不同厚度WS_(2)光学性质

1

作者 吴春林 杨明明 +5 位作者 谭丽 穆轩宇 郑洪 王佳乐 兰飞飞 李晓莉 《河北大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2024年第6期612-618,共7页

利用光学手段对蓝宝石衬底上生长的大面积单层、少层、块体WS_(2)的物理性质进行研究.首先利用原子力显微镜测量样品的厚度估算样品层数,并利用X线衍射测量样品的晶相判断其单晶特性.然后通过拉曼光谱和光致发光光谱技术研究样品的质量... 利用光学手段对蓝宝石衬底上生长的大面积单层、少层、块体WS_(2)的物理性质进行研究.首先利用原子力显微镜测量样品的厚度估算样品层数,并利用X线衍射测量样品的晶相判断其单晶特性.然后通过拉曼光谱和光致发光光谱技术研究样品的质量和光学特性,发现E_(2g)^(1)模和A_(1g)模明显且尖锐,说明晶格结构比较完整,2个模式随着层数增加发生频移;单层和多层WS_(2)的直接激子跃迁峰均存在不对称性,说明都存在电荷掺杂,其光致发光强度随着层数增加发生减弱.进一步通过测试变激发功率拉曼光谱和变激发功率光致发光光谱,发现少层、块体WS_(2)中的E_(2g)^(1)模随着激发功率的增加未发生频移,说明激光热效应可以忽略;少层、块体WS_(2)中的直接激子跃迁峰随激发功率的增加发生频移,说明存在载流子的相互作用;少层WS_(2)光致发光强度的变化幅度大于块体,这与层间相互作用强弱有关. 展开更多

关键词 WS_(2) 蓝宝石 化学气相沉积 拉曼光谱 光致发光光谱 变激发功率

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用拉曼波谱分析金刚石膜的内应力 被引量：14

2

作者 方亮 王万录 +2 位作者 陈星明 郭忠诚 廖克俊 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第5期79-84,共6页

对拉曼波谱测量金刚石薄膜内应力时存在的差异现象进行了分析。研究表明应力方向和晶体取向的未知，导致多晶金刚石薄膜中应力值与拉曼波谱位移量之间的比例系数难以准确选取，是造成计算出的内应力结果不一致的原因之一。

关键词 金刚石 薄膜 化学汽相沉积 拉曼波谱 内应力

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化学气相沉积法制备ZnO纳米结构薄膜及其SERS活性研究 被引量：20

3

作者 阮伟东 王春旭 +2 位作者 纪楠 徐蔚青 赵冰 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期768-770,共3页

Zinc oxide nanostructure thin films were prepared on quartz slides via chemical vapour deposition(CVD). Various nanostructures such as nanorod, nanowires and surface-rough nanocubes, could be obtained under carefully ... Zinc oxide nanostructure thin films were prepared on quartz slides via chemical vapour deposition(CVD). Various nanostructures such as nanorod, nanowires and surface-rough nanocubes, could be obtained under carefully tuning experimental conditions. The surface-enhanced Raman scattering(SERS) character of these films was investigated by using 4-mercaptopyridine(4-MPY) as the probing molecule. 展开更多

关键词 化学气相沉积 表面增强拉曼散射 氧化锌

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气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究 被引量：14

4

作者 张晓丹 朱锋 +8 位作者 赵颖 侯国付 魏长春 孙建 张德坤 任慧志 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期414-418,共5页

本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的... 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的结果都表明了样品的晶化特性 ; 展开更多

关键词 VHF-PECVD 制备方法 气压 μc-Si:H 薄膜 微晶硅材料 太阳能电池 光致衰退效应 SWE

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化学气相沉积法在蓝宝石衬底上可控生长大面积高质量单层二硫化钨 被引量：3

5

作者 巩哲 何大伟 +2 位作者 王永生 许海腾 董艳芳 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期984-989,共6页

在常压条件下使用CVD法生长单层WS_2,通过改变实验条件实现控制晶粒大小或生长成薄膜的目的。采用光学显微镜、拉曼、光致发光谱等对制备的样品进行表征,得到了结晶质量高、尺寸达120μm的单层WS_2晶粒。同时讨论了几个重要参数如温度... 在常压条件下使用CVD法生长单层WS_2,通过改变实验条件实现控制晶粒大小或生长成薄膜的目的。采用光学显微镜、拉曼、光致发光谱等对制备的样品进行表征,得到了结晶质量高、尺寸达120μm的单层WS_2晶粒。同时讨论了几个重要参数如温度、生长时间以及钨源用量等对生长单层WS_2的影响。结果表明:温度对CVD生长WS_2影响最大,高温有助于生长高结晶质量的WS_2。调节生长时间可以控制WS_2晶粒的大小,较长时间能生长出连续的薄膜。过量的S蒸汽会抑制WS_2生长,影响结晶质量。 展开更多

关键词 单层二硫化钨 化学气相沉积 拉曼光谱 光致发光谱

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衬底材料对μc-Si:H薄膜结构特性的影响 被引量：4

6

作者 陈永生 杨仕娥 +2 位作者 卢景霄 王海燕 李瑞 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期116-120,共5页

对在不锈钢和玻璃衬底上沉积的μc-Si：H薄膜进行了拉曼光谱和扫描电子显微(SEM)分析。拉曼分析显示在相同的工艺参数下,玻璃衬底上沉积的μc-Si：H薄膜的晶化率高于不锈钢衬底上沉积的薄膜,这可能是由于衬底与等离子体之间的电势差不... 对在不锈钢和玻璃衬底上沉积的μc-Si：H薄膜进行了拉曼光谱和扫描电子显微(SEM)分析。拉曼分析显示在相同的工艺参数下,玻璃衬底上沉积的μc-Si：H薄膜的晶化率高于不锈钢衬底上沉积的薄膜,这可能是由于衬底与等离子体之间的电势差不同和衬底表面形貌两方面所致。SEM观察表明玻璃衬底上沉积的μc-Si：H薄膜由尺寸介于200～100nm的团簇构成。 展开更多

关键词 等离子体辅助化学气相沉积 拉曼散射谱 晶化率 团簇

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镁钼氧化物催化剂制备多壁纳米碳管的初步研究 被引量：6

7

作者 李昱 张孝彬 +3 位作者 徐军明 陶新永 陈飞 刘芙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期71-76,共6页

采用溶胶-凝胶法合成了可用来催化裂解甲烷大量制备高质量和较高纯度的多壁纳米碳管的镁钼氧化物催化剂.实验表明该催化剂具有较高的活性和催化效率,反应2h后,制备的多壁纳米碳管的量接近原始催化剂量的30倍.并用透射电镜、高分辨透射... 采用溶胶-凝胶法合成了可用来催化裂解甲烷大量制备高质量和较高纯度的多壁纳米碳管的镁钼氧化物催化剂.实验表明该催化剂具有较高的活性和催化效率,反应2h后,制备的多壁纳米碳管的量接近原始催化剂量的30倍.并用透射电镜、高分辨透射电镜、激光拉曼和热重分析对制得的粗产品进行了表征,结果表明:碳管的直径在10-22nm之间,且随着反应时间的延长,制备的纳米碳管石墨化程度增加,反应1h后,粗产品中碳管含量达95％,同时,对催化剂的特殊催化生长机理作了讨论,生长过程中多层Mo颗粒析出在MgO载体表面是碳管成束的主要原因. 展开更多

关键词 多壁纳米碳管 化学气相沉积法 镁钼氧化物

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介质阻挡放电化学气相沉积法制备DLC薄膜研究 被引量：5

8

作者 张溪文 徐世友 韩高荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期555-558,共4页

采用介质阻挡化学气相沉积法(DBD CVD)在Si及石英衬底上、室温下成功的沉积出光滑、致密、均匀、膜基结合较好的类金刚石(DLC)薄膜,并考察了电源电压对类金刚石薄膜结构及性能的影响。拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微... 采用介质阻挡化学气相沉积法(DBD CVD)在Si及石英衬底上、室温下成功的沉积出光滑、致密、均匀、膜基结合较好的类金刚石(DLC)薄膜,并考察了电源电压对类金刚石薄膜结构及性能的影响。拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV Vis)、高阻仪等测试及分析结果显示DBD CVD 法适于制备高质量硬质DLC薄膜。对DBD放电做了理论分析,结果与工艺研究的结论相符合。 展开更多

关键词 DBD-CVD DLC 拉曼光谱

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VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜 被引量：5

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作者 杨恢东 吴春亚 +7 位作者 黄君凯 麦耀华 张晓丹 薛俊明 任慧志 赵颖 耿新华 熊绍珍 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期127-132,共6页

采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman... 采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman光谱、X射线衍射与扫描电子显微镜(SEM)测量,研究了μc Si∶H薄膜的结构特征与表面形貌。基于当前的沉积系统,对μc Si∶H薄膜沉积条件进行了初步优化,使μc Si∶H薄膜的沉积速率提高到2 0nm/s。 展开更多

关键词 光发射谱 氢化微晶硅薄膜 甚高频等离子体化学气相沉积 高速沉积

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硼硫共掺杂金刚石薄膜的研究 被引量：2

10

作者 李荣斌 胡晓君 +1 位作者 沈荷生 何贤昶 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期49-51,54,共4页

　利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以丙酮为碳源,用二甲基二硫和三氧化二硼作掺杂源,在硅衬底上制备了硼与硫共掺杂的金刚石薄膜。用俄歇谱分析金刚石薄膜中硫的含量,用傅里叶红外光谱(FTIR)分析了薄膜表面键结构,用扫描电子... 　利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以丙酮为碳源,用二甲基二硫和三氧化二硼作掺杂源,在硅衬底上制备了硼与硫共掺杂的金刚石薄膜。用俄歇谱分析金刚石薄膜中硫的含量,用傅里叶红外光谱(FTIR)分析了薄膜表面键结构,用扫描电子显微镜(SEM)观测薄膜的表面形貌,X射线衍射(XRD)和喇曼(Raman)光谱表征膜层的结构。结果表明:微量硼的加入促进硫在金刚石中的固溶度,使硫在金刚石中的掺杂率提高了近50%;随着薄膜中硫含量的增加,薄膜的导电性增加,当薄膜中硫含量达到0.15%(原子分数)时其导电激活能为0.39eV。 展开更多

关键词 金刚石薄膜 硼 硫 掺杂 MPCVD

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基于拉曼光谱的光子晶体光纤孔内生长石墨烯层数控制方法的研究 被引量：1

11

作者 王晓愚 崔永兆 +3 位作者 毕卫红 付广伟 柯思成 王文馨 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期3659-3664,共6页

石墨烯和光子晶体光纤(PCF)都拥有良好的光学特性,但是通过湿法转移只能将石墨烯薄膜转移/涂覆在光纤表面或端面,内部的空气孔因为直径太小无法转移。因此,利用化学气相沉积法(CVD)将碳源分解为碳原子,使其在光纤空气孔中形成形核点,在... 石墨烯和光子晶体光纤(PCF)都拥有良好的光学特性,但是通过湿法转移只能将石墨烯薄膜转移/涂覆在光纤表面或端面,内部的空气孔因为直径太小无法转移。因此,利用化学气相沉积法(CVD)将碳源分解为碳原子,使其在光纤空气孔中形成形核点,在PCF内孔生长石墨烯薄膜。重点研究了通过控制生长条件,使石墨烯直接在光子晶体光纤空气孔中生长出完整的石墨烯薄膜并且层数可控的技术。通过扫描电镜表征生长后的石墨烯,可以清楚的看到石墨烯薄膜的存在并且与光子晶体光纤空气孔紧密结合在一起,形成石墨烯光纤材料;通过拉曼光谱表征生长后的石墨烯,可以看到石墨烯3个特征峰均存在。改变生长条件比如:温度、生长时间、甲烷气体浓度等发现光子晶体光纤空气孔中的石墨烯D峰与G峰的比值明显减小,有效降低了石墨烯的缺陷。结果表明生长时间对石墨烯缺陷降低最为有效, D峰与G峰的比值可以降到0.5左右。生长时间为5 h时石墨烯生长层数为双层,通过延长生长时间可以继续降低石墨烯的缺陷程度和增加石墨烯的层数;温度可以快速分解甲烷进而增加碳原子的形核点,加快石墨烯薄膜的形成,但是过高的温度会对石墨烯产生较大的缺陷,在1 050℃之后D峰与G峰的比值不再快速降低。研究表明石墨烯层数则因为碳原子形核点的增多而不断变厚;甲烷浓度的增加,导致气体流速加快,而空气孔直径太小受到流速影响较大,导致空气孔内石墨烯的层数波动式增大。此研究为后续设计基于石墨烯光纤的器件、探究石墨烯光纤在光学的应用提供了基础。 展开更多

关键词 石墨烯 光子晶体光纤 拉曼光谱 化学气相沉积法

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微喇曼和红外光谱法研究化学气相沉积金刚石多晶膜结晶质量特性 被引量：1

12

作者 顾利萍 唐春玖 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1509-1513,共5页

研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能(颜色和透光性)与微观性能(结晶质量、相纯度和氢杂质含量)之间的关系,喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含量(红外光谱测得)的关联性.给出了根据颜色和透明度来区分样本膜质量的实验依据,颜色较深的膜的结... 研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能(颜色和透光性)与微观性能(结晶质量、相纯度和氢杂质含量)之间的关系,喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含量(红外光谱测得)的关联性.给出了根据颜色和透明度来区分样本膜质量的实验依据,颜色较深的膜的结晶质量差、相纯度低、氢杂质含量高,1 332cm-1金刚石特征喇曼峰强度低,半峰宽大.由于多晶膜生长不均匀性、多晶以及粗糙度的影响,生长面的微喇曼光谱随采样点变化会产生较大的偏差,而光滑生长界面的喇曼光谱随采样点的变化偏差较小,因此生长界面的喇曼光谱更能反映化学气相沉积法制备金刚石膜的整体质量. 展开更多

关键词 结晶质量 多晶金刚石膜 傅里叶变换红外光谱 微喇曼 微波等离子体化学气相沉积法

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小尺寸金石墨纳米颗粒的合成与表征 被引量：2

13

作者 刘芳 张鲁凤 +1 位作者 董倩 陈卓 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第6期651-656,共6页

在表面增强拉曼光谱(SERS)的研究领域中,基于局域表面等离子体共振效应的等离子体SERS基底的制备成为过去几十年的研究热点。然而,通常开发的等离子体金属基底具有较差的稳定性和重现性。对于SERS而言,石墨烯类材料具有拉曼化学增强效应... 在表面增强拉曼光谱(SERS)的研究领域中,基于局域表面等离子体共振效应的等离子体SERS基底的制备成为过去几十年的研究热点。然而,通常开发的等离子体金属基底具有较差的稳定性和重现性。对于SERS而言,石墨烯类材料具有拉曼化学增强效应,除此之外,还具有分子富集、强的稳定性与荧光猝灭能力等优点,因此基于石墨金属复合纳米材料的SERS基底受到了研究人员的重视。我们利用化学气相沉积(CVD)法制备了小尺寸的金石墨核壳纳米颗粒(Au@G),其粒径约为17 nm。我们通过在Au NP上包覆介孔二氧化硅来控制Au@G的尺寸,同时还研究了包覆二氧化硅过程中,正硅酸乙酯(TEOS)的浓度对于石墨壳层形成的影响。结果表明当TEOS在一定浓度范围内,其浓度的降低有利于得到石墨化程度高的Au@G。进一步利用Au@G对结晶紫分子进行拉曼检测,也表明了Au@G具有较好的拉曼增强效果。这种小尺寸的Au@G在分子检测与细胞成像分析领域中具有广泛的应用潜力。 展开更多

关键词 金石墨纳米颗粒 化学气相沉积 表面增强拉曼光谱 介孔二氧化硅 金纳米颗粒

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SiO2基底Nb原位掺杂MoS2纳米薄膜的制备及场效应 被引量：2

14

作者 孙钰琨 白波 +4 位作者 马美玲 王洪伦 索有瑞 谢黎明 柴禛 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1975-1982,共8页

以氧化钼(MoO3)、硫(S)和氯化铌(NbCl5)作为前驱体,利用一锅两步化学气相沉积法,在SiO2基底上大面积地生长连续性好、均匀负载的Nb-MoS2薄膜结构。通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征可知薄层具有较好的连续性,同时使用拉... 以氧化钼(MoO3)、硫(S)和氯化铌(NbCl5)作为前驱体,利用一锅两步化学气相沉积法,在SiO2基底上大面积地生长连续性好、均匀负载的Nb-MoS2薄膜结构。通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征可知薄层具有较好的连续性,同时使用拉曼光谱(Raman)、光致发光光谱(PL)和X射线光电子能谱(XPS)证实了掺杂后薄膜内部出现高达90meV的蓝移现象。将薄膜制成场效应管(FET),并对其电学性能进行测试得出,场效应迁移率为1.22cm^2·V^-1·s^-1,电流开关比为10^5,并证实了当Nb掺杂入MoS2薄膜后使得薄膜整体阻抗大幅降低,整体阻抗降低到66.67kΩ,比未掺杂Nb的MoS2薄膜降低了约40%。本工艺操作简单、成本低、重现率高,为制备高质量、大面积过渡金属掺杂的MoS2薄膜光电学器件提供了新的途径。 展开更多

关键词 二维薄膜材料 过渡金属硫化物 化学气相沉积法(CVD) 拉曼光谱 光致发光光谱 场效应晶体管

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双层石墨烯的化学气相沉积制备研究综述 被引量：2

15

作者 张学薇 邹振兴 +1 位作者 赵沛 王宏涛 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1-19,97,共20页

石墨烯具有很多优异的性质,是非常理想的硅晶体替代材料,有可能彻底改变现在人们的生活,引发新一轮的科技革命。但是单层石墨烯是一种零带隙的半金属,在半导体电子器件方面受到很大局限性。AB堆垛双层石墨烯的带隙可由外部垂直电场打开... 石墨烯具有很多优异的性质,是非常理想的硅晶体替代材料,有可能彻底改变现在人们的生活,引发新一轮的科技革命。但是单层石墨烯是一种零带隙的半金属,在半导体电子器件方面受到很大局限性。AB堆垛双层石墨烯的带隙可由外部垂直电场打开,既可用于半导体电子器件领域,又可以大大降低薄膜电阻,用于透明导电薄膜。尽管石墨烯制备方法很多,但受限于成本、质量、规模化等,化学气相沉积法是制备大面积、高质量双层石墨烯最主要的手段。综述了利用化学气相沉积法制备双层石墨烯的一系列工作,首先介绍单双层石墨烯的生长机理,主要根据催化剂类型对镍、铜、铜镍合金上石墨烯形核和生长作出解释;然后从碳源、生长氛围、催化剂、基底结构等对双层石墨烯的均匀性、晶畴尺寸和堆垛形式等方面进行分析;最后,总结以上化学气相沉积法制备双层石墨烯的工作,并对该领域的发展进行展望。 展开更多

关键词 双层石墨烯 化学气相沉积 生长机理 拉曼光谱 催化剂 堆垛形式

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用于制备优质单壁碳纳米管管束的MgO负载Fe_3O_4纳米粒子的合成(英文) 被引量：2

16

作者 Wei-Wen Liu Azizan Aziz +2 位作者 Siang-Piao Chai Abdul Rahman Mohamed Ching-Thian Tye 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期255-261,共7页

采用沉淀方法制备了直径分布狭窄的均匀Fe3O4纳米颗粒。Fe3O4纳粒形体几近一致,平均粒径为10.33nm±2.99nm(平均粒径±标准偏差)。在超声作用下将MgO纳米颗粒分散在一定量Fe3O4纳米颗粒的水溶液中获得MgO负载Fe3O4的纳米颗粒。... 采用沉淀方法制备了直径分布狭窄的均匀Fe3O4纳米颗粒。Fe3O4纳粒形体几近一致,平均粒径为10.33nm±2.99nm(平均粒径±标准偏差)。在超声作用下将MgO纳米颗粒分散在一定量Fe3O4纳米颗粒的水溶液中获得MgO负载Fe3O4的纳米颗粒。以甲烷为碳源,Fe3O4/MgO为催化剂,经化学气相沉积,在Fe3O4纳粒上制得了大量直径近乎均匀的单壁碳纳米管(SWCNTs)束。TEM显示:SWCNTs的平均直径1.22nm。热重分析显示:样品在400℃～600℃温度区间失重量约19%。拉曼光谱显示:SWCNTs的ID/IG的强度比为0.03,表明采用Fe3O4/MgO催化剂可制得高石墨化程度的单壁碳纳米管。 展开更多

关键词 单壁碳纳米管 化学气相沉积 电子显微镜 拉曼光谱

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化学气相沉积法较低温度下制备层状硫化钼薄膜的研究 被引量：1

17

作者 苏文静 金良茂 +3 位作者 金克武 王天齐 汤永康 甘治平 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第A01期158-160,共3页

二硫化钼具有类似石墨烯的层状结构,是一种被广泛研究的过渡金属硫族化合物。层状二硫化钼是一种具有较高带隙的半导体,其具有好的光致发光特性以及光电子学特性,在晶体管、光伏、传感器件以及光催化分解水制备氢气等领域具有潜在的应... 二硫化钼具有类似石墨烯的层状结构,是一种被广泛研究的过渡金属硫族化合物。层状二硫化钼是一种具有较高带隙的半导体,其具有好的光致发光特性以及光电子学特性,在晶体管、光伏、传感器件以及光催化分解水制备氢气等领域具有潜在的应用价值。目前,较高质量的二硫化钼层状薄膜主要是通过高温化学气相沉积法制备,一般制备温度较高,在850~1000℃。本实验利用化学气相沉积法分别在650℃、675℃、700℃、725℃和750℃条件下制备层状二硫化钼薄膜。通过对不同温度下制备的样品进行光学形貌测试及拉曼光谱分析,得出在较低温度下温度对制备二硫化钼薄膜的形貌和单个片层的尺寸具有显著的影响,其中在725℃时制备的层状薄膜形貌和尺寸都较好。本工作为在较低温度下制备出高质量层状MoS2薄膜打下了较好的基础。 展开更多

关键词 化学气相沉积法 层状二硫化钼 拉曼光谱 二维层状材料

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