理时间的情况(即瓶颈设备处理时间波动),结合CONWIP投料规则和G/G/m排队网络模型,开发了一种确定半导体晶圆制造系统中合理在制品(WIP)水平的启发式算法.仿真实验结果表明,在系统中保持该算法所计算出的WIP水平,在一定的瓶颈设备处理时间波动范围内可以取得合理的TH和CT. 展开更多

关键词 在制品 波动 瓶颈 半导体晶圆制造系统

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