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具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型
被引量：
1
1
作者
余建华
赖建军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期1049-1053,共5页
运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速率分布等特性。理论研究表明,γ电离过程在高电流模式运行中...
运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速率分布等特性。理论研究表明,γ电离过程在高电流模式运行中起主要作用,并证实了此类放电中存在显著的电子摆钟效应,具有类似于空心阴极放电的特征。
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关键词
射频放电
空心阴极放电
两电子组模型
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职称材料
题名
具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型
被引量：
1
1
作者
余建华
赖建军
机构
深圳大学工程技术学院
华中科技大学光电子工程系
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期1049-1053,共5页
基金
广东省自然科学基金资助课题(980922)
文摘
运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速率分布等特性。理论研究表明,γ电离过程在高电流模式运行中起主要作用,并证实了此类放电中存在显著的电子摆钟效应,具有类似于空心阴极放电的特征。
关键词
射频放电
空心阴极放电
两电子组模型
Keywords
Electric fields
Electron transport properties
Numerical methods
Plasmas
Poisson equation
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型
余建华
赖建军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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