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Effect of cathode composition on microstructure and tribological properties of TiBN nanocomposite multilayer coating synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition 被引量:1
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作者 Lü Wen-quan CAO Yong-zhi +4 位作者 WANG Lang-ping WANG Xiao-feng GU Zhi-wei YAN Yong-da YU Fu-li 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第10期2238-2244,共7页
Nanocomposite multilayer TiBN coatings were prepared on Si(100) and 9Cr18Mo substrates using TiBN composite cathode plasma immersion ion implantation and deposition technique(PIIID). Synthesis of TiBN composite cathod... Nanocomposite multilayer TiBN coatings were prepared on Si(100) and 9Cr18Mo substrates using TiBN composite cathode plasma immersion ion implantation and deposition technique(PIIID). Synthesis of TiBN composite cathodes was conducted by powder metallurgy technology and the content of hexagonal boron nitride(h-BN) was changed from 8% to 40%(mass fraction). The as-deposited coatings were characterized by energy dispersive spectrometer(EDS), grazing incidence X-ray diffraction(GIXRD), Fourier Transform Infrared Spectroscopy(FTIR) and high resolution transmission electron microcopy(HRTEM). EDS results show that the B content of the coatings was varied from 3.71% to 13.84%(molar fraction) when the composition of the h-BN in the composited cathodes was changed from 8 % to 40%(mass fraction). GIXRD results reveal that the TiBN coatings with a B content of 8% has the main diffraction peak of TiN(200),(220) and(311), and these peaks disappear when the B content is increased. FTIR analysis of the multilayer coatings showed the presence of h-BN in all coatings. TEM images reveal that all coatings have the characteristics of self-forming nanocomposite multilayers, where the nanocomposites are composed of face-centered cubic Ti N or h-BN nanocrystalline embedded in amorphous matrix. The tribological tests reveal that the Ti BN coatings exhibit a marked decrease of coefficient at room temperature(~0.25). The improved properties were found to be derived from the comprehensiveness of the self-forming multilayers structure and the h-BN solid lubrication effects in the coatings. 展开更多
关键词 TiBN coatings NANOCOMPOSITE multilayer plasma immersion ion implantation and deposition
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PLASMA IMMERSION ION IMPLANTER FOR THE MODIFICATION OF INDUSTRIAL AEROSPACE COMPONENTS
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作者 TONGHong-hui CHENQin-chuan +5 位作者 HUOYan-feng WANGKe FENGTan-min MULi-lan ZHAOJun PaulKChu 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期186-192,共7页
A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts and components used in aerospace applications. The implanter consists of a vacuum chamber, pumpi... A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts and components used in aerospace applications. The implanter consists of a vacuum chamber, pumping and gas inlet system, custom sample chuck, four sets of hotfilaments, threefiltered vacuum arc plasma sources, special high voltage modulator, as well as monitoring and control systems. Special attention has been paid to improve the uniformity of plasma in the chamber. The power modulator operates in both the pulse bunching and single pulse modes. The maximum pulse voltage output is 80kV, maximum pulse current is 60A, and repetition frequency is 50~500Hz. The target chuck has been specially designed for uniform implantation into multiple aerospace components with irregular geometries as well as effective sample cooling. An in situ temperature monitoring device comprising dual thermocouples has been developed. The instrument was installed in an aerospace company and has been operating reliably for a year. In addition to reporting some of the hardware innovations, data on the improvement of the lifetime of an aircraft hydraulic pump disk using a dual nitrogen treatment process m-2; 30~45kV are presented. This treatment protocol has been adopted as a standard production procedure in the factory. 展开更多
关键词 等离子体沉积 离子注入 薄膜沉积 等离子体源
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等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化 被引量:10
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作者 黄永宪 田修波 +3 位作者 杨士勤 黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了... 等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了一维粒子模型(PIC)对其进行了数值模拟,该模型通过求解空间电势的Poisson方程,电子的Bolzmann分布以及离子在网格中受力运动的Newton运动方程来完成。本文重点研究了一个初始离子阵鞘层内电势、离子浓度、离子注入靶体的速度和动能以及离子流密度的时空演化规律。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 离子注人 鞘层 子阵 PⅢ 物理量 Poisson方程 材料表面改性 Newton 时空演化规律 离子流密度 脉冲偏压 数值模拟 粒子模型 求解空间 运动方程 离子浓度 靶体 电势 一维 电子 动能
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GCr15轴承钢表面PIIID处理膜层膜基结合力的研究 被引量:4
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作者 王宇航 汤宝寅 +5 位作者 王浪平 王晓峰 甘孔银 于永澔 刘洪喜 王松雁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期233-237,共5页
采用等离子体浸没离子注入沉积 (PIIID)技术在GCr1 5轴承钢表面形成TiN薄膜 ,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量。结果发现 :适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力 。
关键词 GCR15 轴承钢 表面处理 等离子体浸没离子注入沉积 piiiD TIN薄膜 结合力 划痕法
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MPIIID制备TiAlN涂层的高温抗氧化及摩擦性能 被引量:5
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作者 解志文 王浪平 +3 位作者 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期175-180,共6页
采用多源等离子体注入与沉积(MPIIID)装置制备了不同Al含量的TiAlN涂层,利用X射线能谱仪(EDX)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、纳米探针和摩擦试验对涂层的组成以及高温抗氧化和摩擦性能进行分析.结果表明:Al... 采用多源等离子体注入与沉积(MPIIID)装置制备了不同Al含量的TiAlN涂层,利用X射线能谱仪(EDX)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、纳米探针和摩擦试验对涂层的组成以及高温抗氧化和摩擦性能进行分析.结果表明:Al元素的加入明显提高了涂层的高温抗氧化能力,生成的Al2O3能有效地抑制氧的扩散;当Al的原子百分数为6.18%时,涂层硬度最高,约为38 GPa,涂层具有良好的摩擦磨损特性. 展开更多
关键词 多源等离子体注入与沉积(MpiiiD) TIALN涂层 氧化 摩擦
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GCr15轴承钢的PIIID表面改性工艺研究 被引量:2
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作者 孙韬 汤宝寅 +2 位作者 王浪平 王晓峰 于永皓 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2005年第1期39-41,46,共4页
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在 GCr15 轴承钢表面制备了 TiN、TiC 薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量。结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对 GCr15 轴承钢表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了... 采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在 GCr15 轴承钢表面制备了 TiN、TiC 薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量。结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对 GCr15 轴承钢表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了最佳处理工艺参数。 展开更多
关键词 表面改性 等离子体浸没离子注入与沉积 显微硬度 摩擦磨损性能
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基于PIII技术的高真空洁净环境中润滑问题 被引量:1
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作者 曹永智 卢礼华 +3 位作者 于福利 陈家轩 张庆春 梁迎春 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2371-2374,共4页
针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题,采用等离子体浸没离子注入(PIII)技术对复杂形状的零件进行表面改性,通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析,结果表明,通过对注入元素、剂量和能量的选择,可以大幅度提高... 针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题,采用等离子体浸没离子注入(PIII)技术对复杂形状的零件进行表面改性,通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析,结果表明,通过对注入元素、剂量和能量的选择,可以大幅度提高材料表面的硬度及耐磨性,并且零件的尺寸精度及表面粗糙度保持性好,充分证明了PIII技术可以在满足颗粒洁净度和有机物洁净度的双重要求条件下,提高运动部件抗摩擦磨损性能,延长微驱动机构的运动精度寿命,是解决终端光学组件中润滑问题的有效途径。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注人 高真空 摩擦磨损 PⅢ技术
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超声波塑料焊机声学系统连接界面破坏及PIII强化
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作者 田修波 汤宝寅 +1 位作者 杨士勤 PaulKChu 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期233-237,共5页
对超声波塑料焊机的声学系统连接界面破坏进行了分析研究。表明硬铝合金焊头极易发生表面的粘着磨损破坏,使得声学系统谐振特性变坏,效率降低。采用等离子体浸没离子注入(PIII)的方法对声学系统的连接面进行了氮的注入强化。高... 对超声波塑料焊机的声学系统连接界面破坏进行了分析研究。表明硬铝合金焊头极易发生表面的粘着磨损破坏,使得声学系统谐振特性变坏,效率降低。采用等离子体浸没离子注入(PIII)的方法对声学系统的连接面进行了氮的注入强化。高、低压的交替处理使得表面显微硬度提高60 % ,而且在材料近表面生成了AlN 相,从而改变了其表面化学特性,使处理后的声学系统连接表面粘着倾向大大降低。 展开更多
关键词 超声波塑料焊机 粘着破坏 声学系统 离子注入
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9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究 被引量:5
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作者 刘洪喜 汤宝寅 +3 位作者 王小峰 王浪平 于永澔 孙韬 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期167-171,共5页
采用不同的等离子体浸没离子注入 (PIII)工艺在 9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛 (TiC)、类金刚石 (DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)。对处理后的试样进行了X射线光电子能谱 (XPS)、X射... 采用不同的等离子体浸没离子注入 (PIII)工艺在 9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛 (TiC)、类金刚石 (DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)。对处理后的试样进行了X射线光电子能谱 (XPS)、X射线衍射 (XRD)、俄歇电子能谱 (AES)和拉曼光谱 (Raman)分析 ;测试了处理前后试样的显微硬度、磨痕宽度和摩擦系数。结果表明 :处理后试样表面均形成了不同的改性层 ,且改性层中化学组成和各元素的浓度 深度分布随处理工艺的不同而变化 ;处理后试样的显微硬度都有较大提高 ,最大增幅达 77.7% ;表面摩擦系数由 0 .8下降到0 .16 ;磨痕宽度减少了 2 3倍 ;与PIII工艺相比 ,相同参数下 ,PIIID处理后的试样表面综合性能更加优异。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入(PⅢ) 等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢD) 9Cr18轴承钢 摩擦磨损性能
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LY12CZ铝合金表面等离子浸没离子注入氮层的摩擦磨损性能研究 被引量:11
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作者 刘洪喜 王浪平 +1 位作者 王小峰 汤宝寅 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期417-421,共5页
对LY12CZ(2024)铝合金进行了氮等离子体浸没离子注入(PIII)处理,分析比较了不同工艺参数下离子注入前后试样的化学组成、各元素的化学价态及其摩擦磨损性能.结果表明:铝合金表面改性层中形成了弥散强化的氮化铝(A lN)相;与基体相比,铝... 对LY12CZ(2024)铝合金进行了氮等离子体浸没离子注入(PIII)处理,分析比较了不同工艺参数下离子注入前后试样的化学组成、各元素的化学价态及其摩擦磨损性能.结果表明:铝合金表面改性层中形成了弥散强化的氮化铝(A lN)相;与基体相比,铝合金试样在不同条件下处理后的表面显微硬度均有所提高,最大增幅达1.4倍;铝合金的磨损质量损失减少了75%,摩擦系数显著降低,表面综合性能得到了显著改善. 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入(PⅢ) LY12CZ铝合金 摩擦磨损性能 耐腐蚀性能
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9Cr18轴承钢的金属离子加氮离子复合注入处理新工艺 被引量:14
11
作者 汤宝寅 王松雁 +4 位作者 王晓峰 甘孔银 曾照明 田修波 Paul K.Chu 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期24-28,共5页
简单地叙述了金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)表面处理新工艺的发展,以及MePIIID工艺对于脉冲阴极弧金属等离子体源的要求。详细报导了9Cr18轴承钢样品的氮离子注入表面处理工艺以及金属离子加氮离子复合注入处理新工艺。... 简单地叙述了金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)表面处理新工艺的发展,以及MePIIID工艺对于脉冲阴极弧金属等离子体源的要求。详细报导了9Cr18轴承钢样品的氮离子注入表面处理工艺以及金属离子加氮离子复合注入处理新工艺。对被处理和未被处理试样进行了显微硬度、磨痕、摩擦因数及腐蚀特性测试后表明:用金属离子加氮离子复合注入处理的9Cr18钢试样的表面特性改善明显优于只用氮离子处理的试样,证明脉冲阴极弧金属等离子体源和气体等离子体浸没离子注入相结合是现代材料表面强化的一个很有效的手段。 展开更多
关键词 金属离子 氮离子 离子注入 表面改性 轴承钢
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等离子体浸没N+注入对豌豆胚芽细胞的诱变效应 被引量:17
12
作者 杜兰芳 顾志良 +3 位作者 钟华 董英 吴美萍 潘重光 《遗传》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期398-400,共3页
报道了等离子体浸没N+ 注入豌豆种子后 ,引起M1 胚芽细胞畸变效应。初步研究结果表明 :此种方法能抑制纺锤体形成 ,诱发胚芽细胞核畸变和染色体畸变。提出等离子体浸没离子注入可以作为一种经济、有效的诱变育种方法。
关键词 等离子体浸没离子注入 豌豆 诱变效应
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空间用9Cr18钢PⅢ复合离子注入表面改性工艺研究 被引量:5
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作者 蒋钊 周晖 +2 位作者 桑瑞鹏 霍丽霞 胡明泰 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期100-104,共5页
采用等离子体浸没离子注人(PⅢ)技术对9Cr18轴承钢表面进行了双注入及共注入Ti+N工艺处理。测试了处理前后试样的显微硬度及真空摩擦因数,并表征分析了表面磨损形貌。结果表明:处理后试样的显微硬度都有大幅提高,最大增幅达68.7%;表面... 采用等离子体浸没离子注人(PⅢ)技术对9Cr18轴承钢表面进行了双注入及共注入Ti+N工艺处理。测试了处理前后试样的显微硬度及真空摩擦因数,并表征分析了表面磨损形貌。结果表明:处理后试样的显微硬度都有大幅提高,最大增幅达68.7%;表面真空摩擦因数由0.15下降到0.08;磨斑尺寸及粗糙度分别减少了54.4%和37.4%。双注入与共注入方式在相同参数下,双注入处理后的试样表面综合性能更加优异。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 9Cr18 真空摩擦学 摩擦磨损
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等离子体浸没离子注入和沉积技术制备TiN薄膜研究 被引量:15
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作者 冷永祥 孙鸿 +3 位作者 徐禄祥 裘叶军 陈俊英 黄楠 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期295-298,225,共5页
利用多功能等离子体浸没离子注入设备 ,采用等离子体浸没离子注入和沉积技术在Ti合金表面制备具有优异力学性能的TiN薄膜。研究了真空室中氮气存在状态及氮气压力对薄膜性能的影响 :当氮以中性气体存在于真空室中 ,薄膜的生长主要受热... 利用多功能等离子体浸没离子注入设备 ,采用等离子体浸没离子注入和沉积技术在Ti合金表面制备具有优异力学性能的TiN薄膜。研究了真空室中氮气存在状态及氮气压力对薄膜性能的影响 :当氮以中性气体存在于真空室中 ,薄膜的生长主要受热力学因素控制 ,沿着低自由能的密排面 (低指数面 )TiN(1 1 1 )择优生长 ;当氮以等离子体状态存在于真空室中 ,薄膜沿着高指数面TiN(2 2 0 )择优生长 ,具有高硬度、耐磨性好的优点 ,并且随着N分压的提高 。 展开更多
关键词 氮化钛 等离子浸没离子注入和沉积硬度 耐磨性 成分 结构
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等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究 被引量:7
15
作者 万国江 黄楠 +2 位作者 冷永祥 杨萍 陈俊英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期904-910,共7页
采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜。对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现。采用划痕法测得薄膜与基体间有较... 采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜。对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现。采用划痕法测得薄膜与基体间有较强的结合力。薄膜的纳米压痕测试显示出很高的纳米硬度和弹性模量值。通过对合成TiN薄膜的TEM结构测试、AFM表面观察、AES成分结果分析,认为该合成薄膜的纳米级晶粒尺寸、致密的表面质量以及成分沿深度的分布是其具有优异的抗塑性变形性能以及高的结合强度的原因。 展开更多
关键词 纳米薄膜 机械性能 TIN 等离子体浸没离子注入沉积
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等离子体浸没离子注入及表面强化工艺的进展 被引量:7
16
作者 汤宝寅 王松雁 +5 位作者 刘爱国 曾照明 田修波 王小峰 王浪平 PaulKChu 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1999年第S1期181-185,192,共6页
等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍有若干重要的物理... 等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍有若干重要的物理与技术问题 ,诸如浅的注入层、离子注入不均匀性、气体 (氮 )等离子体的有限应用范围等等 ,阻碍了PIII工业应用的发展 .目前 ,这些问题已成为国内外学者关注的焦点 .我实验室近年来在注入过程鞘层动力学的计算机理论模拟、离子注入剂量不均匀性改善、圆筒内表面注入研究、新型长射程阴极弧金属等离子体源研制、气体及金属等离子体的综合性表面改性工艺研究、以及低能高温PIII新工艺研究等方面进行了研究工作 . 展开更多
关键词 离子注入 等离子体浸没离子注入 表面改性
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铝合金等离子体淹没氮离子注入层的摩擦学性能研究 被引量:8
17
作者 战再吉 马欣新 +2 位作者 冯莉丽 孙跃 夏立芳 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期300-305,共6页
用等离子体淹没离子注入技术对LY12和LD10铝合金表面进行氮离子注入.用俄歇电子能谱分析了离子注入层中氮的浓度分布,在此基础上进行了摩擦磨损试验.用扫描电镜观察和分析磨损表面特征.研究表明:氮离子注入铝合金形成细小... 用等离子体淹没离子注入技术对LY12和LD10铝合金表面进行氮离子注入.用俄歇电子能谱分析了离子注入层中氮的浓度分布,在此基础上进行了摩擦磨损试验.用扫描电镜观察和分析磨损表面特征.研究表明:氮离子注入铝合金形成细小、弥散的硬质AlN析出相,铝合金表层的显微硬度增加,摩擦系数降低;耐磨性随着注入剂量和电压的增加而提高.磨损机制主要为粘着磨损,随离子注入剂量的增加,粘着磨损趋于减轻. 展开更多
关键词 等离子体淹没 离子注入 铝合金 摩擦 磨损
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金属等离子体浸没离子注入与沉积技术合成类金刚石薄膜研究 被引量:5
18
作者 刘洪喜 汤宝寅 +3 位作者 王浪平 王小峰 于永澔 孙韬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期372-376,共5页
采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在 9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜。研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响 ;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后... 采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在 9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜。研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响 ;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后试样表面的化学组成和微观结构、显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能。结果表明 :合成薄膜后 ,试样的显微硬度增大了 88 7% ,摩擦磨损和抗腐蚀性能也明显改善。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 沉积技术 金属 显微硬度 维氏硬度 钢基体 表面 类金刚石薄膜 合成 RAMAN光谱
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磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究 被引量:5
19
作者 王进 Sunny C.H.Kwok +3 位作者 陈俊英 杨萍 黄楠 P.K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期123-126,共4页
应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-aopea DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增加了DLC薄膜的无序性,俄歇能谱证明岛型区域是由P、C、O三种... 应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-aopea DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增加了DLC薄膜的无序性,俄歇能谱证明岛型区域是由P、C、O三种元素形成的化合物,衰减全反射傅里叶红外光谱(ATR-FTIR)的分析结果显示存在P-O-P和P-P-C的非对称伸缩振动。掺杂表面表现出强烈的亲水性(水接触角为16.9°),体外血小板粘附实验结果显示,P掺杂DLC薄膜表面粘附的血小板少且变形小,表现出的血液相容性优于热解碳和未改性DLCo。P-doped DLC薄膜与水的界面张力为2.7 nJ/cm2,具有较理想的接近于血细胞的界面张力,因此与血液保持了较高的相容性。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 磷掺杂 性能研究 等离子体浸没离子注入 DLC薄膜 diamond 制备 carbon 界面张力 衰减全反射 血小板粘附 血液相容性 沉积方法 like 俄歇能谱 元素形成 伸缩振动 分析结果 红外光谱 水接触角 薄膜表面 微米级
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高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积CrN薄膜研究 被引量:13
20
作者 吴忠振 田修波 +2 位作者 王泽明 巩春志 杨士勤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期459-464,共6页
采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的... 采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,相结构单一,主要是CrN(200)相。对薄膜的结合力、硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试分析表明:薄膜与基体之间有很好的结合力,临界载荷最高可达68 N,同时硬度、弹性模量、耐磨性及耐腐蚀性都有很大提高,其中硬度最高达到23.6 GPa,是基体硬度的4.7倍,摩擦系数为0.5左右,且磨痕较窄、较浅,腐蚀电位最高提高0.32 V,腐蚀电流下降12个数量级。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控放电 等离子体离子注入与沉积 氮化铬 微观结构 表面性能
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