基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用 被引量：6

1

作者 李程 江志斌 +4 位作者 李友 李娜 耿娜 姚世清 贾文友 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期230-235,共6页

针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组... 针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 批处理 瓶颈 调度

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于问题分解的蚁群算法在半导体晶圆制造调度中的应用 被引量：9

2

作者 郭乘涛 江志斌 张怀 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1798-1802,共5页

为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间... 为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间设置重叠操作以保证调度的一致性.为调度各子问题,提出一种分类蚁群算法以处理不同类型的机器.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行,结果表明,该方法对调度结果有显著的提升. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 调度 分解 蚁群算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略及参数优化 被引量：10

3

作者 张怀 江志斌 郭乘涛 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1257,共6页

针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、... 针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、方差和制品数量等4个指标上均有所改善. 展开更多

关键词 派工策略 响应曲面法 期望函数 半导体晶圆制造系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台 被引量：6

4

作者 张怀 江志斌 +1 位作者 郭乘涛 刘惠然 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1857-1863,共7页

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台... 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 仿真 实时调度 拓展型面向对象Petri网

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于Petri网与遗传算法的半导体生产线建模与优化调度 被引量：11

5

作者 曹政才 余红霞 乔非 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期340-344,共5页

针对半导体生产线调度复杂、难以优化的问题,本文提出一种基于层次有色赋时Petri网技术和遗传算法相结合的优化调度方法.该方法利用层次化的思想结合自顶向下建模方法对半导体生产线进行模块化建模,模型不仅能够反映生产线待加工产品的... 针对半导体生产线调度复杂、难以优化的问题,本文提出一种基于层次有色赋时Petri网技术和遗传算法相结合的优化调度方法.该方法利用层次化的思想结合自顶向下建模方法对半导体生产线进行模块化建模,模型不仅能够反映生产线待加工产品的多条加工路径及其资源约束,还可以对系统的设备维护、各种优先级等特性进行描述,得到对生产系统更完善更精确的刻画.通过在遗传算法编码中考虑投料策略、工件选设备规则、批加工调度规则和单件加工设备规则等因素得到更加有效的调度方案,提高了模型的优化程度.在此基础上,对实际半导体生产线的不同调度方案分别进行仿真,并对仿真结果进行比较,从而验证了建模方法的正确性及调度策略的有效性. 展开更多

关键词 半导体生产线 层次有色赋时Petri网 遗传算法 建模 优化

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料控制策略 被引量：5

6

作者 曹政才 赵会丹 王永吉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1545-1550,共6页

半导体生产线存在大量随机不确定因素,各种不确定扰动的发生,往往使已获得优化调度方案在执行过程中失去优良性,鉴于模糊Petri网在知识表达和逻辑推理方面的优势,本文研究将该思想用于半导体生产线投料控制,构建投料模糊Petri网推理模型... 半导体生产线存在大量随机不确定因素,各种不确定扰动的发生,往往使已获得优化调度方案在执行过程中失去优良性,鉴于模糊Petri网在知识表达和逻辑推理方面的优势,本文研究将该思想用于半导体生产线投料控制,构建投料模糊Petri网推理模型,建立完整的在线投料机制,以生产线实时信息为依据,决定系统采取的投料控制行为,以便尽可能发挥系统的生产能力,优化系统制造性能.最后,以某半导体生产线为例进行投料控制实验,结果表明,该策略是可行有效的. 展开更多

关键词 半导体生产线 投料策略 模糊PETRI网

在线阅读 下载PDF 职称材料

半导体生产线建模方法与调度策略研究进展 被引量：3

7

作者 曹政才 乔非 吴启迪 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第B12期2518-2525,共8页

半导体生产线是典型多重入复杂的制造系统,具有可重入性、复杂性、不确定性、多目标和多约束等特点,其优化调度问题是近年来控制领域的一个重要研究方向.本文根据近些年来这一研究方向上的主要研究成果,系统评述了国内外半导体生产线调... 半导体生产线是典型多重入复杂的制造系统,具有可重入性、复杂性、不确定性、多目标和多约束等特点,其优化调度问题是近年来控制领域的一个重要研究方向.本文根据近些年来这一研究方向上的主要研究成果,系统评述了国内外半导体生产线调度的建模方法和调度策略的研究进展,分析和讨论它们各自的主要优缺点和适用范围,简要介绍了重调度判定依据及所采用的方法,并指出半导体制造领域中值得进一步研究的一些问题和可能发展的方向. 展开更多

关键词 半导体生产线 建模 调度 重调度

在线阅读 下载PDF 职称材料

半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究 被引量：3

8

作者 曹政才 彭亚珍 +1 位作者 李博 刘民 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2082-2087,共6页

实际半导体制造过程调度问题具有大规模、小确定、带复杂约束及多目标等综合复杂性,要确保上述生产过程优化运行,必须及时有效进行动态调度.鉴于半导体生产线具有多重入特征及紧急订单对常规订单产生影响,本文给出一种基于"鼓-缓冲... 实际半导体制造过程调度问题具有大规模、小确定、带复杂约束及多目标等综合复杂性,要确保上述生产过程优化运行,必须及时有效进行动态调度.鉴于半导体生产线具有多重入特征及紧急订单对常规订单产生影响,本文给出一种基于"鼓-缓冲-绳子"(Drum-Buffer-Rope,DBR)和白适应模糊推理系统(Adaptive Neuro-Fuzzy Inference System,ANFIS)相融合的半导体生产线动态调度方法.首先以最大化瓶颈设备有效产能及保证生产线负荷均衡为目标,将投料控制与工件调度有机结合进行DBR优化算法设计;其次根据生产线运行过程中积累大量的历史数据与实时数据,利用ANFIS构建紧急订单相关信息预测模型;再次结合专家经验知识,利用模糊推理系统将预测结果与相应的DBR算法相融合,使生产线提前调整投料策略,保证紧急订单到来时生产线能够有效完成其加工任务及减小紧急订单与常规订单之间的相互影响;最后通过某半导体生产线进行仿真验证,该方法能够实现生产线的多目标优化,为解决实际半导体生产调度问题提供参考. 展开更多

关键词 半导体生产线 动态调度 紧急订单预测 鼓-缓冲-绳子

在线阅读 下载PDF 职称材料

电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用 被引量：2

9

作者 任建华 钱省三 许圣良 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期485-488,共4页

半导体晶圆厂的设备非常昂贵,对设备利用率的要求较高,设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的。本文提出了产能规划的三大模块,在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(Spreadsheet),在第三个模块中利用... 半导体晶圆厂的设备非常昂贵,对设备利用率的要求较高,设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的。本文提出了产能规划的三大模块,在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(Spreadsheet),在第三个模块中利用产能规划模型的数据结果进行分析,总结出一些改进方法。通过在某半导体晶圆厂的实际应用,该产能规划模型有效地解决了投料不均,设备负荷率波动过大等问题。 展开更多

关键词 产能规划 半导体 晶圆制造 电子表格模型

在线阅读 下载PDF 职称材料

组件化可重构半导体生产线调度体系结构 被引量：2

10

作者 李莉 乔非 吴启迪 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 2006年第4期383-386,共4页

在分析半导体生产线调度分类的基础上,提出了组件化可重构半导体生产线调度体系结构.根据该体系结构,不同类型的企业可以按照自己的生产特点动态选择适合自己的调度结构,以获得最佳的生产性能.

关键词 半导体生产线 组件化 可重构 调度体系结构

在线阅读 下载PDF 职称材料

半导体芯片制造混合调度方法 被引量：1

11

作者 胡鸿韬 江志斌 陈侃 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期460-464,共5页

针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不... 针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果.结果表明,通过遗传算法能够得到较优化的结果. 展开更多

关键词 遗传算法 动态调度规则 半导体芯片制造系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于驻留约束的半导体晶圆蚀刻系统实时调度算法 被引量：1

12

作者 李鑫 周炳海 陆志强 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1742-1745,1750,共5页

为有效利用半导体晶圆蚀刻系统,根据蚀刻系统的特点,进行了实时调度问题域的描述,提出了基于驻留约束的实时调度算法.在此基础上,建立了以无不良品和总完工时间最小为目标的启发式实时调度算法.仿真实验结果表明,该算法是有效和实用的.

关键词 蚀刻系统 半导体晶圆制造 实时调度 驻留约束

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于多示例学习径向基函数神经网络的刻蚀设备异常侦测

13

作者 杨俊刚 张洁 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1816-1822,共7页

针对晶圆制造系统刻蚀设备工作过程中的"时间-晶圆-设备参数"三维结构数据导致常规分析方法难以应用的难题,提出了一种基于多示例学习径向基函数(RBF)神经网络的异常侦测方法.该方法应对常规点间距离无法解决示例间不匹配程... 针对晶圆制造系统刻蚀设备工作过程中的"时间-晶圆-设备参数"三维结构数据导致常规分析方法难以应用的难题,提出了一种基于多示例学习径向基函数(RBF)神经网络的异常侦测方法.该方法应对常规点间距离无法解决示例间不匹配程度衡量问题的不足,改进了距离计算方式,可用既含正常数据又含异常数据的数据包来训练和侦测.运用实验设计理论优化了神经网络参数,使用交叉验证方法将采集到的刻蚀设备运行数据按晶圆加工批次划分为不同示例,作为RBF网络的训练和测试数据,来侦测刻蚀设备异常,提高侦测的稳定性.实验结果表明,该方法可识别多批次多变量情况下的设备异常,适合于刻蚀设备运行过程中多种产品并存情况下的异常侦测. 展开更多

关键词 异常侦测 多示例学习 径向基函数神经网络 刻蚀 晶圆制造系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化 被引量：5

14

作者 李衍飞 江志斌 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期209-213,共5页

从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现... 从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 时变多目标 生产计划与调度 模糊控制 模拟退火法

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究 被引量：1

15

作者 李衍飞 江志斌 张怀 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期732-737,共6页

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最... 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统(swfs) 时变多目标(TVMO) 生产计划与调度 模糊控制

在线阅读 下载PDF 职称材料

晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法

16

作者 姚世清 江志斌 +1 位作者 郭乘涛 胡鸿韬 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1655-1659,共5页

针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真... 针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真最终获取Lot加工优先序列表.仿真结果表明,采用该算法在短期调度区间内,与一般的基于规则的动态调度算法相比,效果得到了显著的改善. 展开更多

关键词 半导体晶圆制造系统 蚁群算法 离散事件仿真 时间复杂度

在线阅读 下载PDF 职称材料

美国半导体制造能力现状与政府角色 被引量：1

17

作者 长青 《集成电路应用》 2017年第1期22-23,共2页

从20世纪40年代起,美国政府就在半导体产业的建立和发展中扮演了核心角色。随着亚洲半导体企业的崛起和美国半导体企业境外投资的快速增加,美国近年先进制造能力的建设速度已明显落后,全球占比从1980年的42%已滑落到1990年的30%、2007年... 从20世纪40年代起,美国政府就在半导体产业的建立和发展中扮演了核心角色。随着亚洲半导体企业的崛起和美国半导体企业境外投资的快速增加,美国近年先进制造能力的建设速度已明显落后,全球占比从1980年的42%已滑落到1990年的30%、2007年的16%,及现在的13%。面对美国半导体制造能力的减少、可信制造依赖外国等变化,国防部正考虑新的对策。 展开更多

关键词 美国半导体 政府决策 晶圆制造

在线阅读 下载PDF 职称材料

2016年全球半导体产业的资本投入与晶圆制造的产能和半导体设备材料市场分析 被引量：6

18

作者 王龙兴 《集成电路应用》 2017年第9期75-83,共9页

分析了2016年全球半导体产业的资本投入以及研发经费支出、全球晶圆生产线建设和产能的扩张情况、全球半导体设备市场和全球半导体材料市场的情况。全球晶圆生产线建设和产能扩张,主要用于大宗数量的商品化芯片生产,如DRAM、NAND Flash... 分析了2016年全球半导体产业的资本投入以及研发经费支出、全球晶圆生产线建设和产能的扩张情况、全球半导体设备市场和全球半导体材料市场的情况。全球晶圆生产线建设和产能扩张,主要用于大宗数量的商品化芯片生产,如DRAM、NAND Flash、CMOS图像传感器(CIS)、电源管理,以及芯片尺寸较大且工艺复杂的逻辑芯片和微处理器芯片等。2016年半导体设备订单的总额比2015年高出24%。2016年销售的半导体设备类别包括晶圆加工、封装测试和其他前端设备,如掩膜/掩膜版制造、晶片制造和晶圆厂配套设施等。 展开更多

关键词 半导体产业 晶圆制造 产能 半导体设备

在线阅读 下载PDF 职称材料