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铌酸锂晶体的研磨亚表面损伤深度被引量：11: 1; 作者朱楠楠朱永伟 +2 位作者李军郑方志沈琦《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3387-3394,共8页; 针对光学材料研磨过程引入的亚表面损伤层（SSD）深度对工件的抛光工序效率和表面质量的影响,探索了光学材料在研磨过程中的亚表面损伤规律。采用角度抛光的方法测量了软脆材料铌酸锂（LN）晶体的损伤层深度,分析了研磨方式、磨粒粒径... 展开更多; 关键词软脆晶体铌酸锂晶体固结磨料研磨磨粒粒径亚表面损伤深度; 在线阅读下载PDF 职称材料

工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度预测被引量：7: 2; 作者高尚李天润 +2 位作者郎鸿业杨鑫康仁科《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第17期2077-2087,共11页; 工件旋转法磨削是大尺寸硅片正面平整化加工和背面减薄加工的主要方法,但磨削加工不可避免地会在硅片表面/亚表面产生损伤。为了预测工件旋转法磨削硅片产生的亚表面损伤深度,优化硅片磨削工艺,根据工件旋转法磨削过程中硅片磨削表面的... 展开更多; 关键词磨削单晶硅片表面粗糙度亚表面损伤深度; 在线阅读下载PDF 职称材料

杯形砂轮平面磨削WC-10Co-4Cr涂层亚表面损伤研究: 3; 作者沈先弟姜晨 +3 位作者姜臻禹张逸轩王玲奇普桂元《机械强度》北大核心 2025年第7期42-48,共7页; 针对磨削WC-10Co-4Cr涂层产生的亚表面损伤会导致涂层性能下降的问题,开展杯形砂轮磨削WC-10Co-4Cr涂层的亚表面损伤深度研究。根据磨削材料去除理论和压痕断裂力学,得出单颗粒磨削力理论表达式;基于杯形砂轮平面磨削特点,建立亚表面损... 展开更多; 关键词杯形砂轮硬质合金涂层单因素试验单点抛光试验亚表面损伤深度; 在线阅读下载PDF 职称材料

研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响被引量：22: 4; 作者王建彬朱永伟 +2 位作者王加顺徐俊左敦稳《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1099-1104,1120,共7页; 研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件... 展开更多; 关键词单晶蓝宝石固结磨料游离磨料亚表面损伤层深度表面粗糙度; 在线阅读下载PDF 职称材料

磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响被引量：1: 5; 作者戴子华朱永伟 +3 位作者王加顺肖仁杰朱琳李军《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2970-2977,共8页; 建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系。结果表明:固结磨料... 展开更多; 关键词亚表面损伤层深度固结磨料研抛磨粒粒径切入深度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名铌酸锂晶体的研磨亚表面损伤深度被引量：11: 1; 作者朱楠楠朱永伟李军郑方志沈琦; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3387-3394,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51175260 No.50905086) +2 种基金中央高校基本科研业务费专项资金资助项目; 文摘针对光学材料研磨过程引入的亚表面损伤层（SSD）深度对工件的抛光工序效率和表面质量的影响,探索了光学材料在研磨过程中的亚表面损伤规律。采用角度抛光的方法测量了软脆材料铌酸锂（LN）晶体的损伤层深度,分析了研磨方式、磨粒粒径和研磨压力对工件亚表面损伤层的影响规律。结果表明：研磨方式对损伤缺陷的影响最为显著,相同研磨条件下游离磨料研磨后的损伤层深度约为固结磨料研磨的3~4倍,游离磨料研磨后工件亚表面存在多处圆弧形裂纹,固结磨料研磨后主要显现细小裂纹和＂人＂字型裂纹;当磨粒粒径从W28下降到W14后,游离研磨的亚表面损伤层深度下降至原来的45%,而固结研磨的损伤层深度下降至30%;另外,研磨压力的降低有利于减小工件的亚表面损伤。该研究对LN晶体研磨方式及研磨工艺的选择具有指导意义。; 关键词软脆晶体铌酸锂晶体固结磨料研磨磨粒粒径亚表面损伤深度; Keywords soft-brittle crystal lithium niobate crystal fixed-abrasive lapping grit size subsurface damage depth; 分类号 O786 [理学—晶体学] TN305.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度预测被引量：7: 2; 作者高尚李天润郎鸿业杨鑫康仁科; 机构大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第17期2077-2087,共11页; 基金国家自然科学基金重大项目(No.51991372) 国家自然科学基金面上项目(No.51975091) +1 种基金国家重点研发计划项目(No.2018YFB1201804-1)。; 文摘工件旋转法磨削是大尺寸硅片正面平整化加工和背面减薄加工的主要方法,但磨削加工不可避免地会在硅片表面/亚表面产生损伤。为了预测工件旋转法磨削硅片产生的亚表面损伤深度,优化硅片磨削工艺,根据工件旋转法磨削过程中硅片磨削表面的几何轮廓参数、硅片磨削表面的材料去除机理和压痕断裂力学理论建立了磨粒切削深度、表面粗糙度Ra和亚表面损伤深度之间的数学关系,推导出工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度预测模型,并通过硅片超精密磨削试验对模型进行了验证与分析。结果表明,工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度随表面粗糙度Ra的增大而增大,通过预测模型计算的磨削硅片亚表面损伤深度预测值与硅片亚表面损伤深度实测值的误差小于10%,建立的亚表面损伤深度预测模型能够为超精密磨削硅片的亚表面损伤控制和硅片高效低损伤磨削工艺的优化提供理论指导。; 关键词磨削单晶硅片表面粗糙度亚表面损伤深度; Keywords grinding silicon wafers surface roughness subsurface damage depth; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] O786 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名杯形砂轮平面磨削WC-10Co-4Cr涂层亚表面损伤研究: 3; 作者沈先弟姜晨姜臻禹张逸轩王玲奇普桂元; 机构上海理工大学机械工程学院上海市轴承技术研究所有限公司; 出处《机械强度》北大核心 2025年第7期42-48,共7页; 基金长三角科技创新共同体联合攻关专项2022(CSJGG1302) 机械系统与振动国家重点实验室课题项目(MSV202315)。; 文摘针对磨削WC-10Co-4Cr涂层产生的亚表面损伤会导致涂层性能下降的问题,开展杯形砂轮磨削WC-10Co-4Cr涂层的亚表面损伤深度研究。根据磨削材料去除理论和压痕断裂力学,得出单颗粒磨削力理论表达式;基于杯形砂轮平面磨削特点,建立亚表面损伤深度理论预测模型;设计单因素平面磨削试验及单点抛光试验以验证模型准确性;分析不同磨削参数对工件亚表面损伤深度与表面粗糙度的影响规律。研究表明,亚表面损伤深度预测值与实测值的变化趋势一致,最大相对误差为15.8%;亚表面损伤深度及表面粗糙度随磨削深度、进给速度的增加而增加,随主轴转速的增加而减少。研究对于指导杯形砂轮磨削WC-10Co-4Cr涂层加工参数优化具有一定价值。; 关键词杯形砂轮硬质合金涂层单因素试验单点抛光试验亚表面损伤深度; Keywords Cup wheel Hard alloy coating Single factor test Single point polishing test Subsurface damage depth; 分类号 TH162 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响被引量：22: 4; 作者王建彬朱永伟王加顺徐俊左敦稳; 机构南京航空航天大学机电学院安徽工程大学机械与汽车工程学院; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1099-1104,1120,共7页; 基金国家自然科学基金(51175260) 中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506) 江苏省高校优势学科建设工程资助; 文摘研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件亚表面损伤层深度的影响。结果表明,金刚石磨料粒径分别为W 50和W 14的游离磨料研磨加工蓝宝石晶片的亚表面损伤层深度分别为48.85μm和7.02μm,而相同粒径固结磨料加工的亚表面损伤层深度分别为5.47μm和3.25μm。固结磨料研磨后的工件表面粗糙度也优于相同粒径的游离磨料加工的工件。固结磨料研磨方式对于蓝宝石单晶表面研磨质量的改善和亚表面损伤层深度的降低具有显著的效果。; 关键词单晶蓝宝石固结磨料游离磨料亚表面损伤层深度表面粗糙度; Keywords single crystal sapphire fixed abrasive loose abrasive subsurface damage depth average surface roughness; 分类号 TG74 [金属学及工艺—刀具与模具] TN305.1 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响被引量：1: 5; 作者戴子华朱永伟王加顺肖仁杰朱琳李军; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2970-2977,共8页; 基金国家自然科学基金(51175260 50905086) 航空科学基金(2014ZF52055); 文摘建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系。结果表明:固结磨料研抛条件下,工件亚表面裂纹层深度与工件特性、研抛垫特性及磨粒尺寸相关;基于平均切深的亚表面损伤层模型与实验结果有较好的吻合度。为固结磨料研抛垫的设计与工艺参数的制订提供了理论依据。; 关键词亚表面损伤层深度固结磨料研抛磨粒粒径切入深度; Keywords sub-surface damage depth fixed abrasive lapping abrasive grain size indentation depth; 分类号 TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	铌酸锂晶体的研磨亚表面损伤深度	朱楠楠朱永伟李军郑方志沈琦	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	11	在线阅读下载PDF 职称材料
2	工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度预测	高尚李天润郎鸿业杨鑫康仁科	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	杯形砂轮平面磨削WC-10Co-4Cr涂层亚表面损伤研究	沈先弟姜晨姜臻禹张逸轩王玲奇普桂元	《机械强度》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响	王建彬朱永伟王加顺徐俊左敦稳	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	22	在线阅读下载PDF 职称材料
5	磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响	戴子华朱永伟王加顺肖仁杰朱琳李军	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料