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低量程抗冲击双轴微加速度计设计
被引量：
1
1
作者
帅清
石云波
+1 位作者
赵锐
张志峰
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第4期92-95,100,共5页
针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n...
针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n)载荷作用下,加速度计敏感单元在Y轴位移为1.476μm,灵敏度为0.730 pF/g_(n),在X轴位移为1.476μm,灵敏度为0.382 pF/g_(n)引入嵌入式双轴叉齿止挡缓冲结构的加速度传感器,在3×10^(4)g_(n)过载作用X轴下的梳齿最大位移为3.129μm,Y轴下的梳齿最大位移为3.042μm,均小于最小梳齿间距4μm,有效避免了短路。最大等效应力X轴,Y轴分别为180.880 MPa和85.136 MPa,均远小于硅(Si)的许用应力。
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关键词
双轴加速度计
抗冲击
电容式
低量程
嵌入式止挡结构
微机电系统
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职称材料
变刚度单轴电容式MEMS加速度计设计
2
作者
洪逸飞
武焕臣
+2 位作者
汤沛源
刘晨
李磊
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第4期70-73,共4页
本文提出了一种利用静电弹簧软化效应提高加速度计灵敏度的方法。加速度计采用4组U型弹簧对敏感质量进行支撑,敏感质量上设计了差分电容检测结构和静电调谐结构。实现了结构谐振频率可调,保证了加速度计的结构强度,提高了传感器灵敏度...
本文提出了一种利用静电弹簧软化效应提高加速度计灵敏度的方法。加速度计采用4组U型弹簧对敏感质量进行支撑,敏感质量上设计了差分电容检测结构和静电调谐结构。实现了结构谐振频率可调,保证了加速度计的结构强度,提高了传感器灵敏度。建立了加速度计的数学结构模型。通过仿真,对加速度计进行模态分析,研究了调谐电压对灵敏度的影响。结果表明:当调谐电压增大到30 V时,加速度计的位移灵敏度增加了34%,电容灵敏度增加了39.7%,谐振频率降低了13.4%。最后利用实验进行谐响应分析,发现加速度计的谐振频率降低了17.5%,验证了变刚度方案的可行性。
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关键词
MEMS
电容式加速度计
灵敏度
变刚度
谐响应分析
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职称材料
计及边缘效应的双差动电容式加速度传感器的输出特性
3
作者
王福谦
《计量学报》
北大核心
2025年第5期709-715,共7页
为了实现对二维加速度的准确测量,在计及边缘效应的变极距及变夹角的平板电容器电容的基础上,运用计算机数值模拟,研究计及边缘效应的双差动平板电容式加速度传感器和双差动电容角位移传感器的输出特性。数值模拟结果表明,输出特性优化...
为了实现对二维加速度的准确测量,在计及边缘效应的变极距及变夹角的平板电容器电容的基础上,运用计算机数值模拟,研究计及边缘效应的双差动平板电容式加速度传感器和双差动电容角位移传感器的输出特性。数值模拟结果表明,输出特性优化后的双差动平板电容式加速度传感器和电容角位移传感器,其灵敏度不低于1.4 pF/(m·s^(-2))和7.5 pF/rad,且均具有良好的线性度;在计边缘效时,可减小这2种传感器的测量误差,对于文中给定的传感器的几何尺寸和测量范围,减小的绝对误差最大值可达约1 m/s2和0.012 5 rad。将双差动平板电容式加速度传感器和双差动电容角位移传感器组合,构成二维双差动电容式加速度传感器,该加速度传感器具有结构简单、测量准确度高等优点,可用于测量线运动和轴向翻滚。
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关键词
力学计量
加速度传感器
双差动电容
边缘效应
二维加速度
测量误差
输出特性
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职称材料
轻小型高可靠回收控制器设计与实现
4
作者
刘靖雷
闫云龙
+3 位作者
裴晓燕
孙希昀
刘海烨
乔茂永
《航天返回与遥感》
CSCD
北大核心
2024年第4期29-38,共10页
针对某商用返回式卫星回收系统轻小型、高可靠的约束要求,设计了一种新型回收控制器产品,该装置基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)过载传感器进行弹道过载测量,采用双核四进程“与或”逻辑实现冗余控制,基于...
针对某商用返回式卫星回收系统轻小型、高可靠的约束要求,设计了一种新型回收控制器产品,该装置基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)过载传感器进行弹道过载测量,采用双核四进程“与或”逻辑实现冗余控制,基于容性释能半导体桥点火器起爆技术实现火工品管理。策划了针对返回过程的弹道过载触发验证试验,针对容性释能电容阵列放电特性,开展了容性释能系统不同初始电压、不同电容阵列容值以及不同回路阻值下的点火效能仿真分析。结果表明该回收控制器在轻小型约束下返回弹道过载感知精度达到±0.28 g,可实现开伞逻辑高可靠控制。半导体桥点火器容性释能电路优化参数为初始电压大于24 V、回路阻值小于0.3Ω、初始电容大于22μF,可实现点火器高可靠点火控制。该设计在不显著增加硬件基础上,大大降低产品质量,可为航空航天用同类电子系统设计提供参考。
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关键词
回收控制器
过载传感器
开伞控制
容性释能
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职称材料
仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
被引量：
1
5
作者
张旭
赵锐
+3 位作者
石云波
祖凯旋
张洁宇
闫晓朋
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期410-415,共6页
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真...
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明,在50g_n载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30000g_n过载作用下承受的等效应力的最大值从1022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。
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关键词
加速度计
抗冲击
电容式
低量程
仿生缓冲结构
微机电系统
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职称材料
面向MEMS加速度传感器的aF级电容检测电路设计
被引量：
1
6
作者
覃飞洋
何文正
+3 位作者
彭晶晶
元赛飞
尤睿
鲁文帅
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第12期17-22,共6页
针对MEMS电容式加速度计输出信号弱(fF量级)、易受干扰等问题,设计了一种基于差分载波调制解调方法的高精度电容检测电路,检测下限可达aF量级。该方法采用高频载波调制解调,可有效抑制1/f噪声;采用敏感电容差动检测方式,可抑制共模噪声...
针对MEMS电容式加速度计输出信号弱(fF量级)、易受干扰等问题,设计了一种基于差分载波调制解调方法的高精度电容检测电路,检测下限可达aF量级。该方法采用高频载波调制解调,可有效抑制1/f噪声;采用敏感电容差动检测方式,可抑制共模噪声干扰。采用fF级动态电容输出的商用加速度计表头搭建测试系统,测试结果表明:所设计电路的电容检测下限可达35 aF,等效电容分辨率为2.88 aF/√Hz,本底噪声水平为372μg/√Hz,可满足高精度MEMS加速度计检测需求。
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关键词
加速度计
电容读出
差分调制
分辨率
aF级精度
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职称材料
新型三轴微加速度计设计
被引量：
14
7
作者
刘宗林
李圣怡
吴学忠
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004年第3期488-491,504,共5页
新型三轴微加速度计采用单一惯性质量 ,由四组L型梁对称布置支撑 ;利用差分电容作为检测接口 ,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移 ;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能 ,实现系统静电力反馈闭环控制。利用ICP深刻蚀技...
新型三轴微加速度计采用单一惯性质量 ,由四组L型梁对称布置支撑 ;利用差分电容作为检测接口 ,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移 ;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能 ,实现系统静电力反馈闭环控制。利用ICP深刻蚀技术和静电键合技术等微机电系统工艺完成微加速度计的制作。具有体积小、灵敏度高、功耗小等优点 ,能够广泛应用于导航系统、汽车工业、PC游戏设备以及其他一些消费电子产品领域。
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关键词
微加速度计
差分电容
微机电系统
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职称材料
寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响
被引量：
5
8
作者
曲昊
彭倍
+2 位作者
彭鹏
周吴
于慧君
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第6期15-18,63,共5页
电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测...
电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次,根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况,以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后,通过实验验证理论分析的结果。
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关键词
MEMS
梳齿式电容加速度传感器
电荷放大电路
寄生电容
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职称材料
一种电容式微机械加速度计的设计
被引量：
10
9
作者
郑旭东
曹学成
+3 位作者
郑阳明
罗斯建
王跃林
金仲和
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期226-229,共4页
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决...
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。
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关键词
电容式加速度计
微机电系统
深反应离子刻蚀
滑膜阻尼
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职称材料
一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器
被引量：
10
10
作者
李建利
房建成
盛蔚
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期73-78,共6页
在很多控制、监测和导航系统中,不仅需要角位移和角速度信息,同时还需要角加速度信息,为了测量角加速度信息,首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器,采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件,长方形金属电极板作为电...
在很多控制、监测和导航系统中,不仅需要角位移和角速度信息,同时还需要角加速度信息,为了测量角加速度信息,首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器,采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件,长方形金属电极板作为电容式变换器,静电力实现力平衡反馈回路,文中介绍了扭摆式硅MEMS角加速度传感器的结构及原理,详细推导出传感器的动力学方程和灵敏度,仿真结果验证了理论模型的正确性,传感器灵敏度达到0.388 9 V.(r.s-1)-1。该传感器具有体积小、质量轻、功耗小、零偏稳定性好、噪声小等优点。
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关键词
MEMS
角加速度传感器
扭摆式
静电力反馈
电容式变换器
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职称材料
微机械电容式加速度传感器测试电路研究
被引量：
4
11
作者
杨苗苗
陈德勇
+3 位作者
王军波
陈健
毋正伟
陈李
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期2421-2424,共4页
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路...
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.
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关键词
硅微加速度传感器
微弱电容检测
差分检测
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职称材料
电容式微加速度计的研制
被引量：
4
12
作者
谭宜勇
金桐
+2 位作者
苏卫国
赵新
卢桂章
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期585-588,共4页
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利...
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
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关键词
MEMS
电容式微加速度计
虚拟工艺
虚拟运行
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职称材料
一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器
被引量：
6
13
作者
徐玮鹤
林友玲
+3 位作者
车录锋
李玉芳
熊斌
王跃林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期230-232,共3页
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合。在完成整体结构圆片级真空封装的同时通过引线...
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合。在完成整体结构圆片级真空封装的同时通过引线腔结构方便地实现了中间电极的引线。传感器芯片大小为6.8mm×5.6mm×1.26mm,其中敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm×0.42mm。对封装的传感器性能进行了初步测试,结果表明制作的传感器灵敏度约4.15pF/g,品质因子为56,谐振频率为774Hz。
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关键词
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
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职称材料
基于轮辐式质量弹簧系统的强震转动加速度计的研究
被引量：
5
14
作者
杨学山
高峰
+3 位作者
匙庆磊
佘天莉
杨立志
王南
《自然灾害学报》
CSCD
北大核心
2015年第3期37-45,共9页
给出了一种新型的强震转动加速度计的结构原理,导出了转动加速度计的微分方程、频率特性、以及灵敏度计算公式。在国家转台校准装置上对转动加速度计灵敏度、线性度、幅频特性进行了校准,在实验室内对转动加速度计最大量程、一致性以及...
给出了一种新型的强震转动加速度计的结构原理,导出了转动加速度计的微分方程、频率特性、以及灵敏度计算公式。在国家转台校准装置上对转动加速度计灵敏度、线性度、幅频特性进行了校准,在实验室内对转动加速度计最大量程、一致性以及水平振动对转动加速度计的影响等进行了测试。测试结果表明,强震转动加速度计具有良好的性能,可用于强震转动加速度和建筑结构转动加速度的测量。该转动加速度计已获得国家专利。
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关键词
强地震
转动加速度计
轮辐式质量弹簧
电容传感
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职称材料
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究
被引量：
3
15
作者
何江波
谢进
+2 位作者
何晓平
杜连明
周吴
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2016年第5期752-757,共6页
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的...
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的输出电压与检测电容和寄生电容之间的关系式,其中检测电容包含了边缘电容;其次,基于有限元法,分别提出了计算微加速度计的寄生电容和检测电容的方法;最后建立了微加速度计的输出电压与输入加速度之间的关系式,并基于三次多项式拟合,推导出微加速度计的非线性误差的计算公式。通过对比分析非线性误差的理论计算结果与实验测量结果,提出的方法的正确性得到了验证。
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关键词
微加速度计
边缘电容
寄生电容
非线性误差
有限元法
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职称材料
内端固定三轴梳齿电容式加速度计
被引量：
3
16
作者
刘凤丽
于家锟
郝永平
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第7期18-20,共3页
基于多轴加速度计的构成方式,提出了一种新型的三轴向梳齿式电容加速度计。内部支撑梁与外部可动电极相连接的结构,在体积相同的条件下,增加了输出电容;采用完全对称结构,支撑梁与电极板等厚,增加稳定性的同时提高了抗过载能力;完全对...
基于多轴加速度计的构成方式,提出了一种新型的三轴向梳齿式电容加速度计。内部支撑梁与外部可动电极相连接的结构,在体积相同的条件下,增加了输出电容;采用完全对称结构,支撑梁与电极板等厚,增加稳定性的同时提高了抗过载能力;完全对称的梳齿分布,避免了水平向加速度的相互干扰;可动齿与不动齿的不对称结构,避免了水平向对z轴向的干扰。利用MEMS专业有限元软件ConventorWare对其进行静态分析、抗过载分析和模态分析,此加速度计在满量程状态下能安全工作,工作频率为94.1 kHz.
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关键词
电容
加速度计
三轴
Conventor
WARE
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职称材料
电容式加速度计系统的非线性分析及线性化控制
被引量：
7
17
作者
范达
刘云峰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第6期734-738,共5页
电容式静电力反馈加速度计只有在敏感质量工作于对称点位置附近微小范围内时,系统可以近似成为线性系统。但由于敏感表头的加工误差以及振动使得加速度计的质量块会偏移量过大,从而非线性将表现明显。针对加速度计系统非线性的两个主要...
电容式静电力反馈加速度计只有在敏感质量工作于对称点位置附近微小范围内时,系统可以近似成为线性系统。但由于敏感表头的加工误差以及振动使得加速度计的质量块会偏移量过大,从而非线性将表现明显。针对加速度计系统非线性的两个主要来源,对非线性引起的失稳现象及振动过程中发生的输出直流成分漂移现象的原因进行了分析说明,并提出一种利用反函数将系统完全线性化后再进行校正网络设计的控制方法.仿真结果表明这种方法可以改善系统的稳定性且克服振动漂移。
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关键词
电容式加速度计
振动漂移
系统线性化
非线性反函数
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职称材料
电容式力平衡加速度计的设计
被引量：
10
18
作者
陈渝
郁发新
+2 位作者
王慧泉
金仲和
王跃林
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期411-414,共4页
电容式微机械加速度计是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器。利用开关电容电路实现C-V变换,利用反馈静电力实现力平衡闭环控制,设计了一种电容式微机械加速度计。通过构建...
电容式微机械加速度计是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器。利用开关电容电路实现C-V变换,利用反馈静电力实现力平衡闭环控制,设计了一种电容式微机械加速度计。通过构建电容式加速度传感器及外围电路的数学模型,推导了闭环工作的系统函数。并对实际系统进行研制,最后给出了整个系统的测试结果。
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关键词
电容式微机械加速度计
力平衡闭环控制
差分电容
C-V变换
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职称材料
微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺
被引量：
4
19
作者
胥震
欧阳清
+1 位作者
施冠羽
易定和
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第10期1-3,14,共4页
对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰。最后,给出了基于MEMS技术...
对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰。最后,给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。
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关键词
微机电系统
电容传感器
有限元仿真分析
加工工艺
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职称材料
基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计
被引量：
6
20
作者
陈立国
袁飞
+1 位作者
陈涛
孙立宁
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2015年第5期932-937,994,共6页
设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度...
设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度制作,降低了热机械噪声,增大了检测电容,提高了灵敏度、分辨率和可靠性。ANSYS仿真结果表明,器件在3个轴向的灵敏度一致性好,抗干扰,测试结果和理论分析相符。该加速度计结构工艺简单,在消费电子领域有较好的应用前景。
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关键词
单一敏感质量
三轴加速度计
微机电系统
全差分电容检测
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职称材料
题名
低量程抗冲击双轴微加速度计设计
被引量：
1
1
作者
帅清
石云波
赵锐
张志峰
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
山西北方机械制造有限责任公司
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第4期92-95,100,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(52175524)。
文摘
针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n)载荷作用下,加速度计敏感单元在Y轴位移为1.476μm,灵敏度为0.730 pF/g_(n),在X轴位移为1.476μm,灵敏度为0.382 pF/g_(n)引入嵌入式双轴叉齿止挡缓冲结构的加速度传感器,在3×10^(4)g_(n)过载作用X轴下的梳齿最大位移为3.129μm,Y轴下的梳齿最大位移为3.042μm,均小于最小梳齿间距4μm,有效避免了短路。最大等效应力X轴,Y轴分别为180.880 MPa和85.136 MPa,均远小于硅(Si)的许用应力。
关键词
双轴加速度计
抗冲击
电容式
低量程
嵌入式止挡结构
微机电系统
Keywords
dual-axis
accelerometer
impact resistance
capacitive
low range
embedded stop structure
MEMS
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
变刚度单轴电容式MEMS加速度计设计
2
作者
洪逸飞
武焕臣
汤沛源
刘晨
李磊
机构
山东理工大学交通与车辆工程学院
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第4期70-73,共4页
基金
山东省自然科学基金面上项目(ZR2023MA057)
国家自然科学基金资助项目(11902182)
山东省高校青年创新团队发展计划资助项目(2023KJ150)。
文摘
本文提出了一种利用静电弹簧软化效应提高加速度计灵敏度的方法。加速度计采用4组U型弹簧对敏感质量进行支撑,敏感质量上设计了差分电容检测结构和静电调谐结构。实现了结构谐振频率可调,保证了加速度计的结构强度,提高了传感器灵敏度。建立了加速度计的数学结构模型。通过仿真,对加速度计进行模态分析,研究了调谐电压对灵敏度的影响。结果表明:当调谐电压增大到30 V时,加速度计的位移灵敏度增加了34%,电容灵敏度增加了39.7%,谐振频率降低了13.4%。最后利用实验进行谐响应分析,发现加速度计的谐振频率降低了17.5%,验证了变刚度方案的可行性。
关键词
MEMS
电容式加速度计
灵敏度
变刚度
谐响应分析
Keywords
MEMS
capacitive
accelerometer
sensitivity
variable stiffness
harmonic response analysis
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
计及边缘效应的双差动电容式加速度传感器的输出特性
3
作者
王福谦
机构
四川西南航空职业学院机务学院
出处
《计量学报》
北大核心
2025年第5期709-715,共7页
基金
四川省教育厅项目(SCJG20A275)
四川西南航空职业学院2024年度校级科研课题(XNHY-2024-ZD01)。
文摘
为了实现对二维加速度的准确测量,在计及边缘效应的变极距及变夹角的平板电容器电容的基础上,运用计算机数值模拟,研究计及边缘效应的双差动平板电容式加速度传感器和双差动电容角位移传感器的输出特性。数值模拟结果表明,输出特性优化后的双差动平板电容式加速度传感器和电容角位移传感器,其灵敏度不低于1.4 pF/(m·s^(-2))和7.5 pF/rad,且均具有良好的线性度;在计边缘效时,可减小这2种传感器的测量误差,对于文中给定的传感器的几何尺寸和测量范围,减小的绝对误差最大值可达约1 m/s2和0.012 5 rad。将双差动平板电容式加速度传感器和双差动电容角位移传感器组合,构成二维双差动电容式加速度传感器,该加速度传感器具有结构简单、测量准确度高等优点,可用于测量线运动和轴向翻滚。
关键词
力学计量
加速度传感器
双差动电容
边缘效应
二维加速度
测量误差
输出特性
Keywords
mechanical metrology
accelerometer
dual differential
capacitive
edge effects
two-dimensional acceleration
measurement error
output characteristic
分类号
TB934 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
轻小型高可靠回收控制器设计与实现
4
作者
刘靖雷
闫云龙
裴晓燕
孙希昀
刘海烨
乔茂永
机构
北京空间机电研究所
中国航天科技集团有限公司航天进入、减速与着陆技术实验室
出处
《航天返回与遥感》
CSCD
北大核心
2024年第4期29-38,共10页
基金
国家重大科技专项工程(AHS01002)。
文摘
针对某商用返回式卫星回收系统轻小型、高可靠的约束要求,设计了一种新型回收控制器产品,该装置基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)过载传感器进行弹道过载测量,采用双核四进程“与或”逻辑实现冗余控制,基于容性释能半导体桥点火器起爆技术实现火工品管理。策划了针对返回过程的弹道过载触发验证试验,针对容性释能电容阵列放电特性,开展了容性释能系统不同初始电压、不同电容阵列容值以及不同回路阻值下的点火效能仿真分析。结果表明该回收控制器在轻小型约束下返回弹道过载感知精度达到±0.28 g,可实现开伞逻辑高可靠控制。半导体桥点火器容性释能电路优化参数为初始电压大于24 V、回路阻值小于0.3Ω、初始电容大于22μF,可实现点火器高可靠点火控制。该设计在不显著增加硬件基础上,大大降低产品质量,可为航空航天用同类电子系统设计提供参考。
关键词
回收控制器
过载传感器
开伞控制
容性释能
Keywords
recovery controller
MEMS
accelerometer
parachute control
capacitive
energy release
分类号
V445 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
被引量：
1
5
作者
张旭
赵锐
石云波
祖凯旋
张洁宇
闫晓朋
机构
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
山西北方机械制造有限责任公司
出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期410-415,共6页
基金
山西省基础研究计划面上项目(202103021224206)
国家自然科学基金面上项目(52175524)
山西省“1331工程”重点学科建设项目资助。
文摘
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明,在50g_n载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30000g_n过载作用下承受的等效应力的最大值从1022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。
关键词
加速度计
抗冲击
电容式
低量程
仿生缓冲结构
微机电系统
Keywords
accelerometer
Impact resistance
capacitive
Low range
Bionic cushioning structure
Micro⁃electro⁃mechanical system
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
面向MEMS加速度传感器的aF级电容检测电路设计
被引量：
1
6
作者
覃飞洋
何文正
彭晶晶
元赛飞
尤睿
鲁文帅
机构
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
清华大学精密仪器系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第12期17-22,共6页
文摘
针对MEMS电容式加速度计输出信号弱(fF量级)、易受干扰等问题,设计了一种基于差分载波调制解调方法的高精度电容检测电路,检测下限可达aF量级。该方法采用高频载波调制解调,可有效抑制1/f噪声;采用敏感电容差动检测方式,可抑制共模噪声干扰。采用fF级动态电容输出的商用加速度计表头搭建测试系统,测试结果表明:所设计电路的电容检测下限可达35 aF,等效电容分辨率为2.88 aF/√Hz,本底噪声水平为372μg/√Hz,可满足高精度MEMS加速度计检测需求。
关键词
加速度计
电容读出
差分调制
分辨率
aF级精度
Keywords
accelerometer
s
capacit
ance readout
differential modulation
resolution
aF level accuracy
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
新型三轴微加速度计设计
被引量：
14
7
作者
刘宗林
李圣怡
吴学忠
机构
国防科技大学机电工程研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004年第3期488-491,504,共5页
基金
国家自然科学基金资助 (5 0 375 1 5 4 )
文摘
新型三轴微加速度计采用单一惯性质量 ,由四组L型梁对称布置支撑 ;利用差分电容作为检测接口 ,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移 ;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能 ,实现系统静电力反馈闭环控制。利用ICP深刻蚀技术和静电键合技术等微机电系统工艺完成微加速度计的制作。具有体积小、灵敏度高、功耗小等优点 ,能够广泛应用于导航系统、汽车工业、PC游戏设备以及其他一些消费电子产品领域。
关键词
微加速度计
差分电容
微机电系统
Keywords
micro
accelerometer
differential
capacit
ance
MEMS
分类号
TH824 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响
被引量：
5
8
作者
曲昊
彭倍
彭鹏
周吴
于慧君
机构
电子科技大学机械电子工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第6期15-18,63,共5页
文摘
电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次,根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况,以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后,通过实验验证理论分析的结果。
关键词
MEMS
梳齿式电容加速度传感器
电荷放大电路
寄生电容
Keywords
MEMS
Comb
capacitive
accelerometer
Charge Amplify Circuit
Stray
capacit
ance
分类号
TH824 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
一种电容式微机械加速度计的设计
被引量：
10
9
作者
郑旭东
曹学成
郑阳明
罗斯建
王跃林
金仲和
机构
浙江大学信息科学与电子工程学系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期226-229,共4页
基金
国家重点基础研究发展计划资助(973计划)(2006CB300405)
文摘
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。
关键词
电容式加速度计
微机电系统
深反应离子刻蚀
滑膜阻尼
Keywords
capacitive
accelerometer
MEMS
deep reactive ion etching
slide-film damping
分类号
TH824 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器
被引量：
10
10
作者
李建利
房建成
盛蔚
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期73-78,共6页
基金
国防基础科研基金(D1210060013)
新世纪人才项目(NCET-04-0162)资助
文摘
在很多控制、监测和导航系统中,不仅需要角位移和角速度信息,同时还需要角加速度信息,为了测量角加速度信息,首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器,采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件,长方形金属电极板作为电容式变换器,静电力实现力平衡反馈回路,文中介绍了扭摆式硅MEMS角加速度传感器的结构及原理,详细推导出传感器的动力学方程和灵敏度,仿真结果验证了理论模型的正确性,传感器灵敏度达到0.388 9 V.(r.s-1)-1。该传感器具有体积小、质量轻、功耗小、零偏稳定性好、噪声小等优点。
关键词
MEMS
角加速度传感器
扭摆式
静电力反馈
电容式变换器
Keywords
MEMS
angular
accelerometer
pendulous
static-force feedback
capacitive
transducer
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
V241.6 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
微机械电容式加速度传感器测试电路研究
被引量：
4
11
作者
杨苗苗
陈德勇
王军波
陈健
毋正伟
陈李
机构
中国科学院电子所传感技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期2421-2424,共4页
文摘
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.
关键词
硅微加速度传感器
微弱电容检测
差分检测
Keywords
silicon
capacitive
accelerometer
weak
capacit
ance detection
differential measurement
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
电容式微加速度计的研制
被引量：
4
12
作者
谭宜勇
金桐
苏卫国
赵新
卢桂章
机构
南开大学机器人与自动化研究所
北京大学微电子所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期585-588,共4页
基金
国家自然科学基金资助(60674068,60475038)
国家863计划资助(2006AA04Z304)
南开大学科技创新基金资助
文摘
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
关键词
MEMS
电容式微加速度计
虚拟工艺
虚拟运行
Keywords
MEMS
capacitive
accelerometer
virtual process
virtual operation
分类号
TH824 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器
被引量：
6
13
作者
徐玮鹤
林友玲
车录锋
李玉芳
熊斌
王跃林
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期230-232,共3页
基金
国家高技术研究发展计划项目资助(2006AA04Z363)
文摘
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合。在完成整体结构圆片级真空封装的同时通过引线腔结构方便地实现了中间电极的引线。传感器芯片大小为6.8mm×5.6mm×1.26mm,其中敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm×0.42mm。对封装的传感器性能进行了初步测试,结果表明制作的传感器灵敏度约4.15pF/g,品质因子为56,谐振频率为774Hz。
关键词
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
Keywords
capacitive
accelerometer
silicon bonding
wafer-level vacuum package
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于轮辐式质量弹簧系统的强震转动加速度计的研究
被引量：
5
14
作者
杨学山
高峰
匙庆磊
佘天莉
杨立志
王南
机构
中国地震局工程力学研究所中国地震局地震工程与工程振动重点实验室
出处
《自然灾害学报》
CSCD
北大核心
2015年第3期37-45,共9页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)(2012AA040607)
中国地震局工程力学研究所基本科研业务费专项(2013B06)
文摘
给出了一种新型的强震转动加速度计的结构原理,导出了转动加速度计的微分方程、频率特性、以及灵敏度计算公式。在国家转台校准装置上对转动加速度计灵敏度、线性度、幅频特性进行了校准,在实验室内对转动加速度计最大量程、一致性以及水平振动对转动加速度计的影响等进行了测试。测试结果表明,强震转动加速度计具有良好的性能,可用于强震转动加速度和建筑结构转动加速度的测量。该转动加速度计已获得国家专利。
关键词
强地震
转动加速度计
轮辐式质量弹簧
电容传感
Keywords
strong earthquake
rotational
accelerometer
spoke-type mass-spring
capacitive
sensing
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究
被引量：
3
15
作者
何江波
谢进
何晓平
杜连明
周吴
机构
西南交通大学机械工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
电子科技大学机械电子工程学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2016年第5期752-757,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51175437)资助
文摘
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的输出电压与检测电容和寄生电容之间的关系式,其中检测电容包含了边缘电容;其次,基于有限元法,分别提出了计算微加速度计的寄生电容和检测电容的方法;最后建立了微加速度计的输出电压与输入加速度之间的关系式,并基于三次多项式拟合,推导出微加速度计的非线性误差的计算公式。通过对比分析非线性误差的理论计算结果与实验测量结果,提出的方法的正确性得到了验证。
关键词
微加速度计
边缘电容
寄生电容
非线性误差
有限元法
Keywords
finite element method
fringe
capacit
ance
Micro-
accelerometer
nonlinear error
parasitic
capacit
ance
分类号
TH73 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
内端固定三轴梳齿电容式加速度计
被引量：
3
16
作者
刘凤丽
于家锟
郝永平
机构
沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第7期18-20,共3页
文摘
基于多轴加速度计的构成方式,提出了一种新型的三轴向梳齿式电容加速度计。内部支撑梁与外部可动电极相连接的结构,在体积相同的条件下,增加了输出电容;采用完全对称结构,支撑梁与电极板等厚,增加稳定性的同时提高了抗过载能力;完全对称的梳齿分布,避免了水平向加速度的相互干扰;可动齿与不动齿的不对称结构,避免了水平向对z轴向的干扰。利用MEMS专业有限元软件ConventorWare对其进行静态分析、抗过载分析和模态分析,此加速度计在满量程状态下能安全工作,工作频率为94.1 kHz.
关键词
电容
加速度计
三轴
Conventor
WARE
Keywords
capacitive
accelerometer
triaxial
conventor ware
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
电容式加速度计系统的非线性分析及线性化控制
被引量：
7
17
作者
范达
刘云峰
董景新
机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第6期734-738,共5页
基金
国家十二五预研基金资助项目(51309020301)
文摘
电容式静电力反馈加速度计只有在敏感质量工作于对称点位置附近微小范围内时,系统可以近似成为线性系统。但由于敏感表头的加工误差以及振动使得加速度计的质量块会偏移量过大,从而非线性将表现明显。针对加速度计系统非线性的两个主要来源,对非线性引起的失稳现象及振动过程中发生的输出直流成分漂移现象的原因进行了分析说明,并提出一种利用反函数将系统完全线性化后再进行校正网络设计的控制方法.仿真结果表明这种方法可以改善系统的稳定性且克服振动漂移。
关键词
电容式加速度计
振动漂移
系统线性化
非线性反函数
Keywords
capacit
ance
accelerometer
vibration deflection
system linearization
nonlinearity inverse function
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
电容式力平衡加速度计的设计
被引量：
10
18
作者
陈渝
郁发新
王慧泉
金仲和
王跃林
机构
浙江大学信息与电子工程学系
出处
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期411-414,共4页
基金
高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资金资助项目(200035)
教育部科学技术研究项目(重点)(104096)
文摘
电容式微机械加速度计是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器。利用开关电容电路实现C-V变换,利用反馈静电力实现力平衡闭环控制,设计了一种电容式微机械加速度计。通过构建电容式加速度传感器及外围电路的数学模型,推导了闭环工作的系统函数。并对实际系统进行研制,最后给出了整个系统的测试结果。
关键词
电容式微机械加速度计
力平衡闭环控制
差分电容
C-V变换
Keywords
micro-mechanical capacitive accelerometer
force-balance closeddoop control
differential capac itance
C-V convert
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP802 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺
被引量：
4
19
作者
胥震
欧阳清
施冠羽
易定和
机构
海军工程大学船舶与动力学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第10期1-3,14,共4页
文摘
对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰。最后,给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。
关键词
微机电系统
电容传感器
有限元仿真分析
加工工艺
Keywords
MEMS
capacitive
accelerometer
simulation of finite element method
fabrication process
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计
被引量：
6
20
作者
陈立国
袁飞
陈涛
孙立宁
机构
苏州大学机器人与微系统研究中心&苏州纳米科技协同创新中心
出处
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2015年第5期932-937,994,共6页
基金
国家高技术研究发展计划("八六三"计划)资助项目(2011AA040404)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20133201110009)
新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-13-0923)
文摘
设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度制作,降低了热机械噪声,增大了检测电容,提高了灵敏度、分辨率和可靠性。ANSYS仿真结果表明,器件在3个轴向的灵敏度一致性好,抗干扰,测试结果和理论分析相符。该加速度计结构工艺简单,在消费电子领域有较好的应用前景。
关键词
单一敏感质量
三轴加速度计
微机电系统
全差分电容检测
Keywords
single sensitive mass
tri-axis
accelerometer
microelectro mechanical systems
differential
capacitive
detection
分类号
TH113.2 [机械工程—机械设计及理论]
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低量程抗冲击双轴微加速度计设计
帅清
石云波
赵锐
张志峰
《传感器与微系统》
北大核心
2025
1
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职称材料
2
变刚度单轴电容式MEMS加速度计设计
洪逸飞
武焕臣
汤沛源
刘晨
李磊
《传感器与微系统》
北大核心
2025
0
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职称材料
3
计及边缘效应的双差动电容式加速度传感器的输出特性
王福谦
《计量学报》
北大核心
2025
0
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职称材料
4
轻小型高可靠回收控制器设计与实现
刘靖雷
闫云龙
裴晓燕
孙希昀
刘海烨
乔茂永
《航天返回与遥感》
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
5
仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
张旭
赵锐
石云波
祖凯旋
张洁宇
闫晓朋
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
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职称材料
6
面向MEMS加速度传感器的aF级电容检测电路设计
覃飞洋
何文正
彭晶晶
元赛飞
尤睿
鲁文帅
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024
1
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职称材料
7
新型三轴微加速度计设计
刘宗林
李圣怡
吴学忠
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004
14
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职称材料
8
寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响
曲昊
彭倍
彭鹏
周吴
于慧君
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018
5
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职称材料
9
一种电容式微机械加速度计的设计
郑旭东
曹学成
郑阳明
罗斯建
王跃林
金仲和
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
10
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职称材料
10
一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器
李建利
房建成
盛蔚
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
10
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职称材料
11
微机械电容式加速度传感器测试电路研究
杨苗苗
陈德勇
王军波
陈健
毋正伟
陈李
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
12
电容式微加速度计的研制
谭宜勇
金桐
苏卫国
赵新
卢桂章
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
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职称材料
13
一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器
徐玮鹤
林友玲
车录锋
李玉芳
熊斌
王跃林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
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职称材料
14
基于轮辐式质量弹簧系统的强震转动加速度计的研究
杨学山
高峰
匙庆磊
佘天莉
杨立志
王南
《自然灾害学报》
CSCD
北大核心
2015
5
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职称材料
15
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究
何江波
谢进
何晓平
杜连明
周吴
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
16
内端固定三轴梳齿电容式加速度计
刘凤丽
于家锟
郝永平
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
17
电容式加速度计系统的非线性分析及线性化控制
范达
刘云峰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2012
7
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职称材料
18
电容式力平衡加速度计的设计
陈渝
郁发新
王慧泉
金仲和
王跃林
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
10
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职称材料
19
微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺
胥震
欧阳清
施冠羽
易定和
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012
4
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职称材料
20
基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计
陈立国
袁飞
陈涛
孙立宁
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2015
6
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