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直流磁控溅射研究进展被引量：14: 1; 作者石永敬龙思远 +1 位作者王杰潘复生《材料导报》 CSCD 北大核心 2008年第1期65-69,共5页; 直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛应用在工业生产和科学研究中。主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模... 展开更多; 关键词磁控溅射非平衡闭合磁场脉冲薄膜结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在切削刀具上的应用被引量：10: 2; 作者白力静李玉庆 +1 位作者肖继明蒋百灵《西安理工大学学报》 CAS 2006年第1期20-23,共4页; 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制,工艺控制简单,可以方便地设计镀层的成分和结构,且膜/基结合性能突出。研究了用该技术制备的硬质CrTiAlN梯度膜,该膜具有良好的结合力和韧性,在无润滑切削条件... 展开更多; 关键词闭合场非平衡磁控溅射刀具镀层设计结合强度; 在线阅读下载PDF 职称材料

金属基类石墨复合膜微观组织结构分析被引量：2: 3; 作者王佐平邢建东 +1 位作者胡奈赛王伟《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第16期87-90,共4页; 应用非平衡闭合磁控溅射技术在渗碳淬火基体上制备了类石墨复合膜,用SEM、AFM和TEM分析了金属基类石墨复合膜的表面形貌和截面结构,并测试了类石墨复合膜的摩擦学特性。结果表明,类石墨复合膜是由柱状多晶过渡层+非晶梯度层+类石墨复合... 展开更多; 关键词类石墨复合膜渗碳淬火非平衡闭合磁控溅射; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮化钛镀膜对纯钛铸件表面耐磨性的影响: 4; 作者佟宇郭天文 +2 位作者肖慧军王菁梁海锋《国际口腔医学杂志》 CAS 2011年第1期31-33,共3页; 目的研究氮化钛(TiN)镀膜对纯钛铸件表面硬度和耐磨性的影响。方法应用闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)方法在纯钛铸件表面制备TiN薄膜,显微硬度仪测量纯钛铸件表面硬度,磨擦磨损试验评估其耐磨性。结果纯钛铸件表面应用CFUBMS方法制备Ti... 展开更多; 关键词氮化钛闭合场非平衡磁控溅射显微硬度耐磨性; 在线阅读下载PDF 职称材料

光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响被引量：2: 5; 作者刘云超罗艳艳 +1 位作者朱雪飞施雯《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期760-765,共6页; 在不同光发射谱(OEM)条件下,采用闭合场非平衡磁控溅射技术(CFUBMSIP)在SDC99冷作模具钢表面沉积CrTiAlN涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、原位纳米力学测试系统和销盘摩擦磨损试验机(POD)测试分析涂层的相结构、表面硬度以及耐... 展开更多; 关键词 CrTiAlN涂层光发射谱 SDC99冷作模具钢非平衡磁控溅射磨损; 在线阅读下载PDF 职称材料

基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响被引量：2: 6; 作者马群王佐平 +1 位作者黄建余边东梅《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2009年第14期105-108,共4页; 使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明... 展开更多; 关键词类石墨复合膜渗碳淬火非平衡闭合磁控溅射; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名直流磁控溅射研究进展被引量：14: 1; 作者石永敬龙思远王杰潘复生; 机构重庆大学机械学院重庆硅酸盐研究所重庆硅酸盐研究所重庆大学材料学院; 出处《材料导报》 CSCD 北大核心 2008年第1期65-69,共5页; 基金重庆市科技攻关项目重庆大学研究生院创新基金重点项目(200609Y180060165); 文摘直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛应用在工业生产和科学研究中。主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模型。直流非平衡磁控溅射是直流磁控溅射技术中的重要里程碑,使磁控溅射技术直接过渡到离子镀阶段,而脉冲磁控溅射技术为稳定沉积高质量的非导电涂层作出了重要的贡献。; 关键词磁控溅射非平衡闭合磁场脉冲薄膜结构; Keywords magnetron sputtering, unbalanced closed field, pulsed, thin film structure; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在切削刀具上的应用被引量：10: 2; 作者白力静李玉庆肖继明蒋百灵; 机构西安理工大学材料科学与工程学院机械制造与精密仪器学院; 出处《西安理工大学学报》 CAS 2006年第1期20-23,共4页; 基金国家"863"科技攻关项目(2005AA33H010) 陕西省教育厅专项科研基金项目(05JK274); 文摘闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制,工艺控制简单,可以方便地设计镀层的成分和结构,且膜/基结合性能突出。研究了用该技术制备的硬质CrTiAlN梯度膜,该膜具有良好的结合力和韧性,在无润滑切削条件下,适用不同的切削方式:对于普通高速钢钻头提高寿命数十倍,同时扩展工件材料至高强度钢;对断续式的铣削黄铜,可提高寿命25倍;对于加工PVC板的微钻,寿命仍可提高4倍以上。; 关键词闭合场非平衡磁控溅射刀具镀层设计结合强度; Keywords closed field unbalanced magnetron sputtering cutting tools coating design adhesion; 分类号 TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属基类石墨复合膜微观组织结构分析被引量：2: 3; 作者王佐平邢建东胡奈赛王伟; 机构西安交通大学金属材料强度国家重点实验室中国船舶重工集团公司第十二研究所; 出处《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第16期87-90,共4页; 文摘应用非平衡闭合磁控溅射技术在渗碳淬火基体上制备了类石墨复合膜,用SEM、AFM和TEM分析了金属基类石墨复合膜的表面形貌和截面结构,并测试了类石墨复合膜的摩擦学特性。结果表明,类石墨复合膜是由柱状多晶过渡层+非晶梯度层+类石墨复合层组成的多层结构。; 关键词类石墨复合膜渗碳淬火非平衡闭合磁控溅射; Keywords graphite like composite coating carburizing and quenching closed field unbalanced magnetron sputter iron; 分类号 TB331 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮化钛镀膜对纯钛铸件表面耐磨性的影响: 4; 作者佟宇郭天文肖慧军王菁梁海锋; 机构空军杭州航空医学鉴定训练中心口腔科第四军医大学口腔医院修复科解放军西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《国际口腔医学杂志》 CAS 2011年第1期31-33,共3页; 文摘目的研究氮化钛(TiN)镀膜对纯钛铸件表面硬度和耐磨性的影响。方法应用闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)方法在纯钛铸件表面制备TiN薄膜,显微硬度仪测量纯钛铸件表面硬度,磨擦磨损试验评估其耐磨性。结果纯钛铸件表面应用CFUBMS方法制备TiN薄膜后,显微硬度明显增加,磨擦系数和磨损体积明显减小。结论 CFUBMS氮化钛镀膜对纯钛铸件有较好的磨损保护作用。; 关键词氮化钛闭合场非平衡磁控溅射显微硬度耐磨性; Keywords titanium nitride closed field unbalanced magnetron sputtering microhardness wear resistance; 分类号 R783.1 [医药卫生—口腔医学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响被引量：2: 5; 作者刘云超罗艳艳朱雪飞施雯; 机构上海大学材料科学与工程学院; 出处《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期760-765,共6页; 文摘在不同光发射谱(OEM)条件下,采用闭合场非平衡磁控溅射技术(CFUBMSIP)在SDC99冷作模具钢表面沉积CrTiAlN涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、原位纳米力学测试系统和销盘摩擦磨损试验机(POD)测试分析涂层的相结构、表面硬度以及耐磨损性能。结果表明:各条件下制备的CrTiAlN涂层均为FCC结构,且在(200)晶面择优取向;光发射谱值为65时,制备的CrTiAlN涂层具有较高的表面承载能力以及膜基结合力,纳米硬度和弹性模量分别为22.7 GPa和276.4 GPa;OEM65制备的CrTiAlN涂层较OEM70、OEM80制备的CrTiAlN涂层具有更低的摩擦因数和磨损率,表现出更佳的摩擦磨损性能。; 关键词 CrTiAlN涂层光发射谱 SDC99冷作模具钢非平衡磁控溅射磨损; Keywords CrTiAlN coating optical emission monitor cold work die steel SDC99 closed-field unbalanced magnetron sputtering wear; 分类号 TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响被引量：2: 6; 作者马群王佐平黄建余边东梅; 机构海装驻西安地区军事代表室中国船舶重工集团公司第十二研究所乌鲁木齐石油设备安装公司; 出处《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2009年第14期105-108,共4页; 文摘使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明显影响。; 关键词类石墨复合膜渗碳淬火非平衡闭合磁控溅射; Keywords graphite-like composite coating carburizing and quench hardening closed field unbalanced magnetron sputter iron plating; 分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	直流磁控溅射研究进展	石永敬龙思远王杰潘复生	《材料导报》 CSCD 北大核心	2008	14	在线阅读下载PDF 职称材料
2	闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在切削刀具上的应用	白力静李玉庆肖继明蒋百灵	《西安理工大学学报》 CAS	2006	10	在线阅读下载PDF 职称材料
3	金属基类石墨复合膜微观组织结构分析	王佐平邢建东胡奈赛王伟	《热加工工艺》 CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	氮化钛镀膜对纯钛铸件表面耐磨性的影响	佟宇郭天文肖慧军王菁梁海锋	《国际口腔医学杂志》 CAS	2011	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响	刘云超罗艳艳朱雪飞施雯	《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响	马群王佐平黄建余边东梅	《热加工工艺》 CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料