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题名可调整光程的激光测长机
被引量：1
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作者
黄雷
马宏
窦艳红
马钟焕
杨璐
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机构
长春理工大学光电工程学院
吉林省计量科学研究院几何量室
吉林东光精密机械厂
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第8期2192-2196,共5页
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基金
国家863计划(2007AA701203)
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文摘
为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机。采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,提高了测量准确度。并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析。实验结果表明,该激光测长机的测量准确度达到了±(0.5μm+1.5×10-6L),测量重复性为0.2μm。满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求。
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关键词
计量学
可调整光程
激光测长机
阿贝原则
直接测量
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Keywords
metrology
adjustable optical path
laser measuring machine
Abbe principle
direct measurement
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名自适应系统在单频激光干涉仪上的应用研究
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作者
黄雷
马宏
马钟焕
尹子
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机构
长春理工大学
吉林省计量科学研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012年第5期395-399,共5页
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基金
吉林省质量技术监督局立项项目
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文摘
通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析，研制一种自适应系统。该系统采用了四阶累积量计算法、信号滤波和信号直流分量提取算法。实验结果表明，可有效处理噪声信号，提取信号直流分量，从而提高直流分量跟踪精度。将该系统安装在单频激光于涉仪上，在非实验室环境条件下其线性测长准确度可达0．9×10-6L，测量重复性为0．09μm。
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关键词
计量学
自适应
单频激光干涉仪
直流分量
等倾干涉条纹能量
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Keywords
Metrology
Self-adaptation
Single-Frequency laser
Direct current component
Equal inclination fringe
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名单频激光干涉仪非线性误差优化方法研究
- 3
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作者
黄雷
马宏
马钟焕
杨璐
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机构
长春理工大学光电工程学院
吉林省计量科学研究院
吉林东光精密机械厂
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013年第2期122-127,共6页
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基金
国家863高技术研究发展计划资助项目（2007AA701203）
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文摘
为减小非线性误差对单频激光干涉仪测量精度及稳定性的影响，分析了引起其非线性误差的各种因素。利用琼斯矩阵推导出该系统光学参量的数学表达式。采用常规的优化调校方法提高系统精度会带来其它参数性能降低。提出改善单频激光干涉仪性能的最优控制优化调校方法。实验结果表明，采用该调校方法，使单频激光干涉仪信号的正交性、干涉条纹对比度和灵敏度均得到了一定程度的优化，干涉条纹对比度vimax,o可达到0．97，并且两路信号对1／8波片转角的4倍周期也变为2倍周期。
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关键词
计量学
单频激光干涉仪
非线性误差
最优控制优化调校
干涉条纹对比度
灵敏度
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Keywords
Metrology
Single frequency laser interferometer
Nonlinearity error
Optimal control adjustment
Interference fringe contrast
System sensitivity
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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