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基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计
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作者 杨鹏 金丽 +1 位作者 解琨阳 李孟委 《微纳电子技术》 2025年第3期135-141,共7页
为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后... 为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后利用仿真对所设计的加速度计结构进行优化设计。由于光栅干涉式加速度计输出信号为单路正弦信号,因此采用细分插值电路技术,结合90°相移和高精度直流偏置电压技术,将具有正弦特性的模拟信号转换为线性变化的标准增量数字信号输出,大大抑制了细分插值过程中两路正交信号的相位、幅值和偏置误差。实验结果表明,所设计光栅干涉MOEMS加速度计灵敏度可达591.484 V/g,结合83倍的细分插值因子,将分辨率提升至39.18μg。该设计为实现高分辨率MOEMS加速度计提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 加速度计 微光机电系统(moems) 光栅干涉 细分插值 线性化
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基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计 被引量:1
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作者 杜艺鑫 金丽 +2 位作者 解琨阳 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期98-104,共7页
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速... 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速度计的制备。实验结果表明,光栅泰伯效应双轴MOEMS加速度计x轴与y轴的灵敏度分别为3.36和3.54 V/g,零偏稳定性分别为25.53和20.91μg@1 s。该研究为实现高精度多轴加速度计提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 微光机电系统(moems) 双轴moems加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合
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微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试
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作者 王策 张晓玉 +4 位作者 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期114-120,共7页
提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受... 提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受外界温度起伏影响,双层光栅结构间距受热膨胀系数的影响产生相对位移。为了减小由于温度起伏对光栅加速度计零偏的影响,采用温度闭环反馈控制技术将加速度计温度变化控制在±10 mK范围内。经实验测试,加速度计零偏稳定性达3.7μg,相较于无温控情况提升了近7倍。最终实现光栅MOEMS加速度计的灵敏度达5.23 V/g,线性相关系数为99.9%,分辨率达286.8μg。 展开更多
关键词 微光机电系统(moems) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性
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光栅MOEMS加速度计温度特性
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作者 邰鹏 金丽 +2 位作者 解琨阳 张敏娟 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期127-133,共7页
由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性... 由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性模量温度系数和热膨胀系数对光栅MOEMS加速度计微机械结构标度因数和零位的影响。其次,设计了温控精度达0.1℃的温度控制系统,并利用该系统对加速度计进行温度控制。最后,对光栅泰伯效应MOEMS加速度计温度特性展开测试,结果表明,加速度计的标度因数随温度升高而增大,零偏稳定性随温度的升高而降低,加速度计标度因数温度系数为0.30 V·g^(-1)·℃^(-1),零偏稳定性温度系数为-7.78μg/℃,其变化趋势与仿真结果一致。这为实现全温范围下高精度MOEMS加速度计奠定了基础。 展开更多
关键词 微光机电系统(moems)加速度计 光栅泰伯效应 热仿真 温度特性 温控电路 标度因数 零偏稳定性
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MOEMS陀螺的谐振腔设计 被引量:7
5
作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 贺斌 王广龙 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1373-1376,共4页
微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLA... 微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响. 展开更多
关键词 微光机电系统(moems) 陀螺 谐振腔 微镜 微纳米加工
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Modeling and Simulation of MOEMS Gyroscope Based on TE-TM Mode Converter
6
作者 赵毅 陈淑芬 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2009年第3期309-312,共4页
A novel structure design of micro optic electro mechanical system(MOEMS)gyroscope is presented in this paper.The structure combining surface acoustic wave(SAW)sensor,optical waveguide diffractive component,electro... A novel structure design of micro optic electro mechanical system(MOEMS)gyroscope is presented in this paper.The structure combining surface acoustic wave(SAW)sensor,optical waveguide diffractive component,electro-optical modulator etc.is integrated on a LiNbO3 substrate as the gyroscope for sensing rotating angular velocity,and an optical readout device is added on the traditional SAW typed TE-TM mode converter as the detecting device.The principles of the MOEMS are discussed in the paper,and simulation result shows that there would be apparent advantages of higher precision and stronger anti-vibration capacity. 展开更多
关键词 surface acoustic wave (SAW) micro optic electro mechanical system (moems TE-TM mode converter GYROSCOPE light readout
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一种光强差分调制MOEMS加速度计 被引量:1
7
作者 韩兴宇 黄堃 +1 位作者 石云波 曹慧亮 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期211-214,共4页
针对传统微光机电系统(MOEMS)光学加速度传感器结构复杂、信号解算繁琐等缺点,该文设计了一种基于绝缘衬底上的硅(SOI)片上工艺的,光强差分测量加速度的MOEMS加速度计。该传感器的主要光强调制部件为90°V型镜,在V型镜的对应位置上... 针对传统微光机电系统(MOEMS)光学加速度传感器结构复杂、信号解算繁琐等缺点,该文设计了一种基于绝缘衬底上的硅(SOI)片上工艺的,光强差分测量加速度的MOEMS加速度计。该传感器的主要光强调制部件为90°V型镜,在V型镜的对应位置上集成3个光纤通道,入射光经V型镜反射后进入2条输出光纤通道。加速度信号由进入2条光纤通道的光强差检测。器件的所有部分集成在单一的SOI晶圆片上,由一次深刻蚀工艺制造。与传统传感器比较,具有工艺简单、抗电磁干扰和有效抑制共模信号等优势。加速度计的性能指标:微机械灵敏度为0.077 7μm/g(g=9.8m/s^2),谐振频率为1.79kHz,传感器灵敏度为5.46mV/g。 展开更多
关键词 微光机电系统 光强调制 差分测量 半导体工艺 加速度计
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基于MOEMS敏感结构的非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器 被引量:5
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作者 解涛 杨志 +2 位作者 王文军 吴宇 刘涛 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第7期627-632,共6页
随着声学探测技术的不断进步,对声压传感器提出了高精度、小型化、抗电磁干扰能力强和易批量生产等要求。研制了基于微光电子机械系统(MOEMS)敏感结构的非本征Fabry-Perot(F-P)干涉仪式光纤声压传感器。利用圆片级集成技术实现MOEMS敏... 随着声学探测技术的不断进步,对声压传感器提出了高精度、小型化、抗电磁干扰能力强和易批量生产等要求。研制了基于微光电子机械系统(MOEMS)敏感结构的非本征Fabry-Perot(F-P)干涉仪式光纤声压传感器。利用圆片级集成技术实现MOEMS敏感结构与光学腔室的高精度对准,大大提高了传感器的一致性。声压传感器的声学性能测试结果表明,其具有高灵敏度和良好的线性响应度,信噪比达到78.3 dB,实现了对声压信号的优良响应。此外,该传感器既具有光纤传感技术精度高和抗电磁干扰能力强等优点,又具备了微电子机械系统(MEMS)体积小和易批量生产的优势。 展开更多
关键词 微光电子机械系统(moems) Fabry-Perot(F-P)干涉仪 光纤传感 声压传感器 圆片级集成技术
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基于磁致旋光效应的双路MOEMS加速度传感方法
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作者 刘丽双 武亮伟 +4 位作者 郭浩 唐军 石云波 林绍卓 刘郁松 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第12期1308-1313,共6页
基于磁致旋光效应的加速度传感机理,提出了一种双路加速度传感方法。通过设置双路磁光晶体,利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应,另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号,通过对双路信号的同步差分检测,... 基于磁致旋光效应的加速度传感机理,提出了一种双路加速度传感方法。通过设置双路磁光晶体,利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应,另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号,通过对双路信号的同步差分检测,以去除外界磁、热噪声对磁光晶体的干扰。实验结果表明,基于磁致旋光效应的双路微光电子机械系统(MOEMS)加速度传感方法的灵敏度为314.3 mV/g,噪声谱密度为■,零偏不稳定性为29.1μg,表现出了较高的传感性能。相较于单路系统,双路差分检测有效去除了外界磁、热噪声的影响,提高了加速度传感的检测精度及应用范围。 展开更多
关键词 微光电子机械系统(moems) 磁致旋光效应 磁光晶体 加速度传感 双路差分
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波长调制型光波导集成MOEMS加速度传感器设计
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作者 石云霞 《应用技术学报》 2022年第2期138-143,共6页
为了设计一种高灵敏度、稳定性好、测试简便的光学加速度计,选择了对光源稳定性要求低、抗噪能力强的波长调制检测模块。基于建立的光学模型,分析了活动光栅数、光栅间距和光栅厚度等主要影响因素。根据透射光谱的变化规律,获得了满足... 为了设计一种高灵敏度、稳定性好、测试简便的光学加速度计,选择了对光源稳定性要求低、抗噪能力强的波长调制检测模块。基于建立的光学模型,分析了活动光栅数、光栅间距和光栅厚度等主要影响因素。根据透射光谱的变化规律,获得了满足加速度计需求的模型尺寸和结构。结合微细加工条件,设计出加速度计的微机械结构。经仿真计算,传感器的机械灵敏度为3.83μm/g,光学检测灵敏度为0.52μm/g,分辨率为19×10^(–6) g,谐响应频率为471 Hz。提出的高分辨率加速度计适用于强磁场、远程遥控等环境中的振动监测。 展开更多
关键词 微光机电加速度计 波长调制 光波导 光学优化 高精度
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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究
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作者 张鹏程 汪洋 +7 位作者 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期120-130,共11页
MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。 展开更多
关键词 压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路
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Correcting dynamic residual aberrations of conformal optical systems using AO technology 被引量:2
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作者 李岩 李林 +1 位作者 黄一帆 杜保林 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第7期2769-2773,共5页
This paper analyses the dynamic residual aberrations of a conformal optical system and introduces adaptive optics (AO) correction technology to this system. The image sharpening AO system is chosen as the correction... This paper analyses the dynamic residual aberrations of a conformal optical system and introduces adaptive optics (AO) correction technology to this system. The image sharpening AO system is chosen as the correction scheme.Communication between MATLAB and Code V is established via ActiveX technique in computer simulation.The SPGD algorithm is operated at seven zoom positions to calculate the optimized surface shape of the deformable mirror.After comparison of performance of the corrected system with the baseline system,AO technology is proved to be a good way of correcting the dynamic residual aberration in conformal optical design. 展开更多
关键词 conformal optical design dynamic residual aberration SPGD algorithm micro-electro-mechanical systems deformable mirror
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引信微光机电系统安全系统研究现状与发展趋势 被引量:1
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作者 张笑 谢晋 +2 位作者 熊壮 张德 代俊 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期1-11,共11页
随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MO... 随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MOEMS安全系统的国内外研究现状开展分析,介绍了引信MOEMS安全系统的基本原理,分析了MOEMS安全系统驱动方式、加工与封装工艺、激光起爆技术与安全系统性能测试方法的现状与发展规律,归纳了当前引信MOEMS安全系统研制过程中亟待解决的问题,为推动MOEMS安全系统在火炮引信中的应用提供重要的借鉴。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信安全系统 安全与解除隔离装置 激光起爆
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微光机电引信芯片光纤抗高过载设计方法
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作者 张笑 谢晋 +2 位作者 曹骏 代俊 张德 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期29-36,45,共9页
针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对... 针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对光纤定位结构进行有限元仿真分析,通过力锤试验与高速离心试验完成光纤光路的抗高过载能力测试。仿真与试验结果表明,封装后的光纤光路在勤务处理意外跌落环境与正常发射环境中均能实现光能的稳定传输,对于推动MOEMS技术在中大口径榴弹炮引信中的应用具有一定意义。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信 光纤 高过载 封装
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一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作 被引量:6
15
作者 冯飞 焦继伟 +1 位作者 熊斌 王跃林 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期125-130,共6页
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双... 提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移 。 展开更多
关键词 徽电子机械技术 法布里-泊罗微腔红外探测器列阵 噪声等效温差 光读出热成像 机械-光灵敏度 热-机械灵敏度
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光纤读出的微光机电振动传感器 被引量:1
16
作者 肖文 李瑞 +1 位作者 刘德文 伊小素 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1358-1361,共4页
针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏... 针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏感头前端的微结构感受待测物体的振动,通过测量由微结构振动引起的反射光强度的变化,实现对振动的测量.单光纤结构的使用和微结构参数的合理设计,使得该系统与传统的光纤读出系统相比,具有灵敏度高、尺寸小、易于同光纤匹配的特点.应用该系统对压电陶瓷的振动情况进行测量,可探测到0.18 nm的位移. 展开更多
关键词 微光机电系统(moems) 微振动传感器 反射光强
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光传送网中光开关器件的进展 被引量:4
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作者 谢世钟 陈明华 王国忠 《中兴通讯技术》 2002年第4期13-17,共5页
随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开... 随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。 展开更多
关键词 光传送网 光开关器件 光联网 光微电机械开关 多功能集成 波分复用
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电荷耦合器件积分时间对微型成像系统成像质量的影响 被引量:1
18
作者 宋勇 郝群 王涌天 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期338-341,共4页
在光圈固定的情况下 ,确定合适的积分时间对于提高微型电荷耦合器件 (CCD)成像系统的成像质量 ,增强微型飞行器的侦察能力具有十分重要的意义。本文讨论了决定CCD积分时间的各种因素 ,重点研究了适用于微型飞行器的CCD成像系统的积分时... 在光圈固定的情况下 ,确定合适的积分时间对于提高微型电荷耦合器件 (CCD)成像系统的成像质量 ,增强微型飞行器的侦察能力具有十分重要的意义。本文讨论了决定CCD积分时间的各种因素 ,重点研究了适用于微型飞行器的CCD成像系统的积分时间与像移的关系 ,并进一步推导了计算像移量的相关数学模型。利用该模型对不同积分时间内采集的运动图像进行了像质评价 ,结果表明 ,在保证曝光量的前提下 ,当像移量被限制在 1个像素内时 。 展开更多
关键词 电荷耦合器件 积分时间 成像系统 成像质量 CCD 曝光量 噪声 像移 微光机电系统
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集成微光机电密码锁概念设计
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作者 屈新芬 杨睛 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期63-66,共4页
给出了集成微机光电的概念、应用背景和设计时遵循的原则 ,建立了集成微机光电密码锁的结构模型 ,分析了基本工作单元的工作原理 ,指出了集成微机光电密码锁用光开关和激光器所需考虑的技术指标。还结合文献报导及现有技术状况 ,分析了... 给出了集成微机光电的概念、应用背景和设计时遵循的原则 ,建立了集成微机光电密码锁的结构模型 ,分析了基本工作单元的工作原理 ,指出了集成微机光电密码锁用光开关和激光器所需考虑的技术指标。还结合文献报导及现有技术状况 ,分析了几种可能用在集成微机光电密码锁编码机构中的光开关 ,指出在现有技术状况下 展开更多
关键词 集成微光机电密码锁 要害系统 安全性设计 结构 工作原理 光开关 激光器 PAL
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光的微电机系统在光通信网的应用
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作者 张煦 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期1-3,共3页
先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波长路由器、在光交叉连接和在光交换设备中的广泛应用。
关键词 微电机系统 光通信网 波长路由器 光交叉连接 光交换
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