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高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究
被引量：
1
1
作者
韩冰
马洪涛
+3 位作者
许洪刚
闫瑛
鞠德晗
赵纯玉
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期587-595,共9页
针对国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,对光学对位系统进行了设计及验证,并对该系统用到的平行调整、光学对位及坐标系误差补偿算法进行研究。文章首先对倒装焊接光学对位工艺进行分析;然后对平行性调整及光学对...
针对国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,对光学对位系统进行了设计及验证,并对该系统用到的平行调整、光学对位及坐标系误差补偿算法进行研究。文章首先对倒装焊接光学对位工艺进行分析;然后对平行性调整及光学对位算法进行介绍,并根据光学对位系统测试流程,提出更加合理的误差补偿算法;最后,以上述算法为理论依据,设计光学对位系统,其包括准直系统、显微成像系统和激光测距三部分。所设计的光学系统可实现平行性粗调,特征点识别及平行性精调功能。试验结果表明,准直系统准直效果较好,显微成像系统分辨率高,成像质量较好,激光测距系统的测距精度为0.084μm。设计的高精度光学对位系统解决了国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,已经在国内某型号的倒装焊机中得到应用,对于提高国产高端集成电路的自主研发和生产能力具有非常重要的意义。
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关键词
红外焦平面倒装焊机
光学对位系统
平行调整
激光测距
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职称材料
水下湿插拔接触式光纤耦合设计与性能分析
被引量：
2
2
作者
谈琪
孟浩然
+3 位作者
殷建平
杨鹏
郝寅雷
赵纯玉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期313-321,共9页
水下连接器是水下观测网的关键零部件,采用油液密封方式实现低损耗连接,但该方式会导致光连接结构复杂、工程研制难度大。为解决此问题,对比陆基光纤网络的连接方式,提出接触式光纤连接器水下原位湿插拔的方案。基于水体吸收特性、朗伯...
水下连接器是水下观测网的关键零部件,采用油液密封方式实现低损耗连接,但该方式会导致光连接结构复杂、工程研制难度大。为解决此问题,对比陆基光纤网络的连接方式,提出接触式光纤连接器水下原位湿插拔的方案。基于水体吸收特性、朗伯-比尔定律以及液体的表面张力等理论进行原理分析,在光纤端面形成厚度在5μm以内的水膜且该厚度水膜对1310,1550 nm波段的吸收损耗可忽略不计;然后,以1550 nm波段为例,对光纤在空气、水、硅油的耦合损耗情况进行实验分析,并利用设计的光插针结构进行性能验证。实验数据显示,光纤水下原位湿插拔的平均损耗为0.17dB,光插针的原位湿插拔平均损耗为0.23 dB。由此表明,接触式光纤耦合设计能够满足水下湿插拔的低损耗连接要求。本文为水下光纤湿插拔连接器领域提供了新思路,提出在确保水体清洁的情况下可直接进行水下原位湿插拔的设计方案,有望打破国外以油液密封方式建立的技术垄断。
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关键词
水下连接器
湿插拔
水体吸收特性
光纤耦合
性能分析
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职称材料
题名
高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究
被引量：
1
1
作者
韩冰
马洪涛
许洪刚
闫瑛
鞠德晗
赵纯玉
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国电子科技集团公司第二研究所
吉林江机特种工业有限公司
出处
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期587-595,共9页
基金
吉林省重点科技研发项目(No.20200401047GX)。
文摘
针对国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,对光学对位系统进行了设计及验证,并对该系统用到的平行调整、光学对位及坐标系误差补偿算法进行研究。文章首先对倒装焊接光学对位工艺进行分析;然后对平行性调整及光学对位算法进行介绍,并根据光学对位系统测试流程,提出更加合理的误差补偿算法;最后,以上述算法为理论依据,设计光学对位系统,其包括准直系统、显微成像系统和激光测距三部分。所设计的光学系统可实现平行性粗调,特征点识别及平行性精调功能。试验结果表明,准直系统准直效果较好,显微成像系统分辨率高,成像质量较好,激光测距系统的测距精度为0.084μm。设计的高精度光学对位系统解决了国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,已经在国内某型号的倒装焊机中得到应用,对于提高国产高端集成电路的自主研发和生产能力具有非常重要的意义。
关键词
红外焦平面倒装焊机
光学对位系统
平行调整
激光测距
Keywords
infrared focal plane flip chip bonder
optical alignment system
parallel adjustment
laser ranging
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
水下湿插拔接触式光纤耦合设计与性能分析
被引量：
2
2
作者
谈琪
孟浩然
殷建平
杨鹏
郝寅雷
赵纯玉
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
中国科学院南海海洋研究所
浙江大学信息与电子工程学院
吉林江机特种工业有限公司
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期313-321,共9页
基金
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20190053)
中科院重点部署项目(No.E0105YZQ1,No.E11572BZQ0)。
文摘
水下连接器是水下观测网的关键零部件,采用油液密封方式实现低损耗连接,但该方式会导致光连接结构复杂、工程研制难度大。为解决此问题,对比陆基光纤网络的连接方式,提出接触式光纤连接器水下原位湿插拔的方案。基于水体吸收特性、朗伯-比尔定律以及液体的表面张力等理论进行原理分析,在光纤端面形成厚度在5μm以内的水膜且该厚度水膜对1310,1550 nm波段的吸收损耗可忽略不计;然后,以1550 nm波段为例,对光纤在空气、水、硅油的耦合损耗情况进行实验分析,并利用设计的光插针结构进行性能验证。实验数据显示,光纤水下原位湿插拔的平均损耗为0.17dB,光插针的原位湿插拔平均损耗为0.23 dB。由此表明,接触式光纤耦合设计能够满足水下湿插拔的低损耗连接要求。本文为水下光纤湿插拔连接器领域提供了新思路,提出在确保水体清洁的情况下可直接进行水下原位湿插拔的设计方案,有望打破国外以油液密封方式建立的技术垄断。
关键词
水下连接器
湿插拔
水体吸收特性
光纤耦合
性能分析
Keywords
underwater connector
wet-mateable
water absorption properties
fiber-coupling
performance analysis
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
TN253 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究
韩冰
马洪涛
许洪刚
闫瑛
鞠德晗
赵纯玉
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
在线阅读
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职称材料
2
水下湿插拔接触式光纤耦合设计与性能分析
谈琪
孟浩然
殷建平
杨鹏
郝寅雷
赵纯玉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
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