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基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究 被引量:18
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作者 孙立宁 荣伟彬 +3 位作者 曲东升 高振国 楼朝飞 蔡鹤皋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期514-518,共5页
根据仿生学原理 ,采用分立式布局 ,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器。该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式 ,实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明 ,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点 ,... 根据仿生学原理 ,采用分立式布局 ,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器。该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式 ,实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明 ,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点 ,也适用于其它微操作中大行程高分辨率的旋转驱动。 展开更多
关键词 操作 驱动 仿生型旋转微驱动器 电磁铁箝位 压电陶瓷 机器人
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