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仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
被引量：
1
1
作者
张旭
赵锐
+3 位作者
石云波
祖凯旋
张洁宇
闫晓朋
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期410-415,共6页
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真...
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明,在50g_n载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30000g_n过载作用下承受的等效应力的最大值从1022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。
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关键词
加速度计
抗冲击
电容式
低量程
仿生缓冲结构
微机电系统
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职称材料
题名
仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
被引量：
1
1
作者
张旭
赵锐
石云波
祖凯旋
张洁宇
闫晓朋
机构
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
山西北方机械制造有限责任公司
出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期410-415,共6页
基金
山西省基础研究计划面上项目(202103021224206)
国家自然科学基金面上项目(52175524)
山西省“1331工程”重点学科建设项目资助。
文摘
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明,在50g_n载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30000g_n过载作用下承受的等效应力的最大值从1022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。
关键词
加速度计
抗冲击
电容式
低量程
仿生缓冲结构
微机电系统
Keywords
Accelerometer
Impact resistance
Capacitive
Low range
Bionic cushioning structure
Micro⁃electro⁃mechanical system
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
张旭
赵锐
石云波
祖凯旋
张洁宇
闫晓朋
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
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