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基体偏压对中频磁控溅射TiB_(x)涂层结构及性能的影响
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作者 谷佳宾 周永涛 +3 位作者 金杰 李刘合 王纪武 王珊珊 《表面技术》 北大核心 2025年第11期100-110,共11页
目的改善TiB_(x)涂层的致密性,提高TiB_(x)涂层的力学性能。方法采用中频磁控溅射技术制备TiB_(x)涂层,探究TiB_(x)涂层的结构和性能在不同基体偏压下的演变规律,并分析TiB_(x)涂层的抗氧化性能和摩擦磨损性能。通过扫描电子显微镜对涂... 目的改善TiB_(x)涂层的致密性,提高TiB_(x)涂层的力学性能。方法采用中频磁控溅射技术制备TiB_(x)涂层,探究TiB_(x)涂层的结构和性能在不同基体偏压下的演变规律,并分析TiB_(x)涂层的抗氧化性能和摩擦磨损性能。通过扫描电子显微镜对涂层的表面形貌和断面形貌进行表征。利用电子探针分析涂层的化学成分,采用X射线衍射仪测试TiB_(x)涂层的择优取向,并利用sin2ψ法评估TiB_(x)涂层的残余应力。通过纳米压痕仪测试TiB_(x)涂层的纳米硬度和弹性模量。通过划痕法和洛氏压痕法来评价TiB_(x)涂层的膜基结合强度。结果在不同基体偏压下,采用中频磁控溅射技术制备的TiB_(x)涂层均表现出TiB2-(001)择优取向,涂层的柱状晶结构随着基体偏压的升高逐渐细化,涂层的致密性得到显著提高。涂层的残余应力(绝对值)和纳米硬度随着基体偏压的升高逐渐增大,涂层的硬度最高达到39.1 GPa。涂层的膜基结合强度随着基体偏压的升高逐渐降低,在偏压不高于100 V时,涂层的膜基结合强度为HF1级。在退火温度不高于600℃时,TiB_(x)涂层中未发现新相的形成,且该涂层仍具有明显的TiB2-(001)择优取向。随着环境温度的升高,TiB_(x)涂层的摩擦因数呈先升高后降低的趋势。涂层的摩擦因数在温度500℃时达到最高值(0.82),在温度600℃时降至0.65,涂层在不同环境温度下的磨损量均约为0。结论随着基体偏压的升高,成膜离子的轰击作用增强,TiB_(x)涂层的晶粒细化,其致密性提高,导致涂层的残余应力和纳米硬度逐渐升高,结合力逐渐下降。在温度不高于600℃时,TiB_(x)涂层具有优异的抗氧化性能和摩擦磨损性能。 展开更多
关键词 中频磁控溅射 TiB_(x)涂层 基体偏压 微观组织结构 力学性能
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基于反演分析法探究残余压应力对叠层涂层拉伸性能的影响
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作者 陈金湖 贾云飞 +3 位作者 马天宇 张勇 张钰 杨俊 《机械强度》 北大核心 2025年第4期79-86,共8页
涂层广泛应用于各类重要零部件表面以提升其使用寿命,研究涂层的力学性能是评价该项技术优劣程度的一个关键因素。采用真空离子镀膜技术在铝基复合材料表面制备TiAlN/Ti和TiN/Ti叠层涂层,并通过扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,S... 涂层广泛应用于各类重要零部件表面以提升其使用寿命,研究涂层的力学性能是评价该项技术优劣程度的一个关键因素。采用真空离子镀膜技术在铝基复合材料表面制备TiAlN/Ti和TiN/Ti叠层涂层,并通过扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)、X射线衍射仪(X-Ray Diffraction,XRD)和纳米压痕测试仪对涂层的微观结构、物相组成和力学性能进行表征和分析。基于量纲分析理论推导出材料力学性能参数与纳米压痕加/卸载参量之间的量纲一函数关系,结合有限元模拟的方法,确定其具体表达式。通过建立叠层涂层的纳米压痕仿真模型,分析了残余压应力对叠层涂层拉伸性能的影响。结果表明,残余压应力可以提高叠层涂层的屈服强度。其中,TiN/Ti叠层涂层的残余压应力为-564 MPa,提高了31.25%的屈服强度;TiAlN/Ti叠层涂层的残余压应力为-871 MPa,提高了50%的屈服强度。此方法为定量分析涂层力学性能的影响因素提供了重要的理论和试验基础。 展开更多
关键词 纳米压痕 叠层涂层 残余压应力 有限元 反演分析
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乙炔含量对DLC涂层结构及力学性能的影响
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作者 赵彦辉 于泽洋 +1 位作者 郭兆信 于晓明 《表面技术》 北大核心 2025年第7期98-108,共11页
目的研究工作气氛中C_(2)H_(2)气体含量对含氢DLC涂层微观组织结构变化特征、力学性能、摩擦学性能及生物腐蚀性能的影响。方法采用电弧增强辉光放电(Arc Enhanced Glow Discharge,AEGD)离子源辅助电弧离子镀,在316L不锈钢表面沉积以Cr/... 目的研究工作气氛中C_(2)H_(2)气体含量对含氢DLC涂层微观组织结构变化特征、力学性能、摩擦学性能及生物腐蚀性能的影响。方法采用电弧增强辉光放电(Arc Enhanced Glow Discharge,AEGD)离子源辅助电弧离子镀,在316L不锈钢表面沉积以Cr/CrC为过渡层的含氢DLC复合涂层,利用扫描电镜、激光3D显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱仪表征DLC涂层的微观结构,采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机研究涂层的力学、摩擦学性能,采用电化学工作站研究涂层的生物腐蚀性能。结果随着C_(2)H_(2)含量的增加,真空室内离子密度降低,对涂层表面的轰击作用减弱,涂层的表面粗糙度增大,同时水静态接触角降低;拉曼光谱和XPS结果表明,随着C_(2)H_(2)含量的增加,涂层中拉曼谱峰强度ID/IG的比值呈现先降低后增大的趋势,涂层中sp^(3)键含量呈现先增加后降低的趋势,在体积分数33%的C_(2)H_(2)条件下制备的涂层的sp^(3)键含量高达78%;纳米压痕结果表明,涂层硬度、弹性模量、磨损率随着C_(2)H_(2)的含量呈先增加后降低的趋势;在体积分数33%的C_(2)H_(2)条件下制备的涂层的硬度和模量分别可高达61、414 GPa,摩擦磨损结果表明,磨损率随着C_(2)H_(2)含量的增加,呈先降低后略增加的趋势。结论在体积分数33%的C_(2)H_(2)条件下制备的涂层的硬度和弹性模量最高,摩擦因数最低,磨损率最低,耐磨性能最佳;在70%的C_(2)H_(2)下制备的涂层的腐蚀电流密度最低,自腐蚀电位最高,耐蚀性最佳。 展开更多
关键词 DLC涂层 C_(2)H_(2)含量 纳米硬度 摩擦性能 电化学腐蚀
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机器学习辅助设计高强韧(TiZrNbCrSi)N高熵氮化物涂层
4
作者 黄中庆 彭爽 +4 位作者 孙德恩 邱恒鑫 崔芹 张健 LIU Shiyu 《表面技术》 北大核心 2025年第1期74-83,160,共11页
目的通过机器学习构建(TiZrNbCrSi)N体系的硬度算法模型和韧性算法模型,结合高通量制备完成对兼具高硬度和高韧性的高熵氮化物涂层的成分设计和高效筛选。方法采用磁控溅射多靶共沉积技术制备强韧一体化的(TiZrNbCrSi)N高熵氮化物涂层... 目的通过机器学习构建(TiZrNbCrSi)N体系的硬度算法模型和韧性算法模型,结合高通量制备完成对兼具高硬度和高韧性的高熵氮化物涂层的成分设计和高效筛选。方法采用磁控溅射多靶共沉积技术制备强韧一体化的(TiZrNbCrSi)N高熵氮化物涂层。采用热场发射扫描电镜和能谱仪对涂层表、截面形貌及成分进行分析,利用纳米压痕仪测量涂层的硬度和弹性模量,采用压痕法定量表征涂层的韧性。同时,引入高通量制备技术大幅缩短样品制备周期,采用随机森林算法构建机器学习模型,对涂层的成分和性能进行高效分析和预测。结果(TiZrNbCrSi)N涂层的厚度约为720 nm,呈现柱状晶结构,其晶体结构为FCC。涂层的硬度为12~28 GPa,韧性值为1~10 MPa·m^(1/2)。机器学习对涂层硬度预测的均方根误差为1.118 GPa,对韧性预测的均方根误差为1.292 MPa·m^(1/2)。结论通过机器学习构建的硬度算法模型及韧性算法模型,对(TiZrNbCrSi)N涂层体系的性能预测结果具有较高的准确性。筛选获得的(Ti_(0.079)Zr_(0.081)Nb_(0.089)Cr_(0.119)Si_(0.068))N_(0.564)高熵氮化物涂层兼具高硬度和高韧性,其硬度为25.6 GPa、韧性值为8 MPa·m^(1/2)。 展开更多
关键词 机器学习 高通量制备 高熵氮化物 高强韧涂层 成分设计
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溅射技术与基体偏压对TiB_(x)涂层结构和力学性能的影响 被引量:1
5
作者 谷佳宾 李建勇 +1 位作者 金杰 李刘合 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第15期206-215,共10页
目的改善TiB_(x)涂层的残余应力,提高其力学性能。方法采用不同的磁控溅射技术(dcMS、HiPMS、Hybrid)和基体偏压制备TiB_(x)涂层。通过电子探针显微分析仪(EPMA)测试TiB_(x)涂层的化学成分,采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)... 目的改善TiB_(x)涂层的残余应力,提高其力学性能。方法采用不同的磁控溅射技术(dcMS、HiPMS、Hybrid)和基体偏压制备TiB_(x)涂层。通过电子探针显微分析仪(EPMA)测试TiB_(x)涂层的化学成分,采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)表征涂层的表面形貌、组织结构特征、相组成和择优取向,通过sin^(2)ψ法、纳米压痕仪和洛氏压痕法分别测试TiB_(x)涂层的残余应力、纳米硬度和膜层/基体结合强度。结果溅射技术和基体偏压对TiB_(x)涂层的组织结构和力学性能都有着显著的影响。在基体旋转条件下,不同溅射技术和基体偏压制备的涂层均呈现出TiB_(2)-(001)择优取向。随基体偏压的升高,涂层的残余应力呈现出先增大、后减小的规律。偏压相同时,HiPIMS技术制备的TiB_(x)涂层具有最高的残余应力。随着基体偏压的增加,TiB_(x)涂层的纳米硬度和弹性模量不断增加,在偏压为–130 V时,Hybrid-TiB_(x)涂层具有最高的纳米硬度(40.1GPa)。偏压相同时,dcMS-TiB_(x)和Hybrid-TiB_(x)涂层表现出优异的膜层/基体结合强度(HF1-HF2级),而HiPIMS涂层表现出较差的膜层/基体结合强度(HF1-HF4级)。结论溅射技术和基体偏压对TiB_(x)涂层的微观组织结构和力学性能有着重要的影响,Hybrid模式结合了dcMS模式和HiPMS模式的优点,Hybrid-TiB_(x)涂层呈现出最优的综合力学性能(高的纳米硬度、沉积速率和膜层/基体结合强度)。 展开更多
关键词 磁控溅射 TiB_(x)涂层 基体偏压 HYBRID 微观组织结构 力学性能
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C_(2)H_(2)气体流量对WC-DLC涂层结构与性能的影响 被引量:2
6
作者 谢焕钧 徐长云 +3 位作者 唐令 韩明月 罗阳 李刘合 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期212-219,共8页
文章采用直流磁控溅射技术制备WC-DLC耐磨涂层,为了探究C_(2)H_(2)流量对WC-DLC涂层表截面形貌、微观结构、力学和摩擦学性能的影响,在10−50 mL/min C_(2)H_(2)流量下制备了WC-DLC涂层并进行表征分析。结果表明,随着C_(2)H_(2)流量的增... 文章采用直流磁控溅射技术制备WC-DLC耐磨涂层,为了探究C_(2)H_(2)流量对WC-DLC涂层表截面形貌、微观结构、力学和摩擦学性能的影响,在10−50 mL/min C_(2)H_(2)流量下制备了WC-DLC涂层并进行表征分析。结果表明,随着C_(2)H_(2)流量的增加,涂层中碳含量增加,晶粒逐渐细化,由柱状晶逐渐转变为细晶粒,涂层变得更加致密;涂层纳米硬度与sp3杂化的C原子含量密切相关,随着涂层中sp3-C含量的增加,硬度先升高然后降低,磨损率也先升高降低;随着碳原子含量升高,涂层中出现大量的非晶碳,表面晶粒非晶化,涂层的摩擦系数逐渐减小且更加稳定。 展开更多
关键词 WC-DLC 涂层 C_(2)H_(2) 流量 纳米硬度 结合力 摩擦磨损
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C_(2)H_(2)流量对反应溅射石墨制备非晶碳膜层结构及性能影响研究 被引量:2
7
作者 刘京周 鞠鹏飞 +3 位作者 周宏 邢明秀 吴国华 张鼎元 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期113-122,共10页
目的研究反应溅射石墨制备非晶碳过程中乙炔流量变化对非晶碳微观结构、力学性能及摩擦学性能的影响规律。方法通过在乙炔气氛中反应溅射石墨靶,调控乙炔流量,制备不同结构的非晶碳膜层,采用X射线光电子能谱仪、激光共聚焦拉曼光谱仪分... 目的研究反应溅射石墨制备非晶碳过程中乙炔流量变化对非晶碳微观结构、力学性能及摩擦学性能的影响规律。方法通过在乙炔气氛中反应溅射石墨靶,调控乙炔流量,制备不同结构的非晶碳膜层,采用X射线光电子能谱仪、激光共聚焦拉曼光谱仪分析膜层的微观结构,采用纳米压痕仪表征膜层的力学性能,采用球盘式摩擦磨损试验机、白光干涉仪和光学显微镜表征膜层摩擦学性能。结果通过反应溅射法制备了致密均匀的非晶碳,分析发现,所有薄膜表层均含有一定量O元素(原子数分数为6.36%~13.86%)。经Ar^(+)刻蚀后,大部分膜层的O含量可降至1%以下;随着乙炔流量的增加,膜层的硬度(H)、弹性模量(E)和H^(3)/E^(2)均呈先增后减的趋势,在乙炔流量为10 cm^(3)/min时膜层的硬度和弹性模量达到最大值,分别为27.93、233.55 GPa;摩擦学性能测试结果显示,膜层的平均摩擦因数在0.09~0.11之间,在启动阶段摩擦因数随着氢元素(H)含量的增加呈下降趋势,5 cm^(3)/min试样的膜层的耐磨性最高、磨损量最小,其磨损量为0.72×10^(−16)m^(3)/(N·m)。结论通过调节反应溅射石墨过程中乙炔的流量,可调控非晶碳中sp^(3)/sp^(2)、H含量,进而达到调控非晶碳力学性能、摩擦学性能的目的。 展开更多
关键词 乙炔 反应溅射 非晶碳 微观结构 力学性能 摩擦学性能
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沉积温度对CrN涂层干摩擦及大豆油润滑下摩擦学性能的影响
8
作者 李阳 孙会来 +2 位作者 杨淑燕 曹磊 万勇 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期103-110,共8页
为探究沉积温度对CrN涂层摩擦学性能的影响,同时寻找适合CrN涂层润滑的绿色润滑剂,采用磁控溅射技术在不同温度下制备CrN涂层。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、AFM原子力显微镜、划痕仪、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机评价涂层的微观... 为探究沉积温度对CrN涂层摩擦学性能的影响,同时寻找适合CrN涂层润滑的绿色润滑剂,采用磁控溅射技术在不同温度下制备CrN涂层。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、AFM原子力显微镜、划痕仪、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机评价涂层的微观结构、力学性能,以及在干摩擦及大豆油润滑条件下的摩擦磨损性能。结果表明:在250℃下沉积的CrN涂层具有最致密的晶状结构,且力学性能最优。摩擦试验结果显示,在干摩擦和大豆油润滑下250℃下沉积的CrN涂层表现出最优的摩擦学特性。XPS分析表明,由于摩擦的存在,大豆油会在涂层表面发生摩擦化学反应并生成一层化学吸附膜,从而能有效减轻涂层的摩擦和磨损。250℃下沉积的CrN涂层具有最优的力学及摩擦学性能,且大豆油极为适合CrN涂层的润滑。 展开更多
关键词 CRN涂层 沉积温度 力学性能 大豆油 摩擦学性能
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类金刚石膜层制备及摩擦磨损性能 被引量:1
9
作者 陈文举 李博 周圣杰 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2024年第6期8-16,共9页
为解决某型扭力臂轴及配合衬套的磨损问题,使用磁控溅射和等离子增强化学气相沉积技术,在30CrMnSi-Ni2A表面制备了渐变过渡结构的类金刚石膜层(DLC)。使用球磨法、纳米压痕法、划痕法测量DLC膜层性能,膜厚为4.3μm,硬度≥1900 HV,膜基... 为解决某型扭力臂轴及配合衬套的磨损问题,使用磁控溅射和等离子增强化学气相沉积技术,在30CrMnSi-Ni2A表面制备了渐变过渡结构的类金刚石膜层(DLC)。使用球磨法、纳米压痕法、划痕法测量DLC膜层性能,膜厚为4.3μm,硬度≥1900 HV,膜基结合力≥30 N。经过滑动磨损测试,膜层摩擦系数≤0.2,摩擦磨损率≤2×10^(-6) mm^(3)·r^(-1)。经过20000转次耐磨测试,与硬铬镀层的扭力臂轴对比,DLC膜层配合衬套的磨损量远低于硬铬镀层配合衬套,可满足扭力臂轴耐磨润滑需求。 展开更多
关键词 类金刚石膜层 梯度过渡 结合力 耐磨润滑
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溅射功率对直流磁控溅射TiAlN涂层组织和摩擦学性能的影响
10
作者 孙琛扬 王疆瑛 +1 位作者 张高会 徐欣 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期116-122,共7页
在室温下采用直流磁控溅射技术在304L不锈钢表面制备TiAlN涂层,研究了溅射功率(80,100,120,140,160 W)对TiAlN涂层组织和摩擦学性能的影响。结果表明:TiAlN涂层由面心立方结构的TiAlN相以及少量TiN和AlN相组成。随着溅射功率的增加,TiAl... 在室温下采用直流磁控溅射技术在304L不锈钢表面制备TiAlN涂层,研究了溅射功率(80,100,120,140,160 W)对TiAlN涂层组织和摩擦学性能的影响。结果表明:TiAlN涂层由面心立方结构的TiAlN相以及少量TiN和AlN相组成。随着溅射功率的增加,TiAlN涂层变厚,表面晶粒更加致密,但溅射功率160 W下制备的涂层表面大颗粒较多,晶粒尺寸先变小后变大,结合力先增大后减小,平均摩擦因数和比磨损率均整体呈先减小后增大的趋势;溅射功率140 W下制备的涂层具有最小的晶粒尺寸、最强的结合力、最小的平均摩擦因数和比磨损率,磨痕较平整且仅有少量磨屑,磨损机制为轻微的黏着磨损。 展开更多
关键词 TIALN涂层 直流磁控溅射 溅射功率 摩擦学性能
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金属表面改性——离子注入技术的发展与应用 被引量:33
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作者 陈勇军 史庆南 +2 位作者 左孝青 王茗 吴新光 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期4-7,共4页
 系统介绍了金属表面改性用离子注入的机理和特点。剖析了温度、注入剂量、离子种类等影响因子对改性层效果的影响,综述了该技术在提高强度和硬度、改善磨损性能、降低摩擦系数等方面的用途,展示了离子注入技术的开发方向和应用前景。
关键词 离子注入 金属材料 表面改性 应用 强度 硬度 磨损性能 摩擦系数
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两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究 被引量:32
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作者 韩修训 阎鹏勋 +4 位作者 阎逢元 刘维民 余画洋 徐建伟 吴志国 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期175-179,共5页
分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 Ti N涂层 ,采用 X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征 ;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度 ;在 DF- PM型动摩擦... 分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 Ti N涂层 ,采用 X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征 ;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度 ;在 DF- PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能 .结果表明 :与采用直流磁控溅射法在 40 0℃基底上制备的 Ti N涂层相比 ,采用磁过滤沉积装置在室温下制备的 Ti N涂层更加致密 ,表面平滑 ,最大硬度达 3 5 GPa,摩擦系数明显较小 ( 0 .1~ 0 .4) 。 展开更多
关键词 物理气相沉积 氮化钛涂层 结构 摩擦性能 纳米压入 PVD
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DLC、TiN涂层对TC4钛合金抗砂尘冲蚀性能的影响 被引量:20
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作者 曹鑫 何卫锋 +3 位作者 何光宇 廖斌 张虹虹 李应红 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期60-67,共8页
为提高TC4钛合金的抗砂尘冲蚀性能,采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源注入与磁过滤真空阴极弧(FCVA)沉积复合技术、磁控溅射技术在TC4钛合金表面制备DLC、TiN涂层。采用SEM、Raman、XRD、纳米压痕仪和划痕仪等方法对涂层的物相结构、硬... 为提高TC4钛合金的抗砂尘冲蚀性能,采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源注入与磁过滤真空阴极弧(FCVA)沉积复合技术、磁控溅射技术在TC4钛合金表面制备DLC、TiN涂层。采用SEM、Raman、XRD、纳米压痕仪和划痕仪等方法对涂层的物相结构、硬度、弹性模量以及与基体的结合力进行表征。在冲蚀试验平台上考核试样在不同入射角度条件下的抗砂尘冲蚀性能。结果表明:DLC涂层表面结构致密,含有大量sp3键,硬度为62.1 GPa,弹性模量为391.64 GPa,结合力达80.4 N;TiN涂层表面存在许多熔滴颗粒及空穴,硬度为22.72 GPa,弹性模量为383.18 GPa,结合力达34.7 N。30°冲蚀条件下,涂层主要是通过提高基体表面硬度来抵抗砂尘粒子的微切削作用,从而提高TC4钛合金的抗砂尘冲蚀性能。90°冲蚀条件下,涂层通过延缓基体的塑性变形来实现TC4钛合金抗砂尘冲蚀性能的提高。 展开更多
关键词 TC4钛合金 抗砂尘冲蚀 DLC涂层 TIN涂层 质量损失
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WC基硬质合金CVD涂层的组织与性能 被引量:12
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作者 高见 李建平 +3 位作者 马文存 沈保罗 高升吉 易勇 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期331-333,共3页
利用X射线衍射研究了CP3型硬质合金涂覆 5层 (TiC TiNC TiC TiCN TiN)硬质层的组织 ,用扫描电镜观察了涂层的断口形貌 ,用划痕法测定了涂层与基体的结合力 ,用三点弯曲方法测定了涂覆前后硬质合金的抗弯强度 ,并用Weibull统计方法对其... 利用X射线衍射研究了CP3型硬质合金涂覆 5层 (TiC TiNC TiC TiCN TiN)硬质层的组织 ,用扫描电镜观察了涂层的断口形貌 ,用划痕法测定了涂层与基体的结合力 ,用三点弯曲方法测定了涂覆前后硬质合金的抗弯强度 ,并用Weibull统计方法对其进行了分析。结果表明 :涂层组织由TiC ,TiC0 .2 N0 .8和TiN组成 ,涂层中无发达的柱状晶 ,涂层与基体结合良好 ,涂覆后硬质合金的抗弯强度有所下降 。 展开更多
关键词 硬质合金 CVD 结构 抗弯强度 分散性 碳化钨 刀具
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La_2(Zr0.7Ce0.3)_2O_7——新型高温热障涂层 被引量:18
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作者 牟仁德 许振华 +2 位作者 贺世美 何利民 曹学强 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期67-71,78,共6页
采用电子束物理气相沉积技术(EB-PVD)制备了新型La2(Zr0.7Ce0.3)2O7(LZ7C3)热障涂层。研究了涂层的组分、显微结构、表面和横截面形貌以及恒温氧化行为。结果表明:涂层中La2O3/ZrO2/CeO2的相对含量偏离了化学计量比,但X射线衍射(XRD)相... 采用电子束物理气相沉积技术(EB-PVD)制备了新型La2(Zr0.7Ce0.3)2O7(LZ7C3)热障涂层。研究了涂层的组分、显微结构、表面和横截面形貌以及恒温氧化行为。结果表明:涂层中La2O3/ZrO2/CeO2的相对含量偏离了化学计量比,但X射线衍射(XRD)相结构与靶材非常相似。通过CeO2掺杂后,LZ7C3体材料的热膨胀系数比La2Zr2O7(LZ)大;在1100℃恒温氧化890h的条件下,LZ7C3涂层的抗氧化增重性能明显优于传统的Y2O3部分稳定化的ZrO2(8YSZ)涂层。此外,热膨胀不匹配、黏结层氧化和陶瓷涂层内部微观裂纹的出现可能是导致LZ7C3涂层恒温氧化失效的主要原因。 展开更多
关键词 热障涂层 EB-PVD 等温氧化 La2(Zr0.7Ce0.3)2O7
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Ti-C→DLC梯度复合膜及其摩擦性能 被引量:10
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作者 孙明仁 夏立芳 +3 位作者 孙跃 马欣新 李光 金小欧 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1999年第1期17-21,共5页
在GCr15轴承钢基体上制备了Ti-C→DLC梯度复合膜.对其深度成分分布、化学结构及其在试验室环境下对GCr15商品钢球的摩擦性能进行了研究.结果表明,在轴承钢基体与DLC膜之间形成了Ti,C成分呈梯度变化的Ti-C过渡层,C和对以TiC态和... 在GCr15轴承钢基体上制备了Ti-C→DLC梯度复合膜.对其深度成分分布、化学结构及其在试验室环境下对GCr15商品钢球的摩擦性能进行了研究.结果表明,在轴承钢基体与DLC膜之间形成了Ti,C成分呈梯度变化的Ti-C过渡层,C和对以TiC态和游离态两种化学状态存在.Ti—C梯度过渡层对摩擦承载能力起着关键性的影响,Ti-C→DLC梯度复合膜具有高的摩擦持久寿命和稳定的低摩擦系数,其摩擦系数约为0.16左右. 展开更多
关键词 梯度复合膜 Ti-C过渡层 DLC膜 摩擦性能 类金刚石膜 离子注入 金属材料 等离子体注入
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电弧离子镀制备TiSiN纳米复合涂层 被引量:14
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作者 田灿鑫 周小东 +2 位作者 周思华 杨兵 付德君 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期15-19,37,共6页
目的在SiH4气氛下制备Si掺杂的TiSiN纳米复合涂层,为SiH4用于工业化TiSiN涂层生产提供依据。方法采用电弧离子镀技术,在SiH4气氛下,于单晶硅和硬质合金衬底上制备Si掺杂的TiSiN纳米复合涂层,研究SiH4流量对TiSiN涂层化学组分、微观结构... 目的在SiH4气氛下制备Si掺杂的TiSiN纳米复合涂层,为SiH4用于工业化TiSiN涂层生产提供依据。方法采用电弧离子镀技术,在SiH4气氛下,于单晶硅和硬质合金衬底上制备Si掺杂的TiSiN纳米复合涂层,研究SiH4流量对TiSiN涂层化学组分、微观结构、硬度和耐磨性能的影响。结果 SiH4流量对TiSiN纳米复合涂层的微观结构、硬度及摩擦系数的影响明显。随着SiH4流量的增加,TiSiN涂层由柱状晶生长的晶体结构逐渐转变为纳米晶镶嵌于非晶基体的复合结构。Si在涂层中以Si3N4非晶相存在,随着涂层中Si含量逐渐增加,TiN晶粒尺寸逐渐减小,Si3N4起到细化晶粒的作用。在42 m L/min的SiH4流量下,涂层硬度高达4100HV0.025。在对磨材料为硬质合金的条件下,TiSiN涂层摩擦系数小于0.6。结论 SiH4气氛下可以制备出Ti N纳米晶镶嵌于Si3N4非晶相结构的TiSiN纳米复合涂层,涂层的显微硬度较高。SiH4可以作为Si源用于TiSiN纳米复合涂层的工业化生产。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TiSiN纳米复合涂层 SiH4流量 力学性能 硬度 摩擦系数
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热、力耦合作用下热障涂层的失效机制 被引量:19
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作者 徐惠彬 宫声凯 +1 位作者 陈立强 张春霞 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期919-924,共6页
针对热障涂层服役环境中热物理化学环境与机械载荷耦合作用的特点 ,采用交流阻抗谱法与声发射法对热障涂层在恒定外载荷 (高温蠕变 )以及交变载荷 (高温低周疲劳 )作用下的失效过程进行了考察分析 ,研究发现 ,交流阻抗谱中低频段阻抗值... 针对热障涂层服役环境中热物理化学环境与机械载荷耦合作用的特点 ,采用交流阻抗谱法与声发射法对热障涂层在恒定外载荷 (高温蠕变 )以及交变载荷 (高温低周疲劳 )作用下的失效过程进行了考察分析 ,研究发现 ,交流阻抗谱中低频段阻抗值的变化可以有效地反映热障涂层热氧化层内横向裂纹的萌生及扩展 ;有无外机械载荷作用下热障涂层的热循环失效的模式截然不同 ,在高温蠕变条件下 ,热障涂层的裂纹并不产生在热氧化层内 ,而是产生在热氧化层与柱状晶之间的等轴晶区 ;而在高温低周疲劳条件下裂纹是在粘结层与高温合金基体的扩散层处 . 展开更多
关键词 热障涂层 失效分析 服役环境 交流阻抗 声发射
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脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响 被引量:12
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作者 魏永强 张艳霞 +2 位作者 文振华 蒋志强 冯宪章 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,39,共7页
目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律... 目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律。结果 TiN/TiAlN多层薄膜表面出现了电弧离子镀制备薄膜的典型生长形貌,随着脉冲偏压占空比的增加,薄膜表面的大颗粒数目明显减少。此外,脉冲偏压占空比的增加还引起多层薄膜中Al/Ti原子比的降低。结论 TiN/TiAlN多层薄膜主要以(111)晶面择优取向生长,此外还含有(311),(222)和(200)晶相结构。5种多层薄膜的纳米硬度均在33GPa以上,当脉冲偏压占空比为20%时,可实现超硬薄膜的制备。 展开更多
关键词 TIN TIALN 电弧离子镀 纳米硬度 微观结构 脉冲偏压占空比
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2Cr13钢的全方位离子注入与离子束增强沉积复合表面强化处理 被引量:8
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作者 刘洪喜 汤宝寅 +3 位作者 王浪平 王小峰 王宇航 于永澔 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2005年第2期32-37,共6页
对2Cr13不锈钢表面进行了等离子体浸没离子注入(PIII)与离子束增强沉积(IBED)复合强化处理.对强化后的试样进行了俄歇电子能谱(AES)、X光电子能谱(XPS)分析及显微硬度、摩擦磨损和耐腐蚀性能测试.结果表明,处理后的试样表面层中含有强化... 对2Cr13不锈钢表面进行了等离子体浸没离子注入(PIII)与离子束增强沉积(IBED)复合强化处理.对强化后的试样进行了俄歇电子能谱(AES)、X光电子能谱(XPS)分析及显微硬度、摩擦磨损和耐腐蚀性能测试.结果表明,处理后的试样表面层中含有强化相TiN和CrN;与基体相比,被处理试样的显微硬度显著增大,最大增幅达80.4%;摩擦系数降至0.2~0.3,磨痕宽度最大减少了近4倍;腐蚀电位最大提高了5倍,腐蚀电流密度减少了26倍.磨损中粘着现象大大减轻,耐磨耐蚀性能得到了显著改善. 展开更多
关键词 全方位离子注入 表面强化 显微硬度 等离子体浸没离子注入 耐磨耐蚀性 强化相 试样 耐腐蚀性能 基体 X光电子能谱
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