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准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究被引量：7: 1; 作者刘莹陈定方温诗铸《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第19期1692-1695,共4页; 用紫外波长为 λ=2 4 8nm的准分子激光器 ,分辨率为 5 0 nm的精密微动工作台及其控制器 ,在一定的工艺参数下 ,对 Al2 O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工 ,构建准分子激光加工表面微观形貌。对加工表面的几何形貌分别采... 展开更多; 关键词数据处理准分子激光加工表面微观形貌统计参数计算 3维数字化处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

准分子激光加工参数对表面形貌影响的模糊分析被引量：3: 2; 作者李小兵赵磊 +1 位作者刘文广刘莹《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期1272-1274,共3页; 采用准分子激光微细加工方法 ,选用不同的工艺参数加工Al2 O3 陶瓷材料试件。通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数。分析了激光加工工艺参数对表面形貌的影响 ,利用模糊分析方法 ,就激光器的放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描... 展开更多; 关键词准分子激光加工工艺参数表面形貌参数模糊分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

准分子激光加工工艺参数与修饰表面形貌参数的关系被引量：2: 3; 作者李小兵刘莹《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期47-49,共3页; 表面微观形貌修饰是改善和控制表面微摩擦性能的一种方法。采用准分子激光表面形貌修饰技术在A l2O3陶瓷材料表面构建微观形貌,通过改变准分子激光加工工艺参数,探讨了准分子激光加工表面形貌参数(包括粗糙度参数和分形参数)与加工工艺... 展开更多; 关键词准分子激光加工工艺参数表面形貌参数 AL2O3陶瓷; 在线阅读下载PDF 职称材料

Al_2O_3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征被引量：1: 4; 作者刘莹温诗铸《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期929-931,973,共4页; 以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征。研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性。其高度参数的算术平均值Ra和均方根值Rq随工艺参数呈现同步同趋势变化... 展开更多; 关键词准分子激光加工表面形貌形貌参数特征; 在线阅读下载PDF 职称材料

典型微机械材料的准分子激光加工特性: 5; 作者李晓莹马炳和苑伟政《航空制造技术》 2000年第2期26-27,39,共3页; 针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律。; 关键词微机械材料单晶硅 PMMA 陶瓷准分子激光加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

准分子激光微加工应用研究进展被引量：3: 6; 作者何立文方晓东《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期641-648,共8页; 准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免... 展开更多; 关键词激光技术准分子激光微加工集成芯片3D封装微机电系统材料微加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同材料的准分子激光修饰表面形貌的分形表征被引量：2: 7; 作者李小兵刘莹《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期49-51,54,共4页; 采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了脆性材料(A l2O3陶瓷)和塑性材料(不锈钢、Q235钢)试件。采用分形理论研究了准分子激光加工的不同材料表面的分形特征,通过结构函数法计算了表面微观形貌的分形维数。结果表明:准分子... 展开更多; 关键词准分子激光加工工艺参数表面形貌分形表征; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于157nm激光制作的微光纤F-P折射率传感器被引量：2: 8; 作者刘为俊饶云江 +1 位作者冉曾令廖弦《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期99-102,共4页; 分析了157nm激光制作的光纤法珀折射率传感器的传感特性.采用干涉条纹计数的方法对法珀腔的反射光谱进行解调,避免了光强波动的影响,同时具有较宽的折射率(RI)范围.在0～70℃范围内25μm的法珀腔腔长变化量为6.25nm,等效折射率变化为～2... 展开更多; 关键词导波光学折射率传感器光纤法珀腔准分子激光微加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光、激光技术激光应用: 9; 《中国光学与应用光学》 2007年第4期24-31,共8页; 关键词准分子激光加工盐生杜氏藻早期声门型喉癌激光王淑平激光熔覆层激光应用激光技术电子技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究被引量：7: 1; 作者刘莹陈定方温诗铸; 机构南昌大学武汉理工大学物流工程系清华大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第19期1692-1695,共4页; 基金国家自然科学基金资助重点项目 (5 0 13 5 0 40 ) 江西省自然科学基金资助项目 (0 2 5 0 0 18) 江西省教育厅资助科技项目; 文摘用紫外波长为 λ=2 4 8nm的准分子激光器 ,分辨率为 5 0 nm的精密微动工作台及其控制器 ,在一定的工艺参数下 ,对 Al2 O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工 ,构建准分子激光加工表面微观形貌。对加工表面的几何形貌分别采用扫描电子显微镜 ( SEM)、表面形貌仪进行测量 ,并通过对 SEM图像的 3维数字化处理 ,得出表面 3维形貌图。同时用Mat L ab处理表面形貌仪的测量数据和计算表面形貌统计参数。; 关键词数据处理准分子激光加工表面微观形貌统计参数计算 3维数字化处理; Keywords excimer laser processing surface micro-topography statistic parameters 3-dimensional digital processing approach; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光加工参数对表面形貌影响的模糊分析被引量：3: 2; 作者李小兵赵磊刘文广刘莹; 机构南昌大学机电工程学院清华大学景德镇陶瓷学院机电工程系; 出处《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期1272-1274,共3页; 基金国家自然科学基金项目(50275071) 国家自然科学基金重点项目(50135040) 江西省自然科学基金项目(0250018)资助; 文摘采用准分子激光微细加工方法 ,选用不同的工艺参数加工Al2 O3 陶瓷材料试件。通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数。分析了激光加工工艺参数对表面形貌的影响 ,利用模糊分析方法 ,就激光器的放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描速度等工艺参数对表面形貌轮廓均方根值Rq 的影响进行了评价。结果表明 ,Rq 值随激光器的放大器电压和激光脉冲频率的增大而增大 ,随激光扫描速度的增大而减小。分析得出 ,激光加工工艺参数对表面形貌的影响程度不同 ,由大到小依次为激光扫描速度、激光脉冲频率、放大器电压。因此 ,可以通过合理地选择工艺参数获得所需求的表面形貌 ,为表面微观形貌修饰提供了参考依据。; 关键词准分子激光加工工艺参数表面形貌参数模糊分析; Keywords Excimer laser processing Processing parameter Surface statistic parameter Fuzzy analysis; 分类号 TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光加工工艺参数与修饰表面形貌参数的关系被引量：2: 3; 作者李小兵刘莹; 机构南昌大学机电工程学院; 出处《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期47-49,共3页; 基金国家自然科学基金项目(50275071 50545035); 文摘表面微观形貌修饰是改善和控制表面微摩擦性能的一种方法。采用准分子激光表面形貌修饰技术在A l2O3陶瓷材料表面构建微观形貌,通过改变准分子激光加工工艺参数,探讨了准分子激光加工表面形貌参数(包括粗糙度参数和分形参数)与加工工艺参数的相关关系。研究表明:准分子加工工艺参数与表面形貌参数之间存在相关性,轮廓高度算术平均值、轮廓高度均方根值、坡度均方根值和分形维数与激光能量密度成正比,承载量系数与激光能量密度成反比;随着激光能量密度的增大,表面形貌的起伏程度和致密程度增大、陡峭程度有细微的变化、承载面积比减小。; 关键词准分子激光加工工艺参数表面形貌参数 AL2O3陶瓷; Keywords excimer laser processing processing parameters surface topography parameters Al2O3 ceramic; 分类号 TH117 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Al_2O_3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征被引量：1: 4; 作者刘莹温诗铸; 机构南昌大学机电工程学院清华大学摩擦学国家重点实验室; 出处《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期929-931,973,共4页; 基金国家自然科学基金项目(50275071) 国家自然科学基金重点项目(50135040) 江西省自然科学基金项目(0250018)资助; 文摘以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征。研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性。其高度参数的算术平均值Ra和均方根值Rq随工艺参数呈现同步同趋势变化的规律,并且相互之间具有定量的关系。对此本文提出了准分子激光加工表面轮廓的简化模型,分析计算的结果与实测数据基本吻合。研究还表明,准分子激光加工表面相当平坦,其坡度均方根值.Zq随工艺参数的变化不大。上述特征是由准分子激光加工原理决定的,与通常的切削加工截然不同。; 关键词准分子激光加工表面形貌形貌参数特征; Keywords Excimer laser processing Surface topography Characteristics of topography parameters; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名典型微机械材料的准分子激光加工特性: 5; 作者李晓莹马炳和苑伟政; 机构西北工业大学; 出处《航空制造技术》 2000年第2期26-27,39,共3页; 基金陕西省自然科学基金; 文摘针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律。; 关键词微机械材料单晶硅 PMMA 陶瓷准分子激光加工; Keywords MEMS material Excimer laser Etching property; 分类号 V261 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光微加工应用研究进展被引量：3: 6; 作者何立文方晓东; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期641-648,共8页; 文摘准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。; 关键词激光技术准分子激光微加工集成芯片3D封装微机电系统材料微加工; Keywords laser technique excimer laser micromachining integrated chip 3D package micro-electro-mechanical system material micromachining; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同材料的准分子激光修饰表面形貌的分形表征被引量：2: 7; 作者李小兵刘莹; 机构南昌大学机电工程学院; 出处《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期49-51,54,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50275071) 国家自然科学基金重点资助项目(50135040); 文摘采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了脆性材料(A l2O3陶瓷)和塑性材料(不锈钢、Q235钢)试件。采用分形理论研究了准分子激光加工的不同材料表面的分形特征,通过结构函数法计算了表面微观形貌的分形维数。结果表明:准分子激光加工的不同材料的表面形貌具有不同的分形特性,在相同的加工条件下A l2O3陶瓷材料表面的分形维数大于不锈钢、Q235钢等塑性材料表面的分形维数,表明脆性材料和塑性材料具有不同的准分子激光加工属性;准分子激光加工表面的分形维数随着激光扫描速度的增大而减小,随放大器电压和脉冲频率的增大而增大,表明可以通过改变加工参数得到不同的分形维数表面。; 关键词准分子激光加工工艺参数表面形貌分形表征; Keywords excimer laser processing processing parameters surface topography fractal characterization; 分类号 TB302 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于157nm激光制作的微光纤F-P折射率传感器被引量：2: 8; 作者刘为俊饶云江冉曾令廖弦; 机构电子科技大学宽带光纤传输与通信网技术教育部重点实验室重庆大学光电技术与系统教育部重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期99-102,共4页; 基金国家自然科学重点项目(60537040)资助; 文摘分析了157nm激光制作的光纤法珀折射率传感器的传感特性.采用干涉条纹计数的方法对法珀腔的反射光谱进行解调,避免了光强波动的影响,同时具有较宽的折射率(RI)范围.在0～70℃范围内25μm的法珀腔腔长变化量为6.25nm,等效折射率变化为～2.46×10-4.常温下对折射率范围为1.33～1.427的甘油(丙三醇)溶液进行了测量,实验结果曲线的相关系数为0.9951,测量准确度为～3.70×10-4.; 关键词导波光学折射率传感器光纤法珀腔准分子激光微加工; Keywords 5Wave-guided optics Refractive index sensor Optical fiber F-P cavity Excimer lasermicromachining; 分类号 TN25 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光、激光技术激光应用: 9; 出处《中国光学与应用光学》 2007年第4期24-31,共8页; 关键词准分子激光加工盐生杜氏藻早期声门型喉癌激光王淑平激光熔覆层激光应用激光技术电子技术; 分类号 R318.51 [医药卫生—生物医学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究	刘莹陈定方温诗铸	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	准分子激光加工参数对表面形貌影响的模糊分析	李小兵赵磊刘文广刘莹	《机械科学与技术》 CSCD 北大核心	2004	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	准分子激光加工工艺参数与修饰表面形貌参数的关系	李小兵刘莹	《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	Al_2O_3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征	刘莹温诗铸	《机械科学与技术》 CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	典型微机械材料的准分子激光加工特性	李晓莹马炳和苑伟政	《航空制造技术》	2000	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	准分子激光微加工应用研究进展	何立文方晓东	《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	不同材料的准分子激光修饰表面形貌的分形表征	李小兵刘莹	《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	基于157nm激光制作的微光纤F-P折射率传感器	刘为俊饶云江冉曾令廖弦	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
9	激光、激光技术激光应用		《中国光学与应用光学》	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料