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外磁场作用下的射频等离子体鞘层 被引量:4
1
作者 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期125-128,共4页
采用流体近似和迁移-扩散近似分别研究了外磁场作用下射频等离子体的离子和电子动力学.特别指出了外磁场对鞘层中离子通量和能量分布的支配作用.
关键词 磁场 等离子体 鞘层 射频等离子体
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低温等离子体物理进展 被引量:2
2
作者 马腾才 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 1990年第3期373-378,共6页
概述了低温等离子体物理研究现状、发展及其应用。
关键词 低温 等离子体 等离子体物理
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电容耦合分区放电等离子体的研究
3
作者 马腾才 张禹涛 +3 位作者 任春生 齐冰 王达望 王坤 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期129-132,共4页
介绍了一种新的大气压下空气中等离子体产生方法———电容耦合分区放电。该方法综合了电晕放电和介质阻挡放电的优点,在大气压下可以生成大规模、高密度、均匀稳定的非平衡等离子体。其放电功率可达常规介质阻挡放电100倍以上,且可根... 介绍了一种新的大气压下空气中等离子体产生方法———电容耦合分区放电。该方法综合了电晕放电和介质阻挡放电的优点,在大气压下可以生成大规模、高密度、均匀稳定的非平衡等离子体。其放电功率可达常规介质阻挡放电100倍以上,且可根据需要灵活调整。 展开更多
关键词 电容耦合 放电等离子体 分区 介质阻挡放电 非平衡等离子体 产生方法 电晕放电 放电功率 高密度 压下 大气
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双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术 被引量:12
4
作者 徐军 邓新绿 +2 位作者 张家良 陆文棋 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期275-278,共4页
因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的... 因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的微波 -ECR等离子体源进行了改造 .研究了双放电腔微波 -ECR等离子体源增强磁控溅射的放电特性 ,并用该方法制备了氮化碳膜 .结果表明 :该方法是一种有效的制备化合物薄膜的技术 ;用该方法制备的氮化碳膜 。 展开更多
关键词 磁控溅射 放电特性 氮化碳膜 等离子体源 薄膜制备 沉积
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介质阻挡放电聚乙烯表面能改性 被引量:7
5
作者 任春生 于红 +2 位作者 张家良 王德真 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期31-34,共4页
介质阻挡放电(DBD)处理聚合物表面可有效提高其亲水性和结合强度.利用不同工作气体(氮气和空气)的DBD对聚乙烯(PE)表面能进行改性.N2-DBD处理PE30min后其表面水接触角达到19.3°,而空气-DBD处理后最小只能达到28.7°.红外吸收... 介质阻挡放电(DBD)处理聚合物表面可有效提高其亲水性和结合强度.利用不同工作气体(氮气和空气)的DBD对聚乙烯(PE)表面能进行改性.N2-DBD处理PE30min后其表面水接触角达到19.3°,而空气-DBD处理后最小只能达到28.7°.红外吸收光谱与原子力显微镜分析其表面发现出现新的化学基团,且形貌变得相对粗糙.随处理时间的增加,经N2-DBD和空气-DBD处理的PE无论从表面成分还是表面形貌看,前者都比后者变化程度更大. 展开更多
关键词 介质阻挡放电 聚乙烯 表面能 聚合物 氮气 空气 改性
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水磁综合约束等离子弧加工陶瓷方法研究 被引量:6
6
作者 徐文骥 方建成 +2 位作者 卢毅申 周锦进 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期57-60,共4页
为减小陶瓷板件切口宽度,提高切口质量,采用水箍和磁场对附加阳极等离子弧进行综合二次约束.通过陶瓷板加工试验研究,探讨了水磁综合约束等离子弧的特性、加工质量和加工速度的一般规律.研究表明:该约束方法兼有水约束和磁约束的优点,... 为减小陶瓷板件切口宽度,提高切口质量,采用水箍和磁场对附加阳极等离子弧进行综合二次约束.通过陶瓷板加工试验研究,探讨了水磁综合约束等离子弧的特性、加工质量和加工速度的一般规律.研究表明:该约束方法兼有水约束和磁约束的优点,其约束效果及相应的加工效果都优于单一水约束或磁约束的;利用水磁综合约束也有助于降低喷嘴热负荷,提高喷嘴寿命与加工稳定性;采用直径3mm的喷嘴对6mm厚的Al2O3陶瓷板进行切割,可获得宽度4.6mm的光滑切口,无渣切速可达0.9~1.2m/min. 展开更多
关键词 水磁综合约束等离子弧 等离子体加工 工程陶瓷 加工方法 陶瓷加工 等离子体切割
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用发射光谱法测量氮气直流辉光放电的转动温度 被引量:7
7
作者 刘莉莹 张家良 +1 位作者 马腾才 邓新绿 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1013-1018,共6页
本文报道了氮气气压分别为 10和 2 0Pa时 ,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2 放电中形成的N+2 B2 Σ+u →X2 Σ+g 跃迁的Δν=ν′-ν″ =0谱带系中ν′=0→ν″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极... 本文报道了氮气气压分别为 10和 2 0Pa时 ,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2 放电中形成的N+2 B2 Σ+u →X2 Σ+g 跃迁的Δν=ν′-ν″ =0谱带系中ν′=0→ν″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极鞘层区、正柱区以及阳极辉光区中分别选择一点进行了转动分辨的发射光谱的测量。利用自己编写的光谱拟合程序 ,获得了相应的实验条件下N+ 2 的转动温度 ,给出了转动温度随放电电压的变化趋势 ,其结果可以用直流放电的帕邢定律得到很好的解释。在 10和 2 0Pa气压下 ,放电的阴极鞘层区、正柱区、阳极辉光区中的转动温度都随放电电压呈现出了不同的变化趋势 ,甚至是完全相反的变化趋势。我们认为这是由于气压不同时 ,放电状态不同所致 :气压为 10Pa时的放电是正常辉光放电 ,而气压为时 2 0Pa的放电为反常辉光放电。 展开更多
关键词 发射光谱法 测量 氮气 直流辉光放电 转动温度 等离子体 温度测量
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强流脉冲电子束热障涂层表面改性温度场数值模拟 被引量:9
8
作者 宋振飞 秦颖 +4 位作者 郝胜智 武洪臣 吴平生 董闯 马腾才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期522-525,共4页
采用了一维温度场模型,对强流(10 A.cm-2~40 A.cm-2)、脉冲时间(10μs^100μs)、电子束辐照热障涂层过程中的温度场进行了数值模拟。模拟结果显示:靶材表层迅速熔化(甚至汽化),熔化层深度达到2.34μm(汽化层深度0.12μm);温度随时间变... 采用了一维温度场模型,对强流(10 A.cm-2~40 A.cm-2)、脉冲时间(10μs^100μs)、电子束辐照热障涂层过程中的温度场进行了数值模拟。模拟结果显示:靶材表层迅速熔化(甚至汽化),熔化层深度达到2.34μm(汽化层深度0.12μm);温度随时间变化率高达107K.s-1~108K.s-1,温度梯度大约109K.m-1;模拟结果与实验结果基本吻合。实验结果表明:经强流脉冲电子束轰击后,热障涂层性能得到改善,有利于热障涂层在工业中的应用。 展开更多
关键词 强流脉冲电子束(HcPEB) 热障涂层(TBCs) 数值模拟 晶粒细化
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利用LIF法诊断微波等离子体鞘层 被引量:5
9
作者 邓新绿 吴桂林 +4 位作者 张家良 刘延伟 陆文琪 刘峰 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期160-165,共6页
简要地阐明了利用激光诱导荧光法(LIF)诊断等离子体特性的原理,分别对二能级情况(共振荧光)与三能级情况(非共振荧光)采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导.在此基础上。
关键词 诊断 LIF法 能量分布 微波等离子体 鞘层
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梯度磁场对芝麻种子生物效应的影响 被引量:7
10
作者 尹美强 张家良 +2 位作者 马腾才 王旭珍 林青松 《中国生态农业学报》 CAS CSCD 2006年第1期51-53,共3页
应用电子顺磁共振(ESR)波谱仪对磁场处理过的芝麻种子连续14d跟踪测量,结果表明磁场可促进芝麻种子内部自由基浓度增加,且其自曲基浓度随贮藏时间的延长明显降低,14d后其自由基浓度降低30%以上。用最佳磁场强度分别对芝麻种子进行... 应用电子顺磁共振(ESR)波谱仪对磁场处理过的芝麻种子连续14d跟踪测量,结果表明磁场可促进芝麻种子内部自由基浓度增加,且其自曲基浓度随贮藏时间的延长明显降低,14d后其自由基浓度降低30%以上。用最佳磁场强度分别对芝麻种子进行12min、24min、36min、48min和60min不同梯度处理,结果表明电流50A(磁场强度835G)的磁场处理芝麻种子36~48min生物效应最佳,能有效提高芝麻种子发芽率和发芽势,促进根系生长。 展开更多
关键词 磁场 电子顺磁共振 芝麻种子 自由基 生物效应
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离子注入形成FeSi_2埋层的电镜研究 被引量:6
11
作者 李晓娜 金星 +2 位作者 董闯 马腾才 张泽 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期234-237,共4页
利用MEVVA离子源将Fe离子注入到Si基体中会生成一层铁硅化物薄膜.利用电子显微镜,研究了这层铁硅化物的显微结构及其在随后的升温退火过程中发生的变化.研究结果表明,在离子注入剂量为1×1017/cm2的未退火样... 利用MEVVA离子源将Fe离子注入到Si基体中会生成一层铁硅化物薄膜.利用电子显微镜,研究了这层铁硅化物的显微结构及其在随后的升温退火过程中发生的变化.研究结果表明,在离子注入剂量为1×1017/cm2的未退火样品中,亚稳的γ-FeSi2相占大多数,同时有少量的由CsCl结构派生的缺陷相Fe1-XSi.在(100)取向的Si片上,这个硅化物层埋在硅基体中。 展开更多
关键词 离子注入 电导显微镜 半导体 埋层结构 硅化亚铁
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煤的水蒸气等离子体气化研究现状和前景 被引量:14
12
作者 邱介山 何孝军 马腾才 《煤炭转化》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期1-7,共7页
煤炭气化是实现煤炭洁净利用的一条有效途径 .在简要介绍常规煤炭气化技术之优缺点和等离子体技术之特征的基础上 ,评述了国内外煤炭等离子体气化技术的现状和进展 。
关键词 水蒸气等离子体 气化 合成气
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弧光等离子体与梯度磁场结合处理番茄种子的生物效应 被引量:12
13
作者 尹美强 马腾才 +1 位作者 黄明镜 马步洲 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期75-80,共6页
介绍了弧光放电等离子体与梯度磁场相结合来处理植物种子这一新兴的等离子体生物技术。给出了番茄种子(中蔬6号)经不同参数的磁化等离子体处理后的生物效应及种子的抗旱性对比。结果表明:种子中脯氨酸含量明显提高,说明磁化等离子体能... 介绍了弧光放电等离子体与梯度磁场相结合来处理植物种子这一新兴的等离子体生物技术。给出了番茄种子(中蔬6号)经不同参数的磁化等离子体处理后的生物效应及种子的抗旱性对比。结果表明:种子中脯氨酸含量明显提高,说明磁化等离子体能通过降低细胞渗透势来增加番茄抗旱性;SOD、POD活性、根系活力和ATP含量增加,表明磁化等离子体可以通过清除植物体内自由基和增强代谢来增加番茄对水分胁迫的抗性。 展开更多
关键词 磁化等离子体 番茄 抗旱性
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离子束辅助沉积制备TaN薄膜的X射线衍射分析 被引量:6
14
作者 梅显秀 张庆瑜 +2 位作者 马腾才 王煜明 滕凤恩 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期405-408,共4页
利用离子束辅助沉积技术制备TaN薄膜,并对其进行X射线衍射分析。掠入射的X射线衍射分析得出:离子束辅助沉积制备的TaN薄膜是面心立方结构,晶格常数a为0.4405nm。根据X射线衍射分析,用屈服强度表征的TaN薄膜的显微硬度为16~20GPa... 利用离子束辅助沉积技术制备TaN薄膜,并对其进行X射线衍射分析。掠入射的X射线衍射分析得出:离子束辅助沉积制备的TaN薄膜是面心立方结构,晶格常数a为0.4405nm。根据X射线衍射分析,用屈服强度表征的TaN薄膜的显微硬度为16~20GPa,与文献上报道的显微硬度值接近。离子束辅助沉积制备的TaN薄膜宏观内应力较小,且都为压应力。晶粒尺寸大约在10nm左右,随着注入离子能量的增加,薄膜晶粒尺寸有长大的趋势。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 氮化钽 薄膜 X射线衍射分析
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非晶碳氢薄膜结构及光学间隙 被引量:6
15
作者 刘东平 李芳 +1 位作者 俞世吉 马腾才 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2000年第2期58-61,共4页
利用完全抑制网络结构 (FCN)对氢化非晶碳 (α -C :H)膜组成进行模拟计算 ,得出形成质密α -C :H膜条件是H、SP2 C和SP3 C在其三元相图中应在一个三角形区域内 .大量实验数据表明 ,模拟结果与实验结果相当吻合 .在α -C :H中主要存在氢... 利用完全抑制网络结构 (FCN)对氢化非晶碳 (α -C :H)膜组成进行模拟计算 ,得出形成质密α -C :H膜条件是H、SP2 C和SP3 C在其三元相图中应在一个三角形区域内 .大量实验数据表明 ,模拟结果与实验结果相当吻合 .在α -C :H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构 ,它们相对含量在三角形区域内变化 .该理论模拟对薄膜光学间隙的实验分析给予了很好的解释 . 展开更多
关键词 氢化非晶碳膜 光学间隙 FCN 结构 DLC
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几种年轻煤在氮热等离子体中的热解 被引量:16
16
作者 邱介山 王小泉 +1 位作者 王谦 马腾才 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期586-591,共6页
研究了几种中国年轻煤在氮电弧热等离子体中的热解行为,考察了煤的基本性质、煤的粒度及加煤速率等条件对煤热解特性的影响.结果发现,煤在氮等离子体条件下热解所得气体产物中的主要成分是氢、乙炔、一氧化碳和丙炔腈,此外还有甲烷和乙... 研究了几种中国年轻煤在氮电弧热等离子体中的热解行为,考察了煤的基本性质、煤的粒度及加煤速率等条件对煤热解特性的影响.结果发现,煤在氮等离子体条件下热解所得气体产物中的主要成分是氢、乙炔、一氧化碳和丙炔腈,此外还有甲烷和乙烯等小分子烃.乙炔的收率随煤种的不同和操作条件的变化而波动.煤中的挥发分含量愈高、加煤速率愈低,乙炔收率则愈高.其中扎赉诺尔褐煤的乙炔收率最高可达22.3%(以煤中碳为基准);原料煤在氮等离子体中热解后,除部分芳香C—C键得以保留外,煤有机结构中的外围官能团全部消失,同时在热解半焦中有新的氮基官能团(如—C(?)N)引入. 展开更多
关键词 热解 氮等离子体
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低温等离子体催化甲烷转化的工艺研究进展 被引量:10
17
作者 王达望 马腾才 崔锦华 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1193-1200,共8页
介绍了低温等离子体催化甲烷转化的研究概况 ,从工艺方法。
关键词 低温等离子体 甲烷转化 天然气 反应器 反应机理
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强流脉冲离子束辐照对DZ4合金性能的影响 被引量:5
18
作者 孙文飞 梅显秀 +3 位作者 李晓娜 赵林 马腾才 雷明凯 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2082-2086,共5页
用含C^n+和H^+、加速电压250kV、脉冲宽度70ns、束流密度160A/cm^2的强流脉冲离子束辐照DZ4合金.辐照次数分别为2,5.10.15。实验结果表明;辐照后样品的表面出现了熔坑,多次脉冲辐照后样品的表面熔坑边缘模糊甚至消失。近表面... 用含C^n+和H^+、加速电压250kV、脉冲宽度70ns、束流密度160A/cm^2的强流脉冲离子束辐照DZ4合金.辐照次数分别为2,5.10.15。实验结果表明;辐照后样品的表面出现了熔坑,多次脉冲辐照后样品的表面熔坑边缘模糊甚至消失。近表面存在厚1~2μm的重熔层,晶粒较细,晶界模糊;熔坑周围富集Cr和Mo等元素;强流脉冲离子束辐照处理后DZ4合金的耐腐蚀性能明显提高,腐蚀速率下降,这是由于辐照减弱了由于晶界和晶粒本体的成分差异而引起的晶界腐蚀;同时离子束辐照后的DZ4合金在高温氧化时更容易形成一层连续的保护性氧化物,其主要成分是致密的Al2O3,使得DZ4合金的耐高温氧化性能也有所改善。 展开更多
关键词 强流脉冲离子束 DZ4镍基高温合金 耐腐蚀性能 耐高温氧化性能 辐照
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激光束空间模式可调性与变换研究 被引量:5
19
作者 王续跃 贲大磊 +2 位作者 马腾才 夏元良 郭东明 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期444-446,共3页
利用自适应光学技术 ,对激光进行模式变换 ,可将高斯光束转换为均匀的矩形光斑 ,通过采用变形反射镜技术来具体实现对光束空间模式的变换 .研究了激光加工过程能量空间分布的实时任意调控原理与方法 ,试验分析了可调光束对材料的作用规... 利用自适应光学技术 ,对激光进行模式变换 ,可将高斯光束转换为均匀的矩形光斑 ,通过采用变形反射镜技术来具体实现对光束空间模式的变换 .研究了激光加工过程能量空间分布的实时任意调控原理与方法 ,试验分析了可调光束对材料的作用规律 ,从而实现对激光束的刃磨 . 展开更多
关键词 激光加工 模式变换 激光束空间模式 可调性
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直流辉光和磁控增强放电等离子体的空间分辨发射光谱技术 被引量:3
20
作者 于红 张家良 +2 位作者 任春生 王友年 马腾才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期255-259,共5页
光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近... 光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近的增强放电和直流辉光放电等离子体空间分辨诊断的发射光谱装置。其特点是光学收集系统的位置可以水平精细移动 ,因而可以对放电区域进行空间分辨发射光谱测量。作者利用这套装置对氩气的ECR微波等离子体和直流辉光放电等离子体进行诊断。在ECR微波等离子体的下游区内氩离子谱线的发射强度很弱 ,主要是高激发态原子的辐射。在磁共振增强放电区 ,离子谱线强度有所增加但仍比原子谱线弱 ,类似于直流辉光放电正柱区的光发射特性。 展开更多
关键词 发射光谱 直流辉光放电 激发态原子 激发温度 类似 行空间 微波等离子体 空间分辨 光发射 电子回旋共振
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