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合金条件对Al/n^+-Ge欧姆接触的影响: 1; 作者林旺阮育娇 +3 位作者陈松岩李成赖虹凯汤丁亮《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期530-535,共6页; Ge比Si具有更高的电子和空穴迁移率,且Ge材料可以应用于1.3～1.5μm近红外波段,因此Ge成为制备微电子和光电子器件的主要材料。然而由于Ge的费密能级钉扎效应以及难以获得高浓度的磷(P)原位掺杂,使得n-Ge的欧姆接触成为一个难题。采用P... 展开更多; 关键词 AL n+-Ge接触离子注入退火圆形传输线模型(CTLM) 接触电阻率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究: 2; 作者郑鹏陈锃琰 +4 位作者唐之晨阮育娇王若宇赵岩刘暾东《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期1762-1771,共10页; 半导体晶圆校准器旋转轴的回转误差补偿是提高晶圆校准器定位精度的关键技术,为此提出一种基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿方法,可有效避免在装置中引入多传感器等辅助设备带来的新误差和多次标定问题。该方法采用集合平均... 展开更多; 关键词几何量计量晶圆校准器误差补偿回转误差数理统计法集合平均小波阈值去噪; 在线阅读下载PDF 职称材料

罗氏线圈灵敏度校准方法被引量：2: 3; 作者陈建志阮育娇 +1 位作者胡晓英崔潼《上海计量测试》 2022年第6期4-7,共4页; 介绍了一种罗氏线圈灵敏度的校准装置及校准方法,采用高稳定大功率交变电流源,校准时通过电流比例标准和标准电阻I/U转换方式确定标准一次电流值,从而确保罗氏线圈灵敏度校准的有效性及准确性。分析罗氏线圈灵敏度校准过程的影响因素并... 展开更多; 关键词罗氏线圈灵敏度电流比例标准校准方法不确定度分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

直流大电流源校准方法探讨被引量：1: 4; 作者陈建志胡晓英 +1 位作者阮育娇崔潼《市场监管与质量技术研究》 2023年第3期20-22,46,共4页; 随着直流输配电技术的发展,直流大电流源已广泛应用在各种测试场合,其量值准确可能影响设备的使用可靠性,从而影响大电流试验的有效性。文章介绍了几种直流大电流源的校准方法及校准过程。通过实例试验,计算分析试验结果数据,并对校准... 展开更多; 关键词直流大电流校准方法光纤电流传感器不确定度评定; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名合金条件对Al/n^+-Ge欧姆接触的影响: 1; 作者林旺阮育娇陈松岩李成赖虹凯汤丁亮; 机构厦门大学物理系半导体光子学研究中心厦门大学化学化工学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期530-535,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(61176050 61036003 +5 种基金 61176092 60837001) 2013CB632103) 中央高校基本科研基金资助项目(2010121056); 文摘 Ge比Si具有更高的电子和空穴迁移率,且Ge材料可以应用于1.3～1.5μm近红外波段,因此Ge成为制备微电子和光电子器件的主要材料。然而由于Ge的费密能级钉扎效应以及难以获得高浓度的磷(P)原位掺杂,使得n-Ge的欧姆接触成为一个难题。采用P+离子注入获得高掺杂浓度的n-Ge材料,掺杂浓度为1.5×1019cm-3;依据圆形传输线模型(CTLM)制备了一系列Al/n+-Ge样品,研究了不同退火温度和退火方式对其接触特性的影响。实验结果表明,Al/n+-Ge样品通过400℃快速热退火(RTA)30 s表现出欧姆接触特性,并且接触电阻率ρc最低,为1.3×10-5Ω·cm2。; 关键词 AL n+-Ge接触离子注入退火圆形传输线模型(CTLM) 接触电阻率; Keywords A1/n -Ge contact ion implantation annealing circular transmission line model（CTLM） contact resistivity; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究: 2; 作者郑鹏陈锃琰唐之晨阮育娇王若宇赵岩刘暾东; 机构厦门市计量检定测试院厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院国机中设新能源开发有限责任公司; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期1762-1771,共10页; 基金 2022年度国家市场监督管理总局科技计划(2022MK138)。; 文摘半导体晶圆校准器旋转轴的回转误差补偿是提高晶圆校准器定位精度的关键技术,为此提出一种基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿方法,可有效避免在装置中引入多传感器等辅助设备带来的新误差和多次标定问题。该方法采用集合平均和小波阈值去噪的双重滤波法降低采集信号的随机噪声,通过数理统计误差分离法精确分离高信噪比测量信号中混入的圆度误差;同时根据多步法计算准确的回转误差,利用得到的误差数据对传感器检测的晶圆圆周数据进行修正实现补偿。实验结果表明:晶圆校准器定位的校准偏差在0.02 mm左右,提高了校准精度,验证了方法的有效性。; 关键词几何量计量晶圆校准器误差补偿回转误差数理统计法集合平均小波阈值去噪; Keywords geometric measurement wafer calibrator error compensation rotation error mathematical statistics ensemble averaging wavelet threshold denoising; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名罗氏线圈灵敏度校准方法被引量：2: 3; 作者陈建志阮育娇胡晓英崔潼; 机构厦门市计量检定测试院; 出处《上海计量测试》 2022年第6期4-7,共4页; 基金厦门市市场监督管理局科技项目(XMSJ202206)。; 文摘介绍了一种罗氏线圈灵敏度的校准装置及校准方法,采用高稳定大功率交变电流源,校准时通过电流比例标准和标准电阻I/U转换方式确定标准一次电流值,从而确保罗氏线圈灵敏度校准的有效性及准确性。分析罗氏线圈灵敏度校准过程的影响因素并对测量结果进行了不确定度评定分析。; 关键词罗氏线圈灵敏度电流比例标准校准方法不确定度分析; Keywords roche coil sensitivity AC current ratio standard calibration method uncertainty analysis; 分类号 TM933.1 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名直流大电流源校准方法探讨被引量：1: 4; 作者陈建志胡晓英阮育娇崔潼; 机构厦门市计量检定测试院; 出处《市场监管与质量技术研究》 2023年第3期20-22,46,共4页; 基金厦门市市场监督管理局科技项目(XMSJ202206)。; 文摘随着直流输配电技术的发展,直流大电流源已广泛应用在各种测试场合,其量值准确可能影响设备的使用可靠性,从而影响大电流试验的有效性。文章介绍了几种直流大电流源的校准方法及校准过程。通过实例试验,计算分析试验结果数据,并对校准结果进行测量不确定度评定分析。; 关键词直流大电流校准方法光纤电流传感器不确定度评定; Keywords DC high current Calibration method Optical fiber current sensor Evaluation of uncertainty; 分类号 TM721.1 [电气工程—电力系统及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	合金条件对Al/n^+-Ge欧姆接触的影响	林旺阮育娇陈松岩李成赖虹凯汤丁亮	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究	郑鹏陈锃琰唐之晨阮育娇王若宇赵岩刘暾东	《计量学报》 CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	罗氏线圈灵敏度校准方法	陈建志阮育娇胡晓英崔潼	《上海计量测试》	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	直流大电流源校准方法探讨	陈建志胡晓英阮育娇崔潼	《市场监管与质量技术研究》	2023	1	在线阅读下载PDF 职称材料