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高精度长光栅动态检测技术被引量：1: 1; 作者杨世雄顾庆祥 +1 位作者高潮陈骥《传感技术学报》 CAS CSCD 1993年第1期19-23,共5页; 本文根据双频激光干涉测量原理,提出了一种实现高精度长光栅动态测量的新方法,介绍了新颖的激光信号处理电路、计算机接口电路和测试软件.系统所能达到的测量指标为:最大测量长度1m,最小测量间隔为0.1mm,分辨率为0.01μm,测量速度为1m/5... 展开更多; 关键词双频激光动态测量光栅尺; 在线阅读下载PDF 职称材料

高精度光栅刻划中的综合误差修正技术被引量：1: 2; 作者陈骥杨世雄 +1 位作者顾庆祥余红《重庆大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1994年第3期7-12,共6页; 在用线性系统和随机过程理论分析光刻机误差传递特性的基础上，采用时间序列分析法建立误差的数学模型，提出了综合误差修正的新方法，介绍了微机综合误差实时修正系统的电路结构与工作原理。其主要特点是，不仅能修正系统误差，而且能... 展开更多; 关键词光栅刻划综合误差修正; 在线阅读下载PDF 职称材料

长光栅位移传感器及测量系统: 3; 作者杨世雄顾庆祥 +2 位作者余红陈骥江涛《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1992年第5期135-136,共2页; 0 前言精密计量长光栅为核心的光栅精密位移传感器是高技术领域中迅速发展的新兴技术。它涉及光学、精密机械、微电子技术、感光化学等多门学科领域中有关理论和应用研究的综合技术。重庆大学自60年代开始研究长光栅技术以来,于1976... 展开更多; 关键词长光栅位移传感器测量系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

动态测试数据采集系统被引量：1: 4; 作者黄民双杨世雄顾庆祥《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第1期17-21,共5页; 给出了光栅动态数据采集系统硬、软件,分析了以微机芯片Inter 8253定时/计数器构成的采集系统,并举出了应用实例.该系统可直接用于以脉冲形式输出的动态数据的采集.; 关键词数据采集动态测试光栅; 全文增补中

高精度长光栅动态检测的新方法被引量：2: 5; 作者高潮杨世雄顾庆祥《重庆大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1995年第3期101-105,共5页; 根据双频激光干涉测量原理，针对进口设备ＨＰ５５２８激光干涉仪不能进行动态检测的缺点。提出了一种改进ＨＰ５５２８激光干涉仪并实现高精度长光栅动态检测的新方法。论述了长光栅长度误差的检测和长光栅莫尔条纹信号质量的检测。其... 展开更多; 关键词双频激光干涉测量长光栅动态检测激光干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高精度长光栅动态检测技术被引量：1: 1; 作者杨世雄顾庆祥高潮陈骥; 机构重庆大学精密仪器系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1993年第1期19-23,共5页; 文摘本文根据双频激光干涉测量原理,提出了一种实现高精度长光栅动态测量的新方法,介绍了新颖的激光信号处理电路、计算机接口电路和测试软件.系统所能达到的测量指标为:最大测量长度1m,最小测量间隔为0.1mm,分辨率为0.01μm,测量速度为1m/5min,测量精度为±0.25μm(全长).本系统不仅用于计量长光栅动态检测,还可用于感应同步器、磁栅、线纹尺等长度计量元件的动态检测.; 关键词双频激光动态测量光栅尺; Keywords double-frequency laser dynamic measurement computer interface.; 分类号 TH741.6 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高精度光栅刻划中的综合误差修正技术被引量：1: 2; 作者陈骥杨世雄顾庆祥余红; 机构重庆大学光电精密仪器系; 出处《重庆大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1994年第3期7-12,共6页; 基金国家自然科学基金; 文摘在用线性系统和随机过程理论分析光刻机误差传递特性的基础上，采用时间序列分析法建立误差的数学模型，提出了综合误差修正的新方法，介绍了微机综合误差实时修正系统的电路结构与工作原理。其主要特点是，不仅能修正系统误差，而且能够根据对随机误差的预报来修正相关的动态误差。实验结果表明，系统修正精度达到±０．１μｍ。; 关键词光栅刻划综合误差修正; Keywords grating engrave composition error correction; 分类号 TH741.6 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名长光栅位移传感器及测量系统: 3; 作者杨世雄顾庆祥余红陈骥江涛; 机构重庆大学光电精密机械研究所; 出处《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1992年第5期135-136,共2页; 文摘 0 前言精密计量长光栅为核心的光栅精密位移传感器是高技术领域中迅速发展的新兴技术。它涉及光学、精密机械、微电子技术、感光化学等多门学科领域中有关理论和应用研究的综合技术。重庆大学自60年代开始研究长光栅技术以来,于1976年、1981年、1987年多次取得光栅技术的科技成果,已设计研制成功了具有国内外先进水平的制造高精度零位长光栅的成套设备。我校首创动态同步刻划零位光栅的工艺方法。; 关键词长光栅位移传感器测量系统; 分类号 TH741.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态测试数据采集系统被引量：1: 4; 作者黄民双杨世雄顾庆祥; 机构重庆大学光机系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第1期17-21,共5页; 文摘给出了光栅动态数据采集系统硬、软件,分析了以微机芯片Inter 8253定时/计数器构成的采集系统,并举出了应用实例.该系统可直接用于以脉冲形式输出的动态数据的采集.; 关键词数据采集动态测试光栅; Keywords data-sampling dynamic testing interface; 分类号 TP274.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 全文增补中

题名高精度长光栅动态检测的新方法被引量：2: 5; 作者高潮杨世雄顾庆祥; 机构国家教委光电技术及系统开放实验室; 出处《重庆大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1995年第3期101-105,共5页; 文摘根据双频激光干涉测量原理，针对进口设备ＨＰ５５２８激光干涉仪不能进行动态检测的缺点。提出了一种改进ＨＰ５５２８激光干涉仪并实现高精度长光栅动态检测的新方法。论述了长光栅长度误差的检测和长光栅莫尔条纹信号质量的检测。其中包括激光信息处理、信号采集、计算机接口和算法。该方法不仅可以检测光栅尺的精度，还可以通过信号分析了解光栅尺制造过程中的误差源对光栅尺制造精度的影响，也可以实现对磁栅、线纹尺等长度计量元件进行高精度动态测量。; 关键词双频激光干涉测量长光栅动态检测激光干涉仪; Keywords double frequency laser interference measurement linear grating; 分类号 TH741.6 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	高精度长光栅动态检测技术	杨世雄顾庆祥高潮陈骥	《传感技术学报》 CAS CSCD	1993	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	高精度光栅刻划中的综合误差修正技术	陈骥杨世雄顾庆祥余红	《重庆大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD	1994	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	长光栅位移传感器及测量系统	杨世雄顾庆祥余红陈骥江涛	《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD	1992	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	动态测试数据采集系统	黄民双杨世雄顾庆祥	《传感技术学报》 CAS CSCD	1995	1	全文增补中
5	高精度长光栅动态检测的新方法	高潮杨世雄顾庆祥	《重庆大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD	1995	2	在线阅读下载PDF 职称材料