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电子器件无损检测光学微扫描显微热成像系统 被引量：4
1
作者 高美静 范祥瑞 +1 位作者 顾海华 吴伟龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期779-784,共6页
为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作... 为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作过程,研究推导了系统噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射率差(NEED)模型,为系统的设计提供了理论指导,基于Matlab完成了整个系统的图像采集处理界面设计。实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性。随着产品化,本系统将会用到其他需要显微热分析的场合,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光学工程 光学微扫描显微热像仪 噪声等效温差 噪声等效辐射率差 电子器件 故障检测
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近场扫描光学显微镜及其探针技术研究新进展 被引量：2
2
作者 项仕标 张天浩 +4 位作者 苏玉玲 项顼 吴朝晖 田臻锋 张春平 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期119-124,共6页
对近场扫描光学显微技术 (NSOM)研究与应用新进展作了概括介绍 ,较详细地阐述了NSOM的关键部件———探针技术的发展 ,并对NSOM的前景作了展望。
关键词 近场扫描光学显微镜 近场扫描光学显微技术 光纤探针 无孔探针 分辨率
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扫描近场光学显微术对InGaP微盘发光模式的研究 被引量：1
3
作者 张宇 辛永春 +5 位作者 朱星 凌勇 尹彦 周赫田 章蓓 甘子钊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期219-224,共6页
采用反射式扫描近场光学显微技术分别对直径为５μｍ和１０μｍ的图钉式ＩｎＧａＰ光学微盘进行了形貌和光致发光的近场图样测量和研究，并与由常规光学荧光显微镜测得的荧光图象相比较．结果表明ＩｎＧａＰ微盘的近场发光图样不仅反映... 采用反射式扫描近场光学显微技术分别对直径为５μｍ和１０μｍ的图钉式ＩｎＧａＰ光学微盘进行了形貌和光致发光的近场图样测量和研究，并与由常规光学荧光显微镜测得的荧光图象相比较．结果表明ＩｎＧａＰ微盘的近场发光图样不仅反映出荧光图象的回音壁模式特征，即沿微盘周界显示为一圈红色亮环，而且证实荧光图像中的红色亮环实际上与更精细的由分立的周期性亮点组成的近场光场分布相对应．结合微盘内部与外部的近场分布可以获得光学微盘中发光模式的重要信息． 展开更多
关键词 扫描近场光学 显微技术 微盘型 铟镓磷 发光模式
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近场扫描光学显微图象与光谱技术 被引量：1
4
作者 梅二文 顾文芳 《分析科学学报》 CAS CSCD 1999年第1期79-86,共8页
本文就近场扫描光学显微图象及光谱这一新技术的原理、主要仪器装置及其在分析化学中的应用进行了评述。目前，这一技术已被应用于室温及大气环境中的单分子检测，显示了该技术在微区痕量分析中广阔的应用前景。
关键词 近场扫描 光学显微技术 单分子检测 微区分析
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自适应光学在超分辨显微成像技术中的应用(内封面文章·特邀)
5
作者 王韵澎 燕静 郝翔 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期11-25,共15页
荧光显微镜是研究细胞结构和动态过程的最有力的工具之一,近年来发展的超分辨显微成像技术更是突破了传统衍射极限,能够在观测活体生物样本中达到纳米级的分辨率。但由于生物样品内部折射率变化的复杂性,进行超分辨观测时成像性能往往... 荧光显微镜是研究细胞结构和动态过程的最有力的工具之一,近年来发展的超分辨显微成像技术更是突破了传统衍射极限,能够在观测活体生物样本中达到纳米级的分辨率。但由于生物样品内部折射率变化的复杂性,进行超分辨观测时成像性能往往会因样品引起的像差而降低。自适应光学是一种矫正波前误差的技术,在超分辨显微成像技术中引入自适应光学技术可以显著提高超分辨系统的成像分辨率、成像深度、成像速度。为了进一步提高超分辨显微成像系统的成像性能,研究者不断创新自适应光学在超分辨技术的应用方法。介绍了自适应光学技术,阐述了其在显微成像中的应用;详细分析了近年来自适应光学在超分辨显微成像技术的应用,最终进行了总结,并对未来技术发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 超分辨显微成像 自适应光学 机器学习 波前探测
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基于光流像素匹配的扫描显微相位测量轮廓术
6
作者 王思远 刘元坤 于馨 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期37-46,共10页
在扫描相位测量轮廓术中,需要先将不同位置的物体匹配到同一点,再根据相移算法提取相位信息,而像素匹配精度与相移算法均会影响测量精度。为此,采用显微系统,根据其远心光路特性实现物体移动量与像素移动量的等量转换;通过交替采集白场... 在扫描相位测量轮廓术中,需要先将不同位置的物体匹配到同一点,再根据相移算法提取相位信息,而像素匹配精度与相移算法均会影响测量精度。为此,采用显微系统,根据其远心光路特性实现物体移动量与像素移动量的等量转换;通过交替采集白场图像和条纹图像,由白场图像通过光流法实现精确的像素匹配,再根据物体匀速运动特点实现条纹图像的精确像素匹配;根据初始条纹周期选择基本符合满周期的N幅条纹图,由任意步数相移方法计算出截断相位分布,再通过概率密度函数搜索最佳条纹周期,进而得到准确的相位信息,完成物体形貌测量。实验表明,所提方法有效提高了测量精度,相移算法也适用于任意N(N≥3)幅图,在模拟工业流水线场景中物体的三维测量时,RMSE(均方根误差)可达0.008 mm左右。 展开更多
关键词 扫描测量 光流法 显微系统 概率密度函数 任意N步相移
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共焦扫描显微成像系统的非相干光学传递函数
7
作者 刘峰 朱秀昌 《南京邮电学院学报》 1999年第3期31-34,共4页
共焦扫描光学显微（ＣＳＯＭ）系统有透射式和反射式、相干光和非相干光荧光等类型。ＣＳＯＭ 系统的平面分辨率和纵深分辨率依赖于放置在光电探测器前面的空间滤波器的孔径大小。根据不同孔径计算反射式荧光ＣＳＯＭ 系统的非相干光学... 共焦扫描光学显微（ＣＳＯＭ）系统有透射式和反射式、相干光和非相干光荧光等类型。ＣＳＯＭ 系统的平面分辨率和纵深分辨率依赖于放置在光电探测器前面的空间滤波器的孔径大小。根据不同孔径计算反射式荧光ＣＳＯＭ 系统的非相干光学传递函数。 展开更多
关键词 共焦扫描 光学传递函数 显微成像系统
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扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究进展 被引量：1
8
作者 陈芳 魏志鹏 +6 位作者 刘国军 唐吉龙 房丹 方铉 高娴 赵海峰 王双鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第23期28-33,共6页
半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景。半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因... 半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景。半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因此扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域有着无可替代的地位。扫描近场光学显微技术突破了传统光学显微技术的衍射分辨率极限的限制,具有超高空间分辨率、超高探测灵敏度等特点,并且是一种非接触性探测,具有无损伤性。简要介绍了扫描近场光学显微镜的原理及在半导体材料研究中的应用,包括量子阱结构中的位错及缺陷的表征,半导体器件的表面复合速率及扩散长度的纳米表征,以及半导体薄膜中的缺陷分布的检测。探讨了目前相关研究领域存在的主要问题,并对其发展趋势和前景进行了展望。 展开更多
关键词 扫描近场光学显微技术 半导体材料 超高空间高分辨率
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基于源偶极子的扫描近场光学显微镜的数值模拟 被引量：1
9
作者 吴昌林 王长 曹俊诚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期643-651,共9页
红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针... 红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针形状的解析模型,结合数值模拟的开发了源偶极子模型(SDM),能够直接获得近场检测信息,提高计算效率。基于模拟结果,解释了天线效应、尖端半径影响和电荷量的影响,并将SDM模型结果与全波仿真(FWS)结果进行了比较。为进一步理解近场光学显微镜中的针尖-样品结提供了新的视角。 展开更多
关键词 太赫兹 近场显微技术 数值模拟 偶极模型 光学性质
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光学微扫描器技术及其实现方式 被引量：14
10
作者 徐超 金伟其 李雅琼 《红外技术》 CSCD 北大核心 2006年第6期338-342,共5页
微扫描成像技术是一种用于提高成像系统分辨力的新技术,它利用多幅相互之间具有亚像元位移的序列低分辨力图像来重建高分辨力图像。微扫描器是微扫描成像系统中最重要的组成部分。文章简要地阐述了成像系统由于欠采样所带来的混叠效应,... 微扫描成像技术是一种用于提高成像系统分辨力的新技术,它利用多幅相互之间具有亚像元位移的序列低分辨力图像来重建高分辨力图像。微扫描器是微扫描成像系统中最重要的组成部分。文章简要地阐述了成像系统由于欠采样所带来的混叠效应,以及微扫描成像技术提高采样频率以减小混叠效应的原理,分析了微扫描工作模式和成像过程,然后介绍了几种典型光学微扫描器的实现方式。 展开更多
关键词 微扫描 欠采样 混叠 光电成像 光学微扫描器
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扫描透射离子显微成像系统的建立和实验研究 被引量：5
11
作者 刘江峰 包良满 +4 位作者 岳伟生 万天敏 李晓林 张桂林 李燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期313-318,共6页
基于上海应用物理研究所的扫描质子微探针系统,对扫描透射离子显微成像(STIM)技术进行了仿真分析和实验研究,建立了基于中值滤波方法的数据处理程序,获得了大鼠股骨切片的面密度分布和薄壁小球的离轴STIM图像。理论分析和实验结果显示:... 基于上海应用物理研究所的扫描质子微探针系统,对扫描透射离子显微成像(STIM)技术进行了仿真分析和实验研究,建立了基于中值滤波方法的数据处理程序,获得了大鼠股骨切片的面密度分布和薄壁小球的离轴STIM图像。理论分析和实验结果显示:由在轴探测数据的中值滤波结果可以计算出定量的面密度分布信息,由能量窗滤波的离轴探测数据则可以给出高分辨的定性图像,这在薄样品、强束流、以及质子激发X荧光(PIXE)分析同时进行的STIM分析中尤为有用;增加获取的事件数、选择合适的滤波方法可以使测量误差远小于阻止本领计算带来的误差。该方法可以用于测量几十μm尺度样品的绝对质量以及辅助PIXE技术进行元素定量分布分析。 展开更多
关键词 扫描透射离子显微术 扫描质子微探针 中值滤波 束流探测
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光学显微三维测量解耦合准则 被引量：10
12
作者 刘俭 谷康 +1 位作者 李梦周 谭久彬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期1-7,共7页
光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器... 光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。 展开更多
关键词 解耦合准则 光学显微测量 薄样品测量 深沟槽测量 台阶高度
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超光滑表面瑕疵的光学显微成像和数字化评价系统 被引量：4
13
作者 杨甬英 高鑫 +2 位作者 肖冰 刘东 卓永模 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第2期325-329,共5页
提出了利用一种特殊设计的LED多光束环状分布照明光源,与显微镜组成超光滑表面元件缺陷检测的光学显微散射成像系统,获取适合于数字图像二值化处理的暗背景上的亮瑕疵图像。利用X、Y两方向的精密移导系统对表面实施子孔径图像的扫描。... 提出了利用一种特殊设计的LED多光束环状分布照明光源,与显微镜组成超光滑表面元件缺陷检测的光学显微散射成像系统,获取适合于数字图像二值化处理的暗背景上的亮瑕疵图像。利用X、Y两方向的精密移导系统对表面实施子孔径图像的扫描。在原有的子孔径图像拼接"边缘拓展法"算法的基础上,提出一种基于特征分类的多层次图像拼接算法。该算法分为特征分类和多层次拼接两个部分:通过重叠区域内特征的提取和分类,将所有子孔径图像的重叠区域分为四类;然后针对这四类重叠区域的不同特点,有次序地进行图像拼接,最终得到全景图像。并应用二元光学制作了标准比对板,以获得瑕疵正确的数字化评价依据。实验结果证明:该系统和算法特别适合在被测表面范围较大、具有微米量级分辨率的瑕疵的数字化定量检测和评价。 展开更多
关键词 表面缺陷 光学测量 显微散射成像 图像拼接 特征分类
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红外凝视成像系统中的光学微扫描技术 被引量：28
14
作者 吴新社 蔡毅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期10-14,共5页
简要介绍了国内外微扫描技术研究情况,讨论了用于凝视焦平面探测器的微扫描技术原理和分类,按伺服电机驱动和压电陶瓷驱动两种形式,分析了微扫描技术的原理、结构和信号读出方式,最后总结了微扫描技术的优点.
关键词 光学微扫描 红外成像 凝视 红外焦平面探测器
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扫描探针显微术在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用 被引量：5
15
作者 赵健伟 阚蓉蓉 +1 位作者 章岩 陈洪渊 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期124-130,共7页
介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子... 介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子传感器、超高密度信息存储等领域的应用前景. 展开更多
关键词 扫描探针显微术 自组装膜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 纳米刻蚀
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红外凝视成像光学微扫描重建技术研究 被引量：6
16
作者 白俊奇 陈钱 屈惠明 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期257-260,共4页
由于有限的焦平面阵列等因素影响,红外热成像系统的空间分辨率较低.理论上,微扫描能有效提高空间分辨率,然而光学系统不易精确控制,导致重建图像模糊.针对此问题,本文提出了基于帧间块匹配的图像配准算法.该算法有效地实现了亚像元成像... 由于有限的焦平面阵列等因素影响,红外热成像系统的空间分辨率较低.理论上,微扫描能有效提高空间分辨率,然而光学系统不易精确控制,导致重建图像模糊.针对此问题,本文提出了基于帧间块匹配的图像配准算法.该算法有效地实现了亚像元成像,在提高空间分辨率的同时,抑制了图像模糊. 展开更多
关键词 红外热成像 光学微扫描 图像重建 块匹配
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激光扫描共焦荧光显微系统研究 被引量：3
17
作者 张平 吴震 向际鹰 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期37-41,共5页
讨论了激光扫描共焦荧光显微系统的光学设计问题，成象机理，参数确定及其设计关键，介绍了高精度光学扫描器件的设计方法及实现荧光共焦成象中成象器件的优化设计。
关键词 激光扫描 显微术 光学系统 荧光显微镜
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自适应光学技术在深层动态荧光显微成像中的应用和发展 被引量：14
18
作者 毛珩 Tao Louis 陈良怡 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期9-15,共7页
荧光显微成像技术是开展微观生命科学研究的重要手段和工具,使用该技术可以观察生物体内的精细结构、动态追踪生物体内组织、细胞、细胞核、蛋白、小分子等不同尺度的生命活动过程。其中,研究深层组织高时空分辨率荧光显微成像技术,是... 荧光显微成像技术是开展微观生命科学研究的重要手段和工具,使用该技术可以观察生物体内的精细结构、动态追踪生物体内组织、细胞、细胞核、蛋白、小分子等不同尺度的生命活动过程。其中,研究深层组织高时空分辨率荧光显微成像技术,是当前成像领域一个前沿问题。应用自适应光学技术实时补偿经由不透明散射、非均匀生物组织传播而引入的复杂波前畸变已被证实是实现上述技术的一种有效途径。文中首先归纳了深层动态荧光显微成像的需求和特点,随后分别介绍了自适应光学技术近几年在共聚焦显微成像、随机光学重构显微成像、光激活定位显微成像、受激辐射光淬灭显微成像、双光子/多光子激发显微成像中的相关应用,并对今后的研究问题和发展方向提出展望。 展开更多
关键词 荧光显微成像 自适应光学 深层组织 波前传感 波前校正
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激光扫描光电化学显微技术及其应用进展 被引量：4
19
作者 杨勇 尤金跨 +1 位作者 陈旭光 林祖赓 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1995年第4期1-6,共6页
综述了激光扫描光电化学显微技术及其在研究金属氢化膜、半导体电极表面修饰、光电化学腐蚀和光电活性物质电沉积过程的应用。
关键词 激光扫描 光电化学显微谱 测量方法 实验装置
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近场光学显微技术的进展及其应用 被引量：2
20
作者 方哲宇 刘丹 +2 位作者 王笑 黄姗 朱星 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第1期77-86,共10页
近场光学显微技术突破传统光学衍射极限获得了纳米尺度的空间分辨率,并在近场光存储、半导体材料、生命科学等交叉学科领域发挥了巨大的作用。本文综述了近场光学显微技术的发展现状,讨论了基于近场光学原理的超分辨近场结构在现代光刻... 近场光学显微技术突破传统光学衍射极限获得了纳米尺度的空间分辨率,并在近场光存储、半导体材料、生命科学等交叉学科领域发挥了巨大的作用。本文综述了近场光学显微技术的发展现状,讨论了基于近场光学原理的超分辨近场结构在现代光刻技术上的应用、表面等离激元的共振增强作用和束流作用在近场光学领域的进展以及表面增强拉曼散射机理的研究,并介绍了近场光学显微技术在单分子检测和细胞探测等其它生命科学领域的一些发展。 展开更多
关键词 扫描近场光学显微术 超高分辨近场结构 表面等离激元 表面增强拉曼散射 表面等离子晶体 全内反射 荧光显微术
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