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丁二烯-异戊二烯聚合物纳米复合材料中黏弹性测试及其参数间相关性
1
作者 周天翊 张小虎 +2 位作者 胡广利 刘三荣 毕吉福 《应用化学》 北大核心 2025年第5期684-692,共9页
以不同门尼黏度(MV)的稀土丁二烯-异戊二烯(BIR)聚合物为基础,研究了BIR应用中聚合物及其在加工中不同阶段的流变学参数之间的关系。结果表明,BIR门尼黏度(MV_(raw rubber))与其门尼松弛曲线下的面积A的关系为MV_(raw rubber)=72.39lg A... 以不同门尼黏度(MV)的稀土丁二烯-异戊二烯(BIR)聚合物为基础,研究了BIR应用中聚合物及其在加工中不同阶段的流变学参数之间的关系。结果表明,BIR门尼黏度(MV_(raw rubber))与其门尼松弛曲线下的面积A的关系为MV_(raw rubber)=72.39lg A-129.76,其决定系数R2为0.989;而MV_(raw rubber)和爬行时间(τrep)对应的频率(fc)之间关系为MV_(raw rubber)=-30.205lg fc+24.97,其决定系数R2为0.9872;MV_(raw rubber)决定了BIR-纳米复合材料的门尼黏度(MVcompound),不同黏度相关的参数MV_(raw rubber)、MVcompound、硫化测试中的最小扭矩(ML)和100%应变下的模量(G'γ=100%)之间具有线性关系,其中MVcompound与交联过程测试中的ML和G'γ=100%之间的决定系数R2为0.9474和0.9540,其他任意2个参数之间R2在0.9722~0.9908之间;MV_(raw rubber)对BIR聚合物的早期焦烧行为具有一定的影响,门尼黏度越高,早期焦烧时间越短,同时交联后扭矩越大,但门尼黏度对交联反应速率参数几乎没有影响,所有参数与其R2均在0.1以下。 展开更多
关键词 稀土丁二烯-异戊二烯聚合物 纳米复合材料 流变测量学 黏弹性参数
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纳米TiO_(2)改性纤维素纸板在油流环境下的带电特性研究 被引量：1
2
作者 刘道生 王广康 牛腾霄 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期169-177,共9页
经纳米TiO_(2)改性纤维素纸板可以增强其击穿场强与抗老化性能,是当前电气绝缘领域研究的热点。纸板中添加纳米粒子对于变压器油流带电影响仍不明确;因此,为了揭示纳米粒子对油流带电影响与抑制机理,需测量与分析纳米改性纸板中的油流... 经纳米TiO_(2)改性纤维素纸板可以增强其击穿场强与抗老化性能,是当前电气绝缘领域研究的热点。纸板中添加纳米粒子对于变压器油流带电影响仍不明确;因此,为了揭示纳米粒子对油流带电影响与抑制机理,需测量与分析纳米改性纸板中的油流带电特性。文中以TiO2改性纸板与未改性矿物油为研究对象,通过旋转圆盘系统测量其摩擦产生的静电电流。根据控制变量法研究了温度、纳米粒子质量分数和流速等因素对带电程度的影响,分析了纳米粒子对于油流带电影响机理;采用有限元分析方法分析了变压器油道仿真模型,对比了不同质量分数下的纳米TiO_(2)改性纸板制作的油道模型内部电场分布情况。研究结果表明:与未改性纸板相比,纤维素基体中添加质量分数为1%的纳米TiO_(2)粒子可以抑制油流带电程度,使得油道内部积累电荷后的电场分布畸变程度最小。研究结果可以为抑制变压器中的油流带电提供新方法。 展开更多
关键词 纳米改性 油流带电测量 有限元分析 绝缘纸板 电场分布
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芯片研制用微纳米尺度温度测量方法及其展望 被引量：3
3
作者 吴飞翔 邢力 +2 位作者 冯晓娟 张金涛 孙坚 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第9期1262-1272,共11页
微纳米尺度温度测量,提供微小尺度区域的高精度温度信息。然而现有的测温技术无法满足芯片性能日益提升的需求,例如以热电偶等为代表的接触式测温具有较高的测量精度,但其响应速率慢难以实现宽场热成像;以红外辐射等为代表的非接触式测... 微纳米尺度温度测量,提供微小尺度区域的高精度温度信息。然而现有的测温技术无法满足芯片性能日益提升的需求,例如以热电偶等为代表的接触式测温具有较高的测量精度,但其响应速率慢难以实现宽场热成像;以红外辐射等为代表的非接触式测温可实现芯片表面的快速热场测量,但测温精度较低、空间分辨率受到波长的限制。因此传统测温方法难以同时满足高精度、微纳米尺度的快速温度测量,亟需寻求新的测温技术。随着量子精密测温技术的发展,基于固态量子自旋效应的金刚石带负电的氮-空位(negatively charged nitrogen-vacancy,NV-)色心测温技术有望解决上述问题,突破现有微纳米尺度测温在芯片研制方面的应用瓶颈。鉴于此,首先综述对比了现有芯片用测温技术的特点和发展现状,而后调研分析了金刚石NV色心测温计量特性及小型化、集成化技术发展趋势,并展望了金刚石NV色心测温在芯片研制领域的技术优势和应用前景,提出其发展面临的挑战。 展开更多
关键词 温度测量 芯片研制 金刚石NV色心 微纳米尺度 小型化
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光栅干涉精密纳米测量技术 被引量：6
4
作者 李星辉 崔璨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期2591-2611,共21页
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数... 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数,阐述了光栅干涉测量中的零差和外差两种技术原理,并在此基础上分析了光栅干涉仪的国内外发展动态,包括代表性的设备厂商,和近年来国内外在纳米及亚纳米精度的单、多自由度系统方面的研究开发情况。进一步地,对光栅干涉测量的精度和误差进行了分析与讨论,介绍了误差来源、分类及针对性的补偿方法。最后,对光栅干涉仪的发展现状及未来前景进行了讨论,期望为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。 展开更多
关键词 精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿
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基于28nm MOSFET集成RNVM的1T1R纳米阵列器件可靠性研究 被引量：1
5
作者 徐顺 陈冰 《电子测量技术》 北大核心 2024年第14期18-25,共8页
针对下一代新型纳米电子器件应用可靠性,设计制备了基于28 nm CMOS工艺MOSFET有源集成RNVM的存算一体化1T1R纳米阵列器件,测试评价了其在开关比(107-8)、操作电压(±1 V)、存储窗口等方面的综合电学性能,并设计实施了专门的可靠性... 针对下一代新型纳米电子器件应用可靠性,设计制备了基于28 nm CMOS工艺MOSFET有源集成RNVM的存算一体化1T1R纳米阵列器件,测试评价了其在开关比(107-8)、操作电压(±1 V)、存储窗口等方面的综合电学性能,并设计实施了专门的可靠性试验。结果表明1T1R纳米阵列器件存在MOSFET Ion、Ileak应力退化-44.90%、751.64%以及RRAM循环耐受过程反向硬击穿等不单独出现于分立器件的特有失效现象。分析微观器件物理,得出1T1R纳米阵列器件因其独特结构特征和操作模式下复杂微观交互机制引发高源漏电压和弱栅控条件下特有可靠性原理的结论。提出了专门测试调控方案以提高1T1R纳米阵列器件可靠性。为解决28 nm及以下节点CMOS逻辑器件集成纳米RNVM技术引发的特有可靠性问题提供参考。 展开更多
关键词 新型纳米电子器件 1T1R存算一体化 MOSFET RNVM 28nm制程 可靠性测试 器件物理
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微纳米三坐标测量机测头的研究进展 被引量：15
6
作者 黄强先 余惠娟 +1 位作者 黄帅 钱剑钊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1264-1272,共9页
根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性,探讨了正在研究的新型三维谐振... 根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性,探讨了正在研究的新型三维谐振触发方法和触发测头。最后对微纳米三坐标测头的研究与开发趋势进行了总结和展望。 展开更多
关键词 测头 微纳测量 微纳米坐标测量机 三维测量
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零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析 被引量：21
7
作者 黄强先 余夫领 +2 位作者 宫二敏 王晨晨 费业泰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期664-671,共8页
为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台。该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量... 为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台。该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,x向和y向测量系统的测量线与xy导轨面共面。针对本工作台的特点,在参考常规三坐标测量机误差分析的基础上,详细分析了该工作台中各项误差的影响,给出了影响测量机不确定度的主要误差源,并对这些误差提出了修正方法。在研制的工作台上对一等量块进行了实验测试。结果显示,一等量块工作面的平面度测量标准差为11nm,台阶高度标准差为21nm,其中台阶高度测量平均值与检定值相差1nm。理论分析和实验结果表明,所研制的工作台从结构上避免了CMM中多项误差源的影响,尤其是避免了阿贝误差的影响,可用于高精度的三维测量。 展开更多
关键词 三维纳米工作台 纳米三坐标测量机 阿贝误差 误差修正
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纳米铝粉/石蜡复合相变储能材料的性能研究 被引量：29
8
作者 杨硕 汪南 +3 位作者 吴淑英 相玲玲 章勇珍 朱冬生 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第24期20-22,共3页
针对石蜡作为固-液相变储能材料存在导热系数小、传热性能差的缺点,采用两步法制备了分散性较好的纳米铝粉/石蜡复合相变材料,并对其热物性能进行了实验研究。研究表明,纳米铝粉的加入有效地提高了石蜡相变储能材料的导热系数,而对相变... 针对石蜡作为固-液相变储能材料存在导热系数小、传热性能差的缺点,采用两步法制备了分散性较好的纳米铝粉/石蜡复合相变材料,并对其热物性能进行了实验研究。研究表明,纳米铝粉的加入有效地提高了石蜡相变储能材料的导热系数,而对相变潜热和相变温度影响不大。 展开更多
关键词 纳米铝粉 相变材料 导热系数 DSC测试
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纳米TiO_2表面包覆改性及表征 被引量：13
9
作者 李静 张培新 +4 位作者 周晓明 刘剑洪 任祥忠 张黔玲 洪伟良 《化工新型材料》 CAS CSCD 2004年第3期5-9,共5页
纳米TiO2 的表面处理的好坏直接影响到产品的应用性能及其使用范围。目前的处理措施主要是在其表面上包覆一层无机或有机物膜 ,以避免粉末间的团聚。从表面包覆的原理、影响因素、包覆方法以及表面包覆效果的表征方法等方面概述了纳米Ti... 纳米TiO2 的表面处理的好坏直接影响到产品的应用性能及其使用范围。目前的处理措施主要是在其表面上包覆一层无机或有机物膜 ,以避免粉末间的团聚。从表面包覆的原理、影响因素、包覆方法以及表面包覆效果的表征方法等方面概述了纳米TiO2 颗粒包覆的研究进展 ,着重介绍了纳米TiO2 无机、有机包覆的原理及近年来的研究成果 ,并提出今后的研究方向。 展开更多
关键词 纳米TIO2 改性 表征 表面处理 有机物膜 热力学
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纳米粉体材料的团聚问题及解决措施 被引量：22
10
作者 邓祥义 胡海平 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期261-262,787,共3页
根据作者理论和试验方面的探索 ,从量子尺寸效应、小尺寸效应、表面效应及宏观量子隧道效应等方面分析了纳米粉体材料产生团聚的原因 ,并从制备、储运。
关键词 纳米粉体材料 团聚 纳米材料 解决措施
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微球球度测量技术的研究进展 被引量：5
11
作者 黄强先 胡小娟 +3 位作者 卞亚魁 梅腱 张连生 陈丽娟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期1271-1277,共7页
根据目前微球球度测量技术的原理,首先将其分为接触式测量和非接触式测量,其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法,就此对国内外微球球度测量技术进行了介绍和比较,并指出各种测量技术需要解决的问题。然后针对这些技术... 根据目前微球球度测量技术的原理,首先将其分为接触式测量和非接触式测量,其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法,就此对国内外微球球度测量技术进行了介绍和比较,并指出各种测量技术需要解决的问题。然后针对这些技术的局限性,如被测尺寸较大、测量精度不高、测量对象材料限制等,探讨了目前正在研究中的新型球度测量方法和技术。最后对微球球度测量方法和技术的研究及开发趋势进行了总结和展望。 展开更多
关键词 微球 球度 三维测量 微纳测量
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纳米科学技术在高分子材料领域的现状 被引量：6
12
作者 黄丽 郭江江 +2 位作者 姜志国 张金生 杨儒 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期564-567,共4页
综述了纳米科技在高分子领域的作用 ,介绍了纳米材料科学和高分子材料科学相交叉的领域的科学进展 ,简述了高分子纳米复合材料。
关键词 纳米技术 高分子材料 高分子纳米复合材料 纳米颗粒 高分子化处理
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接触测量中的微探球力变形研究 被引量：6
13
作者 李志渤 黄强先 +2 位作者 赵剑 尤焕杰 程真英 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第14期1926-1929,共4页
随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高,测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据Hertz理论,构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型,给出了最大... 随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高,测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据Hertz理论,构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型,给出了最大允许测力估计方法和力变形计算方法。以现有的3种微纳米三坐标测量机微探球为参考,分别估计了允许最大测力及引起的力变形。结果表明,对于纳米量级测量不确定要求,接触式测量中微探球的受力变形误差是不可忽略的。 展开更多
关键词 微探球 力变形 微纳米测量 接触测量
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扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法（英文） 被引量：11
14
作者 刘俭 谷康 +4 位作者 李梦周 由小玉 刘辰光 王宇航 谭久彬 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第4期549-556,共8页
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,... 扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。 展开更多
关键词 计量学 深度测量 微纳结构 扫描探针显微镜
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扫描电子显微镜下单壁碳纳米管的原位操控与性能 被引量：3
15
作者 董幼青 张礼杰 +1 位作者 邹超 黄少铭 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期789-792,共4页
本文利用纳米操纵仪结合扫描电子显微镜系统对单壁碳纳米管进行在线操纵,在此基础上,通过外接的半导体参数测量系统,可以测量单壁碳纳米管的电学性能。此外,通过纳米操纵手对碳纳米管施加外电场,还可以改变二氧化硅表面单壁碳纳米管的... 本文利用纳米操纵仪结合扫描电子显微镜系统对单壁碳纳米管进行在线操纵,在此基础上,通过外接的半导体参数测量系统,可以测量单壁碳纳米管的电学性能。此外,通过纳米操纵手对碳纳米管施加外电场,还可以改变二氧化硅表面单壁碳纳米管的扫描电子显微镜成像。 展开更多
关键词 纳米操纵仪 扫描电子显微镜 单壁碳纳米管 原位测量 纳米操纵
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微纳米尺度流动实验研究的问题与进展 被引量：11
16
作者 李战华 郑旭 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期1-11,共11页
微纳米实验流体力学研究的流动特征尺度在1mm^1nm范围,处于宏观流动到分子运动的过渡区。连续介质力学与量子力学这两个经典理论的衔接,提出了诸如连续性假设适用性、边界滑移等基本理论问题。同时从微纳米尺度研究界面处液/固/气的耦合... 微纳米实验流体力学研究的流动特征尺度在1mm^1nm范围,处于宏观流动到分子运动的过渡区。连续介质力学与量子力学这两个经典理论的衔接,提出了诸如连续性假设适用性、边界滑移等基本理论问题。同时从微纳米尺度研究界面处液/固/气的耦合,化学、电学性质对流动的影响值得关注。微纳米实验测量仪器融入了力、电等测量手段,要求测量空间精度达到nm量级,力的测量精度达到pN,时间分辨率达到ns。本文围绕连续性假设适用性、边界滑移、微纳米粒子布朗运动及微尺度涡旋测量等问题,介绍了Micro/Nano PIV、示踪粒子流场显示等技术应用于微纳流场观测的进展与难点。目前微纳米流动测量仍然沿着经典流体力学测量"小型化"的思路开展,而纳尺度的测量期待着新的实验方法与技术的提出。 展开更多
关键词 微 纳流动 实验测量 界面
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微纳测量机测头弹性结构的参数设计 被引量：10
17
作者 陈晓怀 陈贺 +2 位作者 王珊 李瑞君 高伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2587-2593,共7页
根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结构的性能特点。综... 根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结构的性能特点。综合考虑测量刚度、灵敏性及结构紧凑稳定等多种因素,选择十字型结构作为微纳米测量机测头的弹性结构,并对其进行了结构参数的优化和测头刚度各向同性设计。搭建了高精度三维微位移测试平台,对测头的测量范围、线性、位移误差进行了实验验证。仿真分析和实验结果表明,测头的弹性结构满足测量范围40μm×40μm×20μm、测量刚度小于0.5mN/μm及刚度各向同性的要求,整体测量误差小于100nm。 展开更多
关键词 坐标测量机 微纳米测量 接触扫描测头 弹性结构设计 有限元分析
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纳米MOS器件RTS噪声测量与分析 被引量：5
18
作者 张鹏 庄奕琪 +3 位作者 鲍立 马中发 包军林 李伟华 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1041-1045,共5页
提出了一种基于虚拟仪器的纳米MOS器件随机电报信号噪声测量方法.应用虚拟仪器平台采集随机电报信号噪声的时间序列,采用逐点差分和高斯函数拟合方法,提取了随机电报信号噪声的相对幅度,再通过数字滤波和指数函数拟合方法提取随机电报... 提出了一种基于虚拟仪器的纳米MOS器件随机电报信号噪声测量方法.应用虚拟仪器平台采集随机电报信号噪声的时间序列,采用逐点差分和高斯函数拟合方法,提取了随机电报信号噪声的相对幅度,再通过数字滤波和指数函数拟合方法提取随机电报信号噪声时常数.通过对90 nm MOS器件的测量分析,结果表明该方法不但计算速度远高于传统方法,而且在相同精度要求下,需要的采样点仅为传统方法的1/10.在随机电报信号时常数较小的情况下,测量精度为传统方法的几倍到几十倍. 展开更多
关键词 随机电报信号噪声 噪声测量 虚拟仪器 纳米MOS器件
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基于纳米测量机的微结构三维坐标测量 被引量：8
19
作者 吴俊杰 李源 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期2252-2259,共8页
针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量... 针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准。为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频。最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 mm的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力。 展开更多
关键词 微纳米测量 纳米测量机 三维微接触测头 高深宽比 侧壁倾角
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光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理 被引量：7
20
作者 吴宇 刘晓旻 杨国光 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期30-34,38,共6页
本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通... 本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化。 展开更多
关键词 光杠杆 纳米位移测量 PSD 信号处理
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