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基于LCOS拼接技术的动态星模拟器光学系统设计 被引量:12
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作者 郑茹 张国玉 +2 位作者 高越 孙高飞 高玉军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期2144-2150,共7页
为了满足动态星模拟器大视场、高精度的技术要求,针对传统星模拟器光学系统的技术特点,提出了一种基于硅基液晶(liquid crystal on silicon,LCOS)光学拼接技术的动态星模拟器光学系统设计方案。结合动态星模拟器的技术指标,使用LCOS作... 为了满足动态星模拟器大视场、高精度的技术要求,针对传统星模拟器光学系统的技术特点,提出了一种基于硅基液晶(liquid crystal on silicon,LCOS)光学拼接技术的动态星模拟器光学系统设计方案。结合动态星模拟器的技术指标,使用LCOS作为星图显示的核心器件,通过LCOS光学拼接技术来实现星图显示覆盖全视场并满足拼接误差≤10″的拼接结果。根据动态星模拟器的工作原理,设计小畸变、平场复消色差的准直光学系统以实现动态星模拟器实时准确模拟星点,其设计结果表明:在10.2°视场角内准直光学系统相对畸变≤0.025%,调制传递函数(modulation transfer function,MTF)在60 lp/mm达到0.7。通过经纬仪实际测量,其星对角距误差≤25″,单像元等效张角误差≤6″,满足设计指标中的要求。 展开更多
关键词 准直光学系统 动态星模拟器 光学拼接技术 硅基液晶
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基于LCoS像素级图像亮度调整方法研究 被引量:6
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作者 杨中东 王鹏 +1 位作者 李晓慧 孙长库 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期147-152,共6页
在计算机视觉研究领域,采集到的图像通常由于被测物体局部高亮或局部镜面反射导致局部过饱和,从而影响测量系统的后续数据处理。针对此问题,根据反射式硅基液晶能够逐像素调节入射光的发射率的性质,采用高解析度硅基液晶(liquidcrystal ... 在计算机视觉研究领域,采集到的图像通常由于被测物体局部高亮或局部镜面反射导致局部过饱和,从而影响测量系统的后续数据处理。针对此问题,根据反射式硅基液晶能够逐像素调节入射光的发射率的性质,采用高解析度硅基液晶(liquidcrystal on silicon,LCoS)和图像传感器(CCD或CMOS)相结合,设计了基于LCoS的图像亮度调节硬件系统。根据硅基液晶与图像传感器的光学性质,确立了摄像机模型像平面和LCoS掩膜平面之间的映射关系,提出了基于空间映射的像素对应算法,实验证明,该算法准确、可靠,可以实现图像亮度的像素级调整。 展开更多
关键词 计算机视觉 高解析度硅基液晶 图像亮度调节 空间映射 像素级 像素对应算法
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LCOS人眼像差校正仪的系统控制实现 被引量:3
3
作者 李鹏飞 许金凯 +2 位作者 程少园 胡立发 宣丽 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期525-529,共5页
建立了一套基于LCOS校正器的人眼像差自适应校正系统,并为该系统编写了一套完整的控制软件。该系统采用哈特曼波前探测器进行波面探测,将探测所得波前畸变经过PC计算处理后转化为灰度图,再通过PC把灰度图发送给LCOS上进行波面校正,通过... 建立了一套基于LCOS校正器的人眼像差自适应校正系统,并为该系统编写了一套完整的控制软件。该系统采用哈特曼波前探测器进行波面探测,将探测所得波前畸变经过PC计算处理后转化为灰度图,再通过PC把灰度图发送给LCOS上进行波面校正,通过校正人眼像差的方式来提高系统成像质量。经过实测,系统波前误差得到大幅度降低。实测表明,该系统的控制软件算法可以实现低阶大像差情况下人眼视网膜高分辨率成像。 展开更多
关键词 视网膜细胞 自适应光学 控制算法 硅基板液晶显示器
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基于LCoS拼接技术的动态星模拟器光学引擎的优化设计 被引量:2
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作者 孟遥 张国玉 +2 位作者 孙高飞 刘石 赵云率 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期185-195,共11页
为了降低基于硅基液晶拼接的动态星模拟器背景杂散光,对传统的光学引擎进行优化,提出一种多偏振分光棱镜组合方式,并对其光机结构进行设计.阐述了光学引擎照明系统的设计方案,讨论了降低视场角、增强均匀性的方法.通过Tracepro对照明光... 为了降低基于硅基液晶拼接的动态星模拟器背景杂散光,对传统的光学引擎进行优化,提出一种多偏振分光棱镜组合方式,并对其光机结构进行设计.阐述了光学引擎照明系统的设计方案,讨论了降低视场角、增强均匀性的方法.通过Tracepro对照明光学系统进行仿真,对照明光源设计方案的可行性进行了验证.实验结果表明:优化后的动态星模拟器杂散光辐照度降低了2.93倍.优化后的光学引擎有效地抑制了背景杂散光,并且增强了两片反射式硅基液晶对比度的一致性. 展开更多
关键词 反射式硅基液晶 拼接技术 光学引擎 偏振分光棱镜 照明光学系统 光学设计
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反射型LCOS器件用于红外场景仿真研究 被引量:1
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作者 刘正云 金伟其 《红外技术》 CSCD 北大核心 2006年第10期594-598,共5页
提出采用反射型LCOS(Reflective Liquid Crystal on Silicon-RLCOS)器件实现动态红外场景仿真,阐述了RLCOS器件的结构及信号写入原理。利用液晶指向矢分布计算模型和光在液晶中传播规律计算模型,分析了液晶光阀的电光特性,结果表明,如... 提出采用反射型LCOS(Reflective Liquid Crystal on Silicon-RLCOS)器件实现动态红外场景仿真,阐述了RLCOS器件的结构及信号写入原理。利用液晶指向矢分布计算模型和光在液晶中传播规律计算模型,分析了液晶光阀的电光特性,结果表明,如果选取一组适当的光阀参数,可使光阀在中波和长波红外波段均有较好的调制特性,输出红外辐射功率与像素电压有较近似的线性关系,可以达到较好的仿真效果。 展开更多
关键词 lcos器件 液晶光阀 红外场景 仿真
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用于CF-LCoS投影偏置LED照明光棒的角度分割原理及其偏振复用系统 被引量:1
6
作者 刘鹏 周海洋 +1 位作者 江城 余飞鸿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期1-13,共13页
研究了LED相对光棒中心位置存在偏置时光棒对LED的角度分割与虚像形成原理,籍此计算了不同偏置以及不同尺寸LED的光棒尺寸,再将计算所得的光棒与前端成像透镜、中间像面偏振复用系统、后端积分透镜及偏振分束器等进行综合优化设计,然后... 研究了LED相对光棒中心位置存在偏置时光棒对LED的角度分割与虚像形成原理,籍此计算了不同偏置以及不同尺寸LED的光棒尺寸,再将计算所得的光棒与前端成像透镜、中间像面偏振复用系统、后端积分透镜及偏振分束器等进行综合优化设计,然后根据所得中间像确定不同情况下的偏振复用系统具体结构,确保LED发散角范围内光能的偏振复用,并实现对滤色片式硅基液晶芯片的均匀照明.最后设计了一款以白光LED为光源的滤色片式硅基液晶芯片微型投影光引擎,在1W LED功耗下实现12.8lm投射亮度(114lm/W),均匀性达93%.对比没有应用偏振光复用的微型投影光引擎,在保证均匀性的前提下,提升了微型投影系统的光效率,丰富了光棒偏振复用的内容. 展开更多
关键词 滤色片式硅基液晶芯片 角度分割 偏振转换系统 光棒 LED 投影系统 成像系统
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一种新型LCoS低功耗帧存储像素电路设计 被引量:2
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作者 宋玉龙 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期401-406,共6页
开发了一种新型的帧存储像素电路结构,实现了像素内低功耗。通过SPICE仿真对新型像素结构的工作时序和功耗进行了验证。本像素结构通过像素内嵌电压比较器对相邻两场数据电压进行比较来实现帧存储像素电路放电操作的智能控制,这种智能... 开发了一种新型的帧存储像素电路结构,实现了像素内低功耗。通过SPICE仿真对新型像素结构的工作时序和功耗进行了验证。本像素结构通过像素内嵌电压比较器对相邻两场数据电压进行比较来实现帧存储像素电路放电操作的智能控制,这种智能放电操作降低了LCoS的功耗。 展开更多
关键词 硅基液晶微显示 帧存储像素电路 低功耗
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GSP插入LCOS的可行性探讨(英文) 被引量:2
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作者 倪蕾 沈川 +2 位作者 李浩 刘凯峰 韦穗 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第6期1773-1778,共6页
硅基液晶(LCOS)是最适合用于全息视频显示的空间光调制器之一,但是受限于小衍射角和低分辨率的特性,当前市场上的LCOS并不完全适用。近年来出现的超常表面(例如,间隙表面等离子体激元)具有独特的特性,提供了一种新的对光传播进行控制的... 硅基液晶(LCOS)是最适合用于全息视频显示的空间光调制器之一,但是受限于小衍射角和低分辨率的特性,当前市场上的LCOS并不完全适用。近年来出现的超常表面(例如,间隙表面等离子体激元)具有独特的特性,提供了一种新的对光传播进行控制的方法。文中采用数值方法研究了在LCOS中插入超常表面结构,旨在解决小衍射角和低分辨率的问题。为了实用化,使用铝作为金属层、三氧化二铝层作为电介质层,生成GSP结构。首先,研究了铝在可见光频率的光学特性以及相应的法布里珀罗共振子模型。然后将初始GSP结构插入到LCOS中,得到液晶中的电场分布,进一步观察液晶中指向矢分布的变化。数值模拟的结果表明,所提出的结构对远场衍射光具有一定的影响,并且全息显示的视场角也发生一些改变。因此,这里提出的在LCOS装置中插入GSP的方案在技术上是可行的。 展开更多
关键词 全息视频显示 硅基液晶 缝隙表面等离子体 法布里珀罗共振子模型
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LCOS动态相位光栅的衍射特性分析
9
作者 李文清 万助军 万琼 《光通信研究》 北大核心 2016年第2期37-39,43,共4页
LCOS(硅基液晶)芯片的相邻像素之间存在电场边缘效应,产生的寄生光栅效应劣化了WSS(波长选择开关)端口之间的串扰水平。文章建立了简化的2f光学模型,并基于傅里叶光学方法仿真分析了LCOS芯片中电场边缘效应对WSS性能指标的影响。结果表... LCOS(硅基液晶)芯片的相邻像素之间存在电场边缘效应,产生的寄生光栅效应劣化了WSS(波长选择开关)端口之间的串扰水平。文章建立了简化的2f光学模型,并基于傅里叶光学方法仿真分析了LCOS芯片中电场边缘效应对WSS性能指标的影响。结果表明,光束经LCOS光栅的衍射角越大,则WSS输出端口间的串扰越大;通过减小WSS端口间距或增大透镜焦距可以减小串扰,继而增大WSS的端口数。该研究结果对WSS的参数设计和优化具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 全光网络 波长选择开关 硅基液晶 相位光栅
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液晶润滑碳化硅/聚酰亚胺配副体系摩擦性能初探
10
作者 张靓 高新蕾 +2 位作者 史淼淼 程宇威 王婷婷 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期161-167,共7页
为探究液晶作为润滑剂对碳化硅/聚酰亚胺配副体系的润滑效果以及影响系统减摩性能的因素,分别选用单分子液晶4-氰基-4′-戊基联苯(5CB)和质量分数90%5CB-10%4′-氰基-(1,1′-联苯)-4-基4-乙基环己烷-1-羧酸酯(2CEPPN)混合液晶作为润滑剂... 为探究液晶作为润滑剂对碳化硅/聚酰亚胺配副体系的润滑效果以及影响系统减摩性能的因素,分别选用单分子液晶4-氰基-4′-戊基联苯(5CB)和质量分数90%5CB-10%4′-氰基-(1,1′-联苯)-4-基4-乙基环己烷-1-羧酸酯(2CEPPN)混合液晶作为润滑剂,使用UMT-3微摩擦试验机对碳化硅/聚酰亚胺配副体系进行摩擦学性能测试。试验结果表明:单分子液晶和混合液晶作为润滑剂,对碳化硅/聚酰亚胺配副体系都具有较好的减摩效果,甚至可以达到超滑状态,其中混合液晶比单分子液晶具有更好的减摩效果;混合液晶在低载荷及较高转速下可以获得良好的减摩效果,并且能使碳化硅/聚酰亚胺配副体系在较长时间里实现超滑行为。 展开更多
关键词 液晶 聚酰亚胺 碳化硅 超滑
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激光为光源的液晶自适应眼底成像系统 被引量:14
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作者 姜宝光 曹召良 +3 位作者 穆全全 李抄 夏明亮 宣丽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1805-1809,共5页
建立了一套基于液晶波前校正器的模拟人眼眼底自适应成像系统,该系统采用Shark-Hartman波前探测器进行波面探测,将探测所得波前畸变经过计算处理转化为灰度图,通过电脑施加到LCOS上进行波面校正,通过校正人眼像差的方式来提高系统成像... 建立了一套基于液晶波前校正器的模拟人眼眼底自适应成像系统,该系统采用Shark-Hartman波前探测器进行波面探测,将探测所得波前畸变经过计算处理转化为灰度图,通过电脑施加到LCOS上进行波面校正,通过校正人眼像差的方式来提高系统成像质量。经过校正后,系统波前误差从1.92μm降低到0.048μm,系统分辨率接近70 lp/mm,已经达到该光学系统衍射极限分辨。研究表明,该系统可以满足低阶大像差情况下的模拟人眼视网膜成像要求。 展开更多
关键词 自适应光学 视网膜成像 夏克哈特曼波前传感器 lcos 衍射极限
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基于硅基液晶拼接的高对比度动态星模拟器光学系统 被引量:11
12
作者 孟遥 张国玉 +1 位作者 孙高飞 刘石 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期511-520,共10页
针对基于硅基液晶(LCOS)拼接技术的动态星模拟器对比度低,无法在星图识别过程中为星敏感器提供全部有效目标的问题,提出通过抑制光学系统杂散光来提高LCOS拼接动态星模拟器对比度的方法,讨论了偏振度对于杂散光的影响,并推导出入射角与... 针对基于硅基液晶(LCOS)拼接技术的动态星模拟器对比度低,无法在星图识别过程中为星敏感器提供全部有效目标的问题,提出通过抑制光学系统杂散光来提高LCOS拼接动态星模拟器对比度的方法,讨论了偏振度对于杂散光的影响,并推导出入射角与偏振度的函数关系。设计了抑制杂散光的光学系统,该系统包括利用复合抛物面聚光器(CPC)结合望远系统组成照明光源,配合多棱镜的1/4波片和视场角不小于11°的准直光学系统。在截止频率为60lp/mm,视场角小于±5°的情况下,该准直系统的调制传递函数(MTF)大于0.7。实验显示:该高对比度LCOS拼接动态星模拟器的星间角距误差小于18″,相对于传统型的星模拟器杂散光降低了2.38倍,其在保证精度的条件下,降低了动态星模拟器的背景噪声,提高了动态星图的可识别率,基本可以满足星敏感器在多星等条件下的对精度和动态特性的需求。 展开更多
关键词 光学系统设计 硅基液晶(lcos)拼接技术 星模拟器 杂散光 偏振度 星图识别
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纯相位菲涅尔全息图的反馈迭代算法及其硅基液晶显示 被引量:7
13
作者 刘凯峰 沈川 +1 位作者 张成 韦穗 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期96-101,共6页
研究了纯相位菲涅尔计算全息图的制作方法,给出了一种生成纯相位菲涅尔计算全息图的算法.首先研究了菲涅尔衍射的数值模拟算法,分析了两种数值模拟算法的计算速度.将计算速度较快的菲涅尔衍射数值模拟算法和迭代算法相结合,并引入比例反... 研究了纯相位菲涅尔计算全息图的制作方法,给出了一种生成纯相位菲涅尔计算全息图的算法.首先研究了菲涅尔衍射的数值模拟算法,分析了两种数值模拟算法的计算速度.将计算速度较快的菲涅尔衍射数值模拟算法和迭代算法相结合,并引入比例反馈,得到纯相位菲涅尔计算全息图的反馈迭代算法.其次,对比例反馈系数的选取进行了实验研究,得到其最优经验值范围,然后进行了仿真实验.仿真结果表明,该算法降低了重构误差,提高了全息图重构质量.最后基于新型空间光调制器反射型硅基液晶,建立了全息显示光电实验系统,对该算法进行了验证. 展开更多
关键词 全息显示 纯相位全息图 反馈迭代算法 菲涅尔衍射 硅基液晶
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基于高分子结晶分析方法的液体硅橡胶老化机制研究 被引量:24
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作者 陈灿 王希林 +4 位作者 贾志东 李桐 陆海 曾向君 李锐海 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第9期1462-1470,共9页
近年来,中国的南方电网地区一些变电站SF6电压、电流互感器的液体硅橡胶绝缘护套出现龟裂老化现象,这一现象的出现会导致护套表面变白,粉化,硬度上升,受到外力后出现不可恢复的裂纹,并且憎水性和耐漏电起痕性能大大下降。对发生老化的... 近年来,中国的南方电网地区一些变电站SF6电压、电流互感器的液体硅橡胶绝缘护套出现龟裂老化现象,这一现象的出现会导致护套表面变白,粉化,硬度上升,受到外力后出现不可恢复的裂纹,并且憎水性和耐漏电起痕性能大大下降。对发生老化的液体硅橡胶材料进行了试验研究和分析,并选取不同老化程度的液体硅橡胶材料进行了X射线衍射分析、X射线光电子能谱分析等手段研究了其微观结构和物质组成的变化。研究发现老化后的硅橡胶表面结构和官能团发生了明显变化,Si—C键减少,C元素相对含量下降,O元素相对含量增加,体系交联度上升并且观察到了晶体结构。这一研究为液体硅橡胶绝缘护套的老化机制和老化程度的评估提供了依据,同时也为互感器伞套的修复补强以及防老化措施建立了基础。 展开更多
关键词 液体硅橡胶 龟裂 老化 X射线衍射分析 X射线光电子能谱分析 交联反应 高分子结晶化
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氩气流速对400mm大直径磁场直拉单晶硅固液界面、热应力及氧含量的影响 被引量:15
15
作者 李进 张洪岩 +6 位作者 高忙忙 周锐 薛子文 梁森 李国龙 李海波 何力军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1193-1198,1211,共7页
大直径化是太阳能光伏用单晶硅发展的趋势之一。由于炉体结构的增大,炉内气体流场的变化对晶硅生长过程产生了一定的影响。本文采用CGSim晶体生长软件,系统分析了氩气进口流速对固液界面,热应力和晶体氧含量的影响。结果表明,随氩... 大直径化是太阳能光伏用单晶硅发展的趋势之一。由于炉体结构的增大,炉内气体流场的变化对晶硅生长过程产生了一定的影响。本文采用CGSim晶体生长软件,系统分析了氩气进口流速对固液界面,热应力和晶体氧含量的影响。结果表明,随氩气流速的增加,固液界面高度逐渐下降,当氩气流速为中等范围时,固液界面波动最低,有利于提高拉晶过程的稳定性;另一方面,三相交界处热应力最大值随氩气流速的增加而降低,固液界面热应力波动幅度随氩气流速的增加而增加,综合两方面考虑,确定采用中等氩气流速(0.9—1.5m·s-1)工艺可有效避免断晶等缺陷的发生。同时,在中等氩气流速范围内,晶体中心处的氧含量下降至6.55×10^17m/cm3(氩气流速为1.5m·s-1时),与低氩气流速时相比,氧含量降低了18%。 展开更多
关键词 单晶硅 氩气流场 固液界面 氧含量
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增塑增韧聚丙烯的制备及其性能研究 被引量:11
16
作者 周中玉 潘泳康 +1 位作者 唐颂超 王庆海 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期35-38,共4页
以液体石蜡作为聚丙烯(PP)的增塑剂,首先将纳米二氧化硅(SiO2)预先分散于液体石蜡中制成纳米溶胶,然后采用双螺杆挤出机将此溶胶与PP熔融共混制备了增塑增韧PP复合材料,研究了液体石蜡和纳米SiO2对PP力学性能和结晶性能的影响。结果表明... 以液体石蜡作为聚丙烯(PP)的增塑剂,首先将纳米二氧化硅(SiO2)预先分散于液体石蜡中制成纳米溶胶,然后采用双螺杆挤出机将此溶胶与PP熔融共混制备了增塑增韧PP复合材料,研究了液体石蜡和纳米SiO2对PP力学性能和结晶性能的影响。结果表明,经过液体石蜡增塑后,PP的冲击强度可提高90%;再经过纳米SiO2增韧后,其冲击强度可进一步提高100%;液体石蜡能够提高PP的结晶度,纳米SiO2能够减小PP的球晶尺寸。 展开更多
关键词 聚丙烯 液体石蜡 纳米二氧化硅 复合材料 力学性能 结晶性能
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一种新型硅基液晶微显示器件像素电路的研究 被引量:3
17
作者 宋玉龙 刘绍锦 +3 位作者 崔宏青 张俊瑞 冯亚云 凌志华 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期328-332,共5页
设计了一种新型硅基微显示器件场缓存像素电路结构,并通过SPICE模拟与其他像素电路做比较,分析了其电路特点。新型像素结构可使在电压保持期间影响液晶电容电压的晶体管数量降到最低,从而提高了像素电容的电压保持率,降低了闪烁,并减小... 设计了一种新型硅基微显示器件场缓存像素电路结构,并通过SPICE模拟与其他像素电路做比较,分析了其电路特点。新型像素结构可使在电压保持期间影响液晶电容电压的晶体管数量降到最低,从而提高了像素电容的电压保持率,降低了闪烁,并减小了电磁干扰对像素电压的影响,提高了器件可靠性,同时提高了对光照的承受能力及对温度变化的适应能力,改善了显示品质,适用于高亮度显示器件。 展开更多
关键词 硅基液晶微显示 场序显示彩色 场缓存 像素电路 微显示器件 电路结构 硅基液晶 像素 SPICE模拟 电容电压
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硅基液晶像素电路的研究 被引量:3
18
作者 黄苒 杜寰 +2 位作者 王文博 王晓慧 韩郑生 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期742-745,共4页
分析研究了微显示器件的场缓存技术与现有硅基液晶场缓存像素电路的结构特点,提出了一种新型的像素电路结构,此电路改变了以往电路结构中专门采用一个晶体管对像素电容进行放电的做法,通过同一个晶体管对像素电容进行充放电。电路经过Hs... 分析研究了微显示器件的场缓存技术与现有硅基液晶场缓存像素电路的结构特点,提出了一种新型的像素电路结构,此电路改变了以往电路结构中专门采用一个晶体管对像素电容进行放电的做法,通过同一个晶体管对像素电容进行充放电。电路经过Hspice仿真,对结果进行分析表明,其功能及特性符合设计要求,像素电容电荷保持率达到99%。电路具有结构简单,占用芯片面积小,像素电容电荷保持率高等优点,适合高亮度、高分辨率微显示器件的设计与制造。 展开更多
关键词 硅基液晶 场缓存 像素电路
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加热器/坩埚相对位置对ф200mm单晶硅生长过程中温度场和晶体质量的影响 被引量:4
19
作者 高忙忙 朱博 +4 位作者 李进 景华玉 董法运 梁森 李海波 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期3607-3612,共6页
采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉中的加热器位置进行优化并分析了其对热场、固液界面、晶体中温度梯度和氧含量的影响。结果表明,随加热器的上移,功率消耗略有降低,熔体内的温度梯度逐渐下降,在高埚位的生长条件下可以适当提升... 采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉中的加热器位置进行优化并分析了其对热场、固液界面、晶体中温度梯度和氧含量的影响。结果表明,随加热器的上移,功率消耗略有降低,熔体内的温度梯度逐渐下降,在高埚位的生长条件下可以适当提升拉晶速率;同时,固液界面也趋于平坦,晶体中的温度梯度有所减少,从而可以有效地抑制缺陷的形成。另外,晶体中的氧含量也有一定程度的下降。可以得出,在晶体等径生长初期,提高加热器的位置是降低晶体生长成本和提升晶体品质的途径之一。 展开更多
关键词 单晶硅 温度梯度 固液界面 氧含量
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液相烧结非晶纳米氮化硅陶瓷粉体结晶与相变行为研究 被引量:3
20
作者 骆俊廷 张凯锋 +1 位作者 王国峰 陈国清 《粉末冶金技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期214-217,共4页
以Y2 O3 和Al2 O3 纳米陶瓷粉体作为烧结助剂 ,液相烧结非晶纳米Si3 N4陶瓷粉体 ,研究了不同温度下烧结体的结晶与相变行为。 1 5 0 0℃烧结 ,烧结体为非晶与晶体混合态 ,结晶相主要为α Si3 N4和 β Si3 N4,结晶度达到 70 %。温度超过 ... 以Y2 O3 和Al2 O3 纳米陶瓷粉体作为烧结助剂 ,液相烧结非晶纳米Si3 N4陶瓷粉体 ,研究了不同温度下烧结体的结晶与相变行为。 1 5 0 0℃烧结 ,烧结体为非晶与晶体混合态 ,结晶相主要为α Si3 N4和 β Si3 N4,结晶度达到 70 %。温度超过 1 6 0 0℃以后 ,烧结体已经完全结晶 ,为 β Si3 N4和Si2 N2 O双相陶瓷。当温度达到1 6 5 0℃ ,Si2 N2 O的体积分数达到最大值 ,说明烧结体中的O2 与Si3 N4已经反应完全。烧结温度超过 1 70 0℃时 ,Si2 N2 O的体积分数开始减小 ,烧结体中没有SiO2 出现 ,证明反应 2Si3 N4(s) +1 5O2 (g) =3Si2 N2 O(s) +N2(g)为可逆反应。 1 6 0 0℃烧结体的典型结晶形貌分析表明 :粒径尺寸基本分布在两个区域 ,大部分较大晶粒粒径在 1 5 0~ 2 5 0nm之间 ,小部分晶粒粒径 <1 0 0nm ,个别晶粒的长径比达到 1 5。 展开更多
关键词 液相烧结 非晶纳米氮化硅陶瓷粉体 结晶 相变 氮化硅陶瓷
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