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垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜被引量：5: 1; 作者刘英明徐静 +2 位作者钟少龙翟雷应吴亚明《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期400-407,共8页; 提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜... 展开更多; 关键词微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜垂直梳齿驱动器体硅工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计被引量：1: 2; 作者丁雷尚德广 +2 位作者张大成贾冠华李浩群《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期330-334,共5页; 根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软... 展开更多; 关键词微机电系统设计疲劳薄膜梳状驱动器有限元分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性被引量：1: 3; 作者翟雷应徐静 +1 位作者钟少龙吴亚明《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1772-1781,共10页; 为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区... 展开更多; 关键词微机电系统(MEMS) 光相位调制器无交叠垂直梳齿驱动器平动微镜保角变换法静电驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究: 4; 作者丁雷尚德广 +3 位作者张大成沈通贾冠华阎楚良《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期684-689,共6页; 设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用AN... 展开更多; 关键词微机电系统疲劳梳状驱动器有限元方法机电耦合分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜被引量：5: 1; 作者刘英明徐静钟少龙翟雷应吴亚明; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室中国科学院大学; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期400-407,共8页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目(2008AA03Z406 2009AA03Z443) 国家自然科学基金资助项目(60877066); 文摘提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3mm×2mm,谐振频率为1.32kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64nm;扫描镜在驱动电压为95V时可以实现最大2.4°的扭转角度;测得其开启时的响应时间为1.887ms,关断时的响应时间为4.418ms。; 关键词微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜垂直梳齿驱动器体硅工艺; Keywords Microelectromechanical Systems（MEMS） scanning mirror vertical comb driver bulk micromaching; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计被引量：1: 2; 作者丁雷尚德广张大成贾冠华李浩群; 机构北京工业大学北京大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期330-334,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(50575004); 文摘根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析。分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测。有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求。; 关键词微机电系统设计疲劳薄膜梳状驱动器有限元分析; Keywords micro- electro- mechanical system design fatigue thin film comb driver FEA; 分类号 TB873.3 [一般工业技术—摄影技术] TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性被引量：1: 3; 作者翟雷应徐静钟少龙吴亚明; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室中国科学院研究生院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1772-1781,共10页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA03Z406 No.2009AA03Z443) 国家自然科学基金资助项目(No.608-77066); 文摘为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。; 关键词微机电系统(MEMS) 光相位调制器无交叠垂直梳齿驱动器平动微镜保角变换法静电驱动; Keywords Micro Electronic Mechanic System（MEMS） optical phase modulator non-overlap vertical comb driver translational micromirror conformal mapping electrostatic actuator; 分类号 TN761.92 [电子电信—电路与系统] TH703.6 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究: 4; 作者丁雷尚德广张大成沈通贾冠华阎楚良; 机构北京工业大学机电学院北京大学微电子学系; 出处《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期684-689,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(50575004) 北京市拔尖创新人才资助项目~~; 文摘设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟,模拟结果与理论分析相吻合。研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平,并对该电压范围进行预测。; 关键词微机电系统疲劳梳状驱动器有限元方法机电耦合分析; Keywords Micro-electro-mechanical system（MEMS） Fatigue comb driver Finite element method Electromechanical coupled-field analysis; 分类号 TH873.31 [机械工程—精密仪器及机械] TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜	刘英明徐静钟少龙翟雷应吴亚明	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计	丁雷尚德广张大成贾冠华李浩群	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性	翟雷应徐静钟少龙吴亚明	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究	丁雷尚德广张大成沈通贾冠华阎楚良	《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料