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题名用于耳内体温监测的柔性温度传感器
被引量：1
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作者
项晓禹
孙鹏
刘伟涛
李浩然
张弛
刘军山
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机构
大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第9期1429-1435,共7页
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基金
国家重点研发计划项目(2020YFB2008502)
国家自然科学基金(51875083)。
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文摘
为了在使用入耳式耳机进行日常活动时,可以通过监测耳内温度来评估健康状况,研制了一种柔性铂薄膜温度传感器。传感器的感温单元设计为蛇形结构,可以共形贴附于曲面。制备过程中,采用磁控溅射技术在已图形化的柔性基板表面沉积铂,省去光刻、显影等工艺,直接完成对铂薄膜的图形化。在25~45℃的温度范围内,传感器的电阻温度系数为0.0028/℃,分辨率为0.1℃,能够满足体温测量对传感器性能的要求。将传感器集成至耳机耳塞上,并通过标定实验得到电阻-温度关系公式。研发了基于传感器的无线入耳式体温监测系统,结合手机应用程序(APP)进行实际体温测量。在36.3~36.7℃的温度范围内,对同一位使用者测温的平均误差为±0.058℃,表明该传感器能够准确获取耳内体温。
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关键词
温度传感器
柔性传感器
微机电系统(MEMS)传感器
可穿戴设备
体温监测
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Keywords
temperature sensor
flexible sensor
micro-electromechanical system(MEMS)sensor
wearable device
body temperature monitoring
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名面向可穿戴设备的高可靠性柔性混合电路
被引量：1
- 2
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作者
李浩然
孙鹏
刘伟涛
项晓禹
张弛
刘军山
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机构
大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第8期1295-1300,共6页
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基金
国家自然科学基金(51875083)
国家重点研发计划项目(2020YFB2008502)
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文摘
柔性混合电路(FHC)作为一种兼具信号处理能力和柔韧性的新型电路,广泛应用于监测人体生理信号的可穿戴设备,然而刚性电子芯片和柔性印刷电路的连接点处应力集中的问题严重降低了其电气可靠性。利用底部填充对柔性混合电路的连接点进行结构补强,系统性地研究了底部填充对柔性混合电路可靠性的影响。在电气测试过程中发现,与未进行补强的电路相比,底部填充补强的柔性混合电路不仅可承受的弯曲曲率半径减小了74.80%,而且在1000次循环弯曲下连接点的接触电阻最大变化仅0.89%。利用该技术,制作出用于无线监测温度和相对湿度信号的智能口罩。该口罩在折叠和展开过程中依然可以无线传输信号,且测得相对温度变化率仅为1.65%,相对湿度变化率仅为3.12%,证明了底部填充补强的柔性混合电路可以应用到可穿戴设备,在弯曲形变下依然可以保持信号的稳定性。
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关键词
柔性混合电路(FHC)
可穿戴设备
智能口罩
底部填充
人体生理信号
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Keywords
flexible hybrid circuit(FHC)
wearable device
smart mask
underfill
human physiological signal
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分类号
TN406
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN451
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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