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光谱共焦传感器多参数高准确度校准被引量：2: 1; 作者杨品澒唐波 +3 位作者崔建军陈恺宋佩颉彭璐《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期412-418,共7页; 针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉... 展开更多; 关键词几何量计量光谱共焦传感器干涉仪非线性测点修正算法测量不确定度; 在线阅读下载PDF 职称材料

光谱共焦传感器探测误差的研究被引量：7: 2; 作者位恒政王为农 +1 位作者任国营裴丽梅《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期94-97,共4页; 针对装配在多传感器坐标测量机上的光谱共焦传感器的精度评价问题,分析了曲面倾角对传感器测量精度的影响,对传感器的点测量模式和扫描测量模式的计量特性进行了研究,主要包括形状探测误差、尺寸探测误差、扫描探测误差、平面探测误差,... 展开更多; 关键词计量学光谱共焦传感器坐标测量机探测误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

彩色光谱共焦传感器误差溯源及其校准方法分析被引量：4: 3; 作者闫勇刚刘志浩 +3 位作者朱小平杜华李加福王耿《河南理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第5期117-123,共7页; 针对国内光谱共焦传感器校准方法不统一、计量特性难以比较等问题,提出3种基于精密标准器的光谱共焦传感器校准方法,并基于此开展校准和计量特性评定。分别采用精密位移台、高精度测长仪与激光干涉仪3种标准器对光谱共焦传感器的基本误... 展开更多; 关键词计量学光谱共焦位移传感器校准非接触测量误差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光谱共焦原理的钻杆接头内螺纹参数测量: 4; 作者陈彦宇田东庄居培《光学精密工程》北大核心 2025年第6期862-873,共12页; 为实现钻杆螺纹参数自动化、非接触式检测,本文基于光谱共焦测量原理,提出短量程传感器大锥度螺纹轮廓扫描测量方法。该方法采用光谱共焦传感器和被测螺纹协同运动的方式,快速获取螺纹轴线的截面轮廓数据,以表征螺纹表面质量。为修正螺... 展开更多; 关键词钻杆螺纹螺纹测量轮廓扫描测量光谱共焦传感器螺纹参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光谱共焦原理的五轴数控机床工件在位测量系统被引量：1: 5; 作者贺帅宇周涛 +2 位作者金玲兴荣佑民刘秀峰《仪器仪表学报》北大核心 2025年第1期75-82,共8页; 精密光学元件目前广泛应用于天文观测、空间对地观察、投影光刻物镜等诸多重要的领域,其具有高表面质量、高面形精度、低表面损伤等特点。光学元件精加工的最后一道工序一般为抛光,光学元件进行抛光加工时,需要经历“测量-加工”的反复... 展开更多; 关键词光谱共焦传感器标定在位测量工件定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统被引量：6: 6; 作者蓝河雷大江 +2 位作者钱林弘夏欢孙树磊《制造技术与机床》北大核心 2017年第3期141-145,共5页; 为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够... 展开更多; 关键词回转误差光谱共焦位移传感器反向法非接触式超精密回转轴系; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密二维测量定位系统评定及误差分析被引量：5: 7; 作者沈小燕林杰俊 +2 位作者李加福尹建龙李东升《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第6期131-134,共4页; 超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统... 展开更多; 关键词超精密二维测量光谱共焦传感器误差分析不确定度评定; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光谱共焦传感器多参数高准确度校准被引量：2: 1; 作者杨品澒唐波崔建军陈恺宋佩颉彭璐; 机构中国计量大学计量测试工程学院中国计量科学研究院甘肃省计量研究院西藏自治区计量测试所交通运输部公路科学研究院; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期412-418,共7页; 基金西藏自治区科技计划项目(XZ202301YD0004C) 中国计量科学研究院科研项目(AKYZD2307,AKYZZ2204)。; 文摘针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉仪非线性误差对测量的影响;另一方面,提出了测点修正算法,消除了受检点处位移标准值因校准装置定位准确度限制不重合对测量的影响。实验结果表明:在0~100μm的测量范围内,示值误差为±23 nm,重复性为5 nm,示值误差测量结果的扩展不确定度U_(2)=7.0 nm(k=2)。构建的校准装置在0~50 mm的测量范围内的示值误差测量结果不确定度为U_(1)=3.0 nm+2×10^(-7)L(k=2)。; 关键词几何量计量光谱共焦传感器干涉仪非线性测点修正算法测量不确定度; Keywords geometric metrology spectral confocal sensor interferometer nonlinearity measuring point correction algorithm measurement uncertainty; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光谱共焦传感器探测误差的研究被引量：7: 2; 作者位恒政王为农任国营裴丽梅; 机构中国计量科学研究院; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期94-97,共4页; 基金痕迹科学与技术公安部重点实验室开放课题(2016FMKFKT03) 中国计量科学研究院基本科研业务费(24-AKYS1601); 文摘针对装配在多传感器坐标测量机上的光谱共焦传感器的精度评价问题,分析了曲面倾角对传感器测量精度的影响,对传感器的点测量模式和扫描测量模式的计量特性进行了研究,主要包括形状探测误差、尺寸探测误差、扫描探测误差、平面探测误差,并设计了合适的标准器进行实验分析。通过对光谱共焦传感器计量特性的研究,可为用户应用光谱共焦传感器进行大尺寸自由曲面测量的不确定度分析提供理论支持。; 关键词计量学光谱共焦传感器坐标测量机探测误差; Keywords metrology chromatic confocal probe coordinate measurement machine probing error; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名彩色光谱共焦传感器误差溯源及其校准方法分析被引量：4: 3; 作者闫勇刚刘志浩朱小平杜华李加福王耿; 机构河南理工大学机械与动力工程学院中国计量科学研究院; 出处《河南理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第5期117-123,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(51775174) 河南省高校基本科研业务费专项资金资助项目(NSFRF80332) 河南省科技攻关项目(212102210323,202102210082)。; 文摘针对国内光谱共焦传感器校准方法不统一、计量特性难以比较等问题,提出3种基于精密标准器的光谱共焦传感器校准方法,并基于此开展校准和计量特性评定。分别采用精密位移台、高精度测长仪与激光干涉仪3种标准器对光谱共焦传感器的基本误差、线性度、重复性、回程误差等参数进行校准,3种方法所测某种光谱共焦传感器的最大误差分别为2.76,3.40,1.17μm,线性度分别为0.689%,0.850%,0.293%,重复性分别为1.463,1.324,0.787μm,回程(迟滞)误差为0.51μm。校准结果表明:所提出的3种计量特性校准方法是有效的,光谱共焦位移传感器计量特性满足使用要求,其中,激光干涉校准法精度最高且可靠。研究成果有助于提高彩色光谱共焦位移传感器校准效率和可靠性,并为大尺寸玻璃平面度的高精度测量提供坚实的技术支撑。; 关键词计量学光谱共焦位移传感器校准非接触测量误差分析; Keywords metrology spectral confocal displacement sensor calibration non-contact measurement error analysis; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光谱共焦原理的钻杆接头内螺纹参数测量: 4; 作者陈彦宇田东庄居培; 机构煤炭科学研究总院中煤科工西安研究院(集团)有限公司; 出处《光学精密工程》北大核心 2025年第6期862-873,共12页; 基金陕西省重点研发计划项目(No.2024GX-YBXM-525)。; 文摘为实现钻杆螺纹参数自动化、非接触式检测,本文基于光谱共焦测量原理,提出短量程传感器大锥度螺纹轮廓扫描测量方法。该方法采用光谱共焦传感器和被测螺纹协同运动的方式,快速获取螺纹轴线的截面轮廓数据,以表征螺纹表面质量。为修正螺纹轴线与回转台的轴线不同轴引起的测量误差,建立锥螺纹点激光测量模型,开发螺纹牙形畸变补偿算法,研制钻杆接头内螺纹参数二维激光测量系统,并将其与自动化生产线集成。该测量系统采用立式结构,主要由基座、精密5轴位移平台、光栅传感器、控制系统、软件系统等部分组成。同时开发钻杆接头内螺纹参数二维测量与评价软件,用于实现螺距、牙高、锥度、牙形角、基面中径等关键参数的计算与评定。实验结果表明,牙型畸变补偿算法基面中径的补偿率为45.4%,牙型半角的补偿率为45%,锥度的补偿率为26.7%,牙高补偿率为25%,对螺距几乎无影响;研制的测量系统的测量精度可达±2μm,测量节拍为102 s。通过与传统测量方法对比,该测量系统具有非接触式测量、自动化程序高和精度高等特点,满足钻杆螺纹测量的精度需求。; 关键词钻杆螺纹螺纹测量轮廓扫描测量光谱共焦传感器螺纹参数; Keywords drill pipe thread thread measurement contour scanning measurement spectral confocal sen⁃sor parameter of thread; 分类号 TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光谱共焦原理的五轴数控机床工件在位测量系统被引量：1: 5; 作者贺帅宇周涛金玲兴荣佑民刘秀峰; 机构华中科技大学机械科学与工程学院四川省精密超精密加工工程技术研究中心台州市东部数控设备有限公司湖北第二师范学院物理与机电工程学院; 出处《仪器仪表学报》北大核心 2025年第1期75-82,共8页; 基金工信部高质量发展专项(J0017-2326-QT) 湖北省教育厅科学研究计划项目(Q20233006)资助。; 文摘精密光学元件目前广泛应用于天文观测、空间对地观察、投影光刻物镜等诸多重要的领域,其具有高表面质量、高面形精度、低表面损伤等特点。光学元件精加工的最后一道工序一般为抛光,光学元件进行抛光加工时,需要经历“测量-加工”的反复迭代过程以实现纳米级面型精度和亚纳米级表面粗糙度。因此,数控抛光加工时在对工件待加工表面面型离线测量后,需要在机床上对工件进行二次安装及找正,对工件位姿进行精确定位以保证后续的加工精度,而传统的接触式找正或定位方法存在效率低下、易划伤工件表面等问题。为此,基于光谱共焦传感器构建了立式五轴机床非接触式在位测量系统,建立了该测量系统获取工件表面坐标数据的数学模型及光谱共焦传感器在机床上标定的数学模型,利用球面约束方程提出了基于标准球的补偿标定的方法,并在磁流变抛光机床上开展了实际的标定实验,验证了标定方案的可行性和精确性。最后进行工件位姿测量实验,通过雷尼绍三坐标接触式在位测量系统对光谱共焦非接触式在位测量系统的工件位姿测量精度进行了验证。实验结果表明本文所提出的光谱共焦非接触式在位测量系统测量标准球的直径误差<6μm,工件定位误差<10μm,能够满足磁流变抛光实际的定位要求。; 关键词光谱共焦传感器标定在位测量工件定位; Keywords spectral confocal sensor calibration in-situ measurement job positioning; 分类号 TH-39 [机械工程] TH705 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统被引量：6: 6; 作者蓝河雷大江钱林弘夏欢孙树磊; 机构中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 出处《制造技术与机床》北大核心 2017年第3期141-145,共5页; 基金四川省科技支撑计划(2016RZ0047) 中物院科技专项资助(9120602); 文摘为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。; 关键词回转误差光谱共焦位移传感器反向法非接触式超精密回转轴系; Keywords rotating error confocal chromatic displacement sensor reversal method non contact ultra - precision rotary axis system; 分类号 TH161.13 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密二维测量定位系统评定及误差分析被引量：5: 7; 作者沈小燕林杰俊李加福尹建龙李东升; 机构中国计量学院计量测试工程学院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第6期131-134,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51075378); 文摘超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统应用于二维尺寸的测量,分析了测量误差,并进行了测量不确定度的评定,试验获得该测量系统X、Y方向的测量不确定度分别为89 nm和87 nm.研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果。; 关键词超精密二维测量光谱共焦传感器误差分析不确定度评定; Keywords ultra-precision measuring and positioning confocal chromatic displacement sensor error analysis evaluation of uncertainty; 分类号 TH89 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	光谱共焦传感器多参数高准确度校准	杨品澒唐波崔建军陈恺宋佩颉彭璐	《计量学报》 CSCD 北大核心	2024	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	光谱共焦传感器探测误差的研究	位恒政王为农任国营裴丽梅	《计量学报》 CSCD 北大核心	2017	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	彩色光谱共焦传感器误差溯源及其校准方法分析	闫勇刚刘志浩朱小平杜华李加福王耿	《河南理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心	2021	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于光谱共焦原理的钻杆接头内螺纹参数测量	陈彦宇田东庄居培	《光学精密工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于光谱共焦原理的五轴数控机床工件在位测量系统	贺帅宇周涛金玲兴荣佑民刘秀峰	《仪器仪表学报》北大核心	2025	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统	蓝河雷大江钱林弘夏欢孙树磊	《制造技术与机床》北大核心	2017	6	在线阅读下载PDF 职称材料
7	超精密二维测量定位系统评定及误差分析	沈小燕林杰俊李加福尹建龙李东升	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2013	5	在线阅读下载PDF 职称材料