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镍含量对CrTiSiN-Ni复合薄膜结构与性能的影响
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作者 赵荣幸 钱同林 +1 位作者 付永强 吴志威 《机械工程材料》 北大核心 2025年第7期37-44,共8页
使用非平衡磁控溅射法在YG10硬质合金基底上依次制备铬过渡层、CrN中间层和不同镍含量(0.5%,1.6%,5.6%,9.6%,14.4%,原子分数)的CrTiSiN-Ni复合薄膜,研究了镍含量对复合薄膜结构、力学性能和摩擦学性能的影响。结果表明:不同镍含量复合... 使用非平衡磁控溅射法在YG10硬质合金基底上依次制备铬过渡层、CrN中间层和不同镍含量(0.5%,1.6%,5.6%,9.6%,14.4%,原子分数)的CrTiSiN-Ni复合薄膜,研究了镍含量对复合薄膜结构、力学性能和摩擦学性能的影响。结果表明:不同镍含量复合薄膜中的结晶相均主要为面心立方结构CrN/TiN,镍部分固溶于基体相,超出固溶极限后以单质相存在;随着镍含量增加,复合薄膜的硬度、弹性模量和断裂韧度先增大后减小,镍原子分数在1.6%~5.6%时硬度达到最大(27.1 GPa),在5.6%时断裂韧度最大(3.56 MPa·m^(1/2));随着镍含量增加,CrTiSiN-Ni复合薄膜的平均摩擦因数增大,磨痕变宽变深,耐磨性能降低。 展开更多
关键词 CrTiSiN-Ni复合薄膜 显微组织 力学性能 韧性
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