检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

六氟丁二烯的纯化工艺研究: 1; 作者谢武中傅铸红 +1 位作者杨俊豪陈艳珊《低温与特气》 2025年第1期23-26,共4页; 结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99... 展开更多; 关键词六氟丁二烯吸附剂精馏纯化工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子特气六氟丁二烯合成工艺进展: 2; 作者郭晓俊陈建平张锐《低温与特气》 CAS 2024年第5期11-14,共4页; 六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻选择性和环保性能,应用前景广阔。主要介绍了现阶段六氟丁二烯的合成工艺路线及改进方向。; 关键词六氟丁二烯电子蚀刻合成工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

六氟丁二烯的合成研究进展: 3; 作者姜世楠吕随强 +4 位作者罗文键商洪涛谢晓东邵野史紫微《低温与特气》 CAS 2024年第1期1-4,11,共5页; 在大规模集成电路制程中,六氟丁二烯作为蚀刻剂使用。与传统蚀刻剂相比,六氟丁二烯蚀刻速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好。对六氟丁二烯的合成方法进行归纳和总结,为高纯六氟丁二烯的研发和生产提供参考。; 关键词六氟丁二烯蚀刻剂合成; 在线阅读下载PDF 职称材料

气相色谱法分析六氟丁二烯中的6种气相杂质: 4; 作者张中慧冯海波 +3 位作者郑秋艳郭君张天鹏李帅楠《低温与特气》 CAS 2022年第6期29-32,50,共5页; 通过对反吹系统和仪器工作条件的设计和优化,建立了一种利用气相色谱法分析六氟丁二烯中6种气相杂质的方法,并进行了验证实验。实验结果表明,该方法能够实现六氟丁二烯中H_(2)、O_(2)+Ar、N_(2)、CO、CO_(2)、CH_(4)杂质的检测分析,检... 展开更多; 关键词气相色谱六氟丁二烯分析方法反吹系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

气相色谱法测定六氟丁二烯中的微量水分: 5; 作者倪珊珊郑秋艳 +3 位作者陈润泽李帅楠井栋宇解晓虎《低温与特气》 CAS 2023年第3期44-45,共2页; 提出了一种六氟丁二烯中微量水分的分析方法,采用配备水分转化器的氢火焰离子化检测器的气相色谱仪实现了水分的快速、准确测定。; 关键词六氟丁二烯水分气相色谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

六氟丁二烯的制备、纯化及应用被引量：5: 6; 作者金小贤夏致远 +2 位作者张友圣孙猛金向华《低温与特气》 CAS 2018年第1期26-29,共4页; 六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述。; 关键词六氟1 3-丁二烯制备纯化应用市场; 在线阅读下载PDF 职称材料

吸附法精制电子特气全氟丁二烯: 7; 作者袁淑筠禹金龙韦杰广《低温与特气》 CAS 2022年第1期34-37,共4页; 全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C_(4)F_(6),HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔。HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法。原料中含有的主要杂质除氮气(N_(2))、氧气(O_(2))等... 展开更多; 关键词全氟丁二烯六氟丁二烯六氟-1 3-丁二烯 HFBD 吸附蚀刻; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名六氟丁二烯的纯化工艺研究: 1; 作者谢武中傅铸红杨俊豪陈艳珊; 机构广东华特气体股份有限公司; 出处《低温与特气》 2025年第1期23-26,共4页; 基金广东省重点领域研发计划项目(2023B0101010001)。; 文摘结合吸附与精馏技术,通过碱性吸附剂脱除HF、5A分子筛除水、双塔精馏,成功形成一套高效的六氟丁二烯纯化工艺,实现了对工业级六氟丁二烯中水分、HF、小分子杂质以及碳氟有机大分子杂质的深度去除纯化,能有效提高六氟丁二烯的纯度至99.99%以上,满足半导体工业的高标准要求。; 关键词六氟丁二烯吸附剂精馏纯化工艺; Keywords hexafluorobutadiene adsorbent distillation purification process; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子特气六氟丁二烯合成工艺进展: 2; 作者郭晓俊陈建平张锐; 机构山东华宇同方电子材料有限公司燕京理工学院环境与健康学院; 出处《低温与特气》 CAS 2024年第5期11-14,共4页; 基金廊坊市科学技术研究与发展计划自筹经费项目(2023011052)。; 文摘六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻选择性和环保性能,应用前景广阔。主要介绍了现阶段六氟丁二烯的合成工艺路线及改进方向。; 关键词六氟丁二烯电子蚀刻合成工艺; Keywords hexafluorobutadiene electronic etching synthesis process; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名六氟丁二烯的合成研究进展: 3; 作者姜世楠吕随强罗文键商洪涛谢晓东邵野史紫微; 机构中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2024年第1期1-4,11,共5页; 文摘在大规模集成电路制程中,六氟丁二烯作为蚀刻剂使用。与传统蚀刻剂相比,六氟丁二烯蚀刻速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好。对六氟丁二烯的合成方法进行归纳和总结,为高纯六氟丁二烯的研发和生产提供参考。; 关键词六氟丁二烯蚀刻剂合成; Keywords hexafluorobutadiene etchant synthesis; 分类号 O621.3 [理学—有机化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气相色谱法分析六氟丁二烯中的6种气相杂质: 4; 作者张中慧冯海波郑秋艳郭君张天鹏李帅楠; 机构中国船舶重工集团公司第七一八研究所; 出处《低温与特气》 CAS 2022年第6期29-32,50,共5页; 文摘通过对反吹系统和仪器工作条件的设计和优化,建立了一种利用气相色谱法分析六氟丁二烯中6种气相杂质的方法,并进行了验证实验。实验结果表明,该方法能够实现六氟丁二烯中H_(2)、O_(2)+Ar、N_(2)、CO、CO_(2)、CH_(4)杂质的检测分析,检测限分别可达0.02×10^(-6)、0.01×10^(-6)、0.02×10^(-6)、0.01×10^(-6)、0.04×10^(-6)、0.02×10^(-6)。各组分峰面积的相对标准偏差均<5%,相对平均偏差均<2%,线性相关系数均>0.99。; 关键词气相色谱六氟丁二烯分析方法反吹系统; Keywords gas chromatography hexafluorobutadiene analysis method blowback system; 分类号 O621.4 [理学—有机化学] O657.71 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气相色谱法测定六氟丁二烯中的微量水分: 5; 作者倪珊珊郑秋艳陈润泽李帅楠井栋宇解晓虎; 机构中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2023年第3期44-45,共2页; 文摘提出了一种六氟丁二烯中微量水分的分析方法,采用配备水分转化器的氢火焰离子化检测器的气相色谱仪实现了水分的快速、准确测定。; 关键词六氟丁二烯水分气相色谱; Keywords hexafluorobutadiene moisture gas chromatography; 分类号 O657.7 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名六氟丁二烯的制备、纯化及应用被引量：5: 6; 作者金小贤夏致远张友圣孙猛金向华; 机构苏州金宏气体股份有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2018年第1期26-29,共4页; 文摘六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述。; 关键词六氟1 3-丁二烯制备纯化应用市场; Keywords hexafluoro-1,3-butadiene preparation purification application market; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名吸附法精制电子特气全氟丁二烯: 7; 作者袁淑筠禹金龙韦杰广; 机构广东华特气体股份有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2022年第1期34-37,共4页; 文摘全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C_(4)F_(6),HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔。HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法。原料中含有的主要杂质除氮气(N_(2))、氧气(O_(2))等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外,其它的杂质均可以用吸附法脱除。通过使用沸石类分子筛、活性氧化铝、碳分子筛、硅铝酸盐分子筛、碱盐等进行吸附实验,能将HFBD产品中的氟化氢(HF)、水分(H_(2)O)、含有丁二烯的氟氯化物、丁烯的二聚体、少量的醇及醚等杂质均脱除到符合电子特气出货标准。实验结果表明,大部分吸附剂会引发不同程度的歧化反应,精制难度较大,故选用碱盐分子筛脱除HF,硅铝酸盐分子筛脱除醚,5 A分子筛脱除其余杂质。; 关键词全氟丁二烯六氟丁二烯六氟-1 3-丁二烯 HFBD 吸附蚀刻; Keywords perfluorobutadiene hexafluorobutadiene hexafluoro-1 3-butadiene HFBD adsorption etch; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	六氟丁二烯的纯化工艺研究	谢武中傅铸红杨俊豪陈艳珊	《低温与特气》	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	电子特气六氟丁二烯合成工艺进展	郭晓俊陈建平张锐	《低温与特气》 CAS	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	六氟丁二烯的合成研究进展	姜世楠吕随强罗文键商洪涛谢晓东邵野史紫微	《低温与特气》 CAS	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	气相色谱法分析六氟丁二烯中的6种气相杂质	张中慧冯海波郑秋艳郭君张天鹏李帅楠	《低温与特气》 CAS	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	气相色谱法测定六氟丁二烯中的微量水分	倪珊珊郑秋艳陈润泽李帅楠井栋宇解晓虎	《低温与特气》 CAS	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	六氟丁二烯的制备、纯化及应用	金小贤夏致远张友圣孙猛金向华	《低温与特气》 CAS	2018	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	吸附法精制电子特气全氟丁二烯	袁淑筠禹金龙韦杰广	《低温与特气》 CAS	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料