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钴化学机械抛光中抛光液及清洗剂的研究进展
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作者 张力飞 路新春 +1 位作者 张佳磊 赵德文 《材料导报》 北大核心 2025年第6期222-231,共10页
在当今集成电路技术飞速发展的时代背景下,随着工艺节点不断缩小至纳米级,互连结构及其工艺技术的挑战愈发严峻。钴(Co)作为一种新兴的金属材料,凭借其出色的热稳定性、优异的空隙填充能力和对铜(Cu)布线的强附着力,正逐步成为Cu互连阻... 在当今集成电路技术飞速发展的时代背景下,随着工艺节点不断缩小至纳米级,互连结构及其工艺技术的挑战愈发严峻。钴(Co)作为一种新兴的金属材料,凭借其出色的热稳定性、优异的空隙填充能力和对铜(Cu)布线的强附着力,正逐步成为Cu互连阻挡层及潜在互连布线的热门选择。然而,随之而来的是对材料表面平整度与清洁度的极高要求,这直接促使了化学机械抛光(Chemomechanical polishing,CMP)工艺及其后清洗技术的发展与创新。本综述旨在回顾Co作为Cu互连阻挡层和新型互连布线在集成电路中的应用现状,深入分析CMP工艺中抛光液的不同组分对Co去除速率、电偶腐蚀和去除速率选择比等方面的影响。同时,探讨了在CMP清洗过程中清洗剂的关键作用,通过精确设计的化学配方,有效剥离纳米颗粒、有机残留等污染物,确保Co表面达到高度清洁与平整度标准。此外,还敏锐地指出了当前研究中的局限,并对Co的CMP及后清洗技术在追求更环保、更高效方向进行了前瞻性展望。 展开更多
关键词 化学机械抛光 阻挡层 互连层 抛光液 清洗剂
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多层互连结构CMP后清洗中SiO_(2)颗粒去除的研究进展
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作者 张力飞 路新春 +1 位作者 闫妹 赵德文 《半导体技术》 北大核心 2025年第2期101-116,共16页
SiO_(2)磨料因其化学性质稳定及抛光后良好的表面平整度,作为关键磨料被广泛应用于化学机械抛光(CMP)。CMP后晶圆表面残留的颗粒物易引发划伤、击穿及短路等缺陷问题,严重削弱芯片的可靠性。基于SiO_(2)颗粒在Cu、Co和介质材料表面的吸... SiO_(2)磨料因其化学性质稳定及抛光后良好的表面平整度,作为关键磨料被广泛应用于化学机械抛光(CMP)。CMP后晶圆表面残留的颗粒物易引发划伤、击穿及短路等缺陷问题,严重削弱芯片的可靠性。基于SiO_(2)颗粒在Cu、Co和介质材料表面的吸附特性,综述了互连结构CMP后清洗技术和清洗液体系的原理、特点及研究现状。从颗粒清洗效率、表面质量、环境影响控制等多个维度对比了干法清洗和湿法清洗技术,分析了各类清洗技术的优势与局限性。此外,系统地探讨了pH调节剂、络合剂和表面活性剂等关键清洗液组分对颗粒去除的影响,从理论机制层面揭示了SiO_(2)磨料颗粒清洗所面临的核心挑战与解决方案;同时对未来互连结构CMP后清洗工艺的发展方向进行了前瞻性展望,旨在为后续研究提供有力的理论支撑与指导方向。 展开更多
关键词 互连结构 化学机械抛光(CMP)后清洗 SiO_(2)颗粒 清洗技术 清洗液化学组分
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由Tresca和双剪应力两轨迹间误差三角形中线确定的屈服方程 被引量:11
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作者 赵德文 谢英杰 +1 位作者 刘相华 王国栋 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期121-124,共4页
在π平面上,取Tresca屈服轨迹与双剪应力屈服轨迹之间误差三角形的几何中线确定新的屈服轨迹,建立了该轨迹在HaighWestergaard应力空间上的应力方程,称此方程为几何中线屈服方程或简称GM屈服准则·证明了单位塑性功率表达式及其对Mi... 在π平面上,取Tresca屈服轨迹与双剪应力屈服轨迹之间误差三角形的几何中线确定新的屈服轨迹,建立了该轨迹在HaighWestergaard应力空间上的应力方程,称此方程为几何中线屈服方程或简称GM屈服准则·证明了单位塑性功率表达式及其对Mises圆的逼近精度·精度分析与算例表明该准则与Mises准则的最大误差不超过2 9%,平均误差仅为0 95%,比MY(平均屈服)准则的逼近精度提高1%,且它是线性的,其轨迹为与Mises屈服轨迹相交的等边非等角十二边形·该准则的单位体积塑性功率表达式也是线性的· 展开更多
关键词 Tresca准则 双剪应力轨迹 误差三角形 几何中线 等边非等角十二边形 线性屈服准则
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中厚板坯料设计软件研究与应用 被引量:10
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作者 赵德文 董学新 +1 位作者 刘相华 王国栋 《应用科学学报》 CAS CSCD 2002年第2期211-214,共4页
在大量现场测量与试验基础上修改了工厂原有坯料设计规则 .将新规则成功编制成厚板生产坯料设计专家系统软件 ,经现场应用使年成材率提高 1.6 1% ,创造了明显的经济效益 .
关键词 中厚板 坯料设计 专家系统软件 成材率 设计规则 板材轧制 软件开发
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厚板热轧中心气孔缺陷压合临界力学条件的证明与应用 被引量:6
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作者 赵德文 章顺虎 +3 位作者 王根矶 杜林秀 刘相华 王国栋 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期658-662,678,共5页
利用上界三角形速度场推导了热轧条件下厚板中心气孔缺陷压合时内部缺陷开裂的判定条件。证明了动态临界几何条件当l/h≥0.518时坯料为压合轧制;当给定轧件入口厚度时,增加道次压下率ε、轧辊半径R、单位宽度轧制力P,将有利于厚板缺陷压... 利用上界三角形速度场推导了热轧条件下厚板中心气孔缺陷压合时内部缺陷开裂的判定条件。证明了动态临界几何条件当l/h≥0.518时坯料为压合轧制;当给定轧件入口厚度时,增加道次压下率ε、轧辊半径R、单位宽度轧制力P,将有利于厚板缺陷压合;升温和咬入时加后推力也有利于缺陷压合。此外,还提供实例首次对厚板压下规程的压合条件进行了分析计算,算例表明:特厚板轧制设计道次压下率时,应尽量使道次变形区不存在拉应力区、满足压合条件并避免表面变形,方能使中心区域有效压合,起到提高探伤合格率及改善内部质量的明显效果。本文提出了制定厚板轧制规程需考虑缺陷压合条件的新思路。 展开更多
关键词 热轧 厚板 孔洞压合 临界条件 三角形速度场
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依赖Tresca和双剪应力屈服函数均值的屈服准则 被引量:10
6
作者 赵德文 刘相华 王国栋 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期976-979,共4页
为使Mises屈服准则线性化 ,在HaighWestergard应力空间 ,将Tresca与双剪应力屈服函数相加并取其平均屈服函数来作为新的屈服准则简称MY(平均屈服 )准则 ,给出了该准则的数学表达式、屈服轨迹与单位体积塑性功率表达式·精度分析与... 为使Mises屈服准则线性化 ,在HaighWestergard应力空间 ,将Tresca与双剪应力屈服函数相加并取其平均屈服函数来作为新的屈服准则简称MY(平均屈服 )准则 ,给出了该准则的数学表达式、屈服轨迹与单位体积塑性功率表达式·精度分析与算例表明 :MY准则是一个线性屈服准则 ,其与Mises准则最大误差不超过 3 9% ,平均误差不超过 1 95 % 。 展开更多
关键词 屈服准则 Tresca准则 平均屈服函数 线性屈服 屈服轨迹
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用GM屈服准则解析薄壁筒和球壳的极限载荷 被引量:4
7
作者 赵德文 张雷 +1 位作者 章顺虎 李秀玲 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期521-523,532,共4页
首次将GM(几何中线)屈服准则应用于内压薄壁圆筒和球壳的塑性极限分析,获得了解析解.薄壁筒和球壳极限载荷均为壁厚、内径及材料屈服极限的函数.屈服极限越高、壁厚越大,内径越小,极限载荷越大.与Mises准则、双剪应力准则(TSS)和Tresca... 首次将GM(几何中线)屈服准则应用于内压薄壁圆筒和球壳的塑性极限分析,获得了解析解.薄壁筒和球壳极限载荷均为壁厚、内径及材料屈服极限的函数.屈服极限越高、壁厚越大,内径越小,极限载荷越大.与Mises准则、双剪应力准则(TSS)和Tresca准则相比,GM准则解居于TSS和Tresca解之间且靠近Mises解,恰好对应误差三角形中线.按GM准则计算的极限载荷随厚径比的增加而线性增加. 展开更多
关键词 GM屈服准则 薄壁圆筒 球壳 内压 极限载荷
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平面变形拉拔挤压的变上限积分与解析解 被引量:7
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作者 赵德文 赵志业 张强 《应用数学和力学》 EI CSCD 北大核心 1990年第8期713-718,共6页
本文采用直角坐标系,设定与Avitzur不同的运动许可速度场,经变上限积分得到扁带平面变形拉拔挤压的上界解析解.
关键词 平面变形 拉拨 挤压 积分 成形理论
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抛物线模拔圆棒的曲面积分问题 被引量:4
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作者 赵德文 刘相华 +2 位作者 王国栋 史乃安 王睿 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1995年第2期145-150,共6页
采用VonKarman基本假设对模面函数为抛物线(又称喇叭模)的轴对称拔制问题设定了运动许可速度场,并经曲面积分与变上限积分得到拔制应力上界解析解.
关键词 抛物线模 圆棒 拉拔 曲面积分 棒材
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轧制应变速率参数ε的精确计算方法 被引量:17
10
作者 赵德文 铁维麟 《应用科学学报》 CAS CSCD 1995年第1期103-108,共6页
该文采用精确接触弧参数方程,设定运动许可速度场与应变速率场,经参量积分与积分中值定理提出一个精确计算轧制应变速率的计算公式,经测试实例与目前各惯用公式进行了比较.
关键词 轧制 参量积分 应变速率 塑性变形
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抛物线模拔速度场的曲线积分问题 被引量:3
11
作者 赵德文 刘相华 +1 位作者 王国栋 李桂范 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 1994年第7期619-625,共7页
文章采用vonKarman基本假设对模面函数为抛物线(又称喇叭模)的拔制问题设定了运动许可速度场,并经曲线积分与变上限积分得到拔制力的上界解析解。
关键词 抛物线模 拉拔 曲线积分 速度场
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一个与Mises轨迹覆盖面积相等的线性屈服条件 被引量:2
12
作者 赵德文 方琪 +1 位作者 刘相华 王国栋 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期248-251,共4页
在π平面上,取Mises屈服轨迹覆盖面积与其相交十二边形覆盖面积相等的方法确定十二边形6个顶点,顶点与内接点连线为新的屈服轨迹,建立该轨迹在HaighWestergaard应力空间上的直线方程,证明了此方程确定的屈服准则为Mises屈服准则的最大... 在π平面上,取Mises屈服轨迹覆盖面积与其相交十二边形覆盖面积相等的方法确定十二边形6个顶点,顶点与内接点连线为新的屈服轨迹,建立该轨迹在HaighWestergaard应力空间上的直线方程,证明了此方程确定的屈服准则为Mises屈服准则的最大程度的线性逼近,其偏差应力矢量模长与Mises准则模长在π平面上平均误差为零;给出了十二边形内接点顶角为159 836°,圆外顶角为140 164°;以及单位体积塑性功率表达式· 展开更多
关键词 线性逼近 Mires屈服准则 π平面 积分中值定理 最高精度 塑性功率
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抛物线模拉拔方棒的上界解析解 被引量:3
13
作者 赵德文 刘相华 王国栋 《力学与实践》 CSCD 北大核心 1996年第4期20-23,共4页
本文对采用抛物线模面函数的模具拉拔方形棒、线材设定了三维运动许可速度场;以曲面积分与变上限积分方法得到该场上界解析解.
关键词 方棒 拉拔 抛物线模 曲面积分
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MY准则解析有外端的平锤头准三维锻造 被引量:1
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作者 赵德文 邓伟 +2 位作者 秦小梅 刘相华 王国栋 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期453-456,共4页
采用Juneja速度场解析考虑外端影响的准三维平锤头锻造问题.为了对Mises屈服准则内部成形功率积分线性化,采用平均屈服准则(MY准则)得到了上界功率的解析解,并提出了鼓形参数a的测量公式与应力状态影响系数的计算公式.经纯铅试样的带外... 采用Juneja速度场解析考虑外端影响的准三维平锤头锻造问题.为了对Mises屈服准则内部成形功率积分线性化,采用平均屈服准则(MY准则)得到了上界功率的解析解,并提出了鼓形参数a的测量公式与应力状态影响系数的计算公式.经纯铅试样的带外端压缩实验,在1≤b0/h0≤4范围内,应力状态系数nσ随b0/h0与摩擦因子m增加而增加;以MY准则计算的锻造力与实测结果进行了比较,误差在0.07%~15.2%,锻造力的计算结果高于实测结果.利用本文公式测量的鼓形参数a值小于优化的a值. 展开更多
关键词 MY准则 单位体积塑性功率 准三维锻造 外端 解析解
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板带轧制的上界理论解 被引量:3
15
作者 赵德文 李贵 《应用科学学报》 CAS CSCD 1992年第2期148-154,共7页
文中推导了与Avitzur不同的运动许可速度场与应变速率场,经变上限积分与参变量积分未经数学简化获得轧制功率的上界理论解.该解与Avitzur按圆柱坐标系的解析结果作了比较.
关键词 板材 带材 轧制 连续速度场 解析解
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以上界三角形速度场计算线材精轧温升 被引量:1
16
作者 赵德文 谢英杰 +1 位作者 刘相华 王国栋 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期983-986,共4页
提出了以上界三角形速度场计算高速线材精轧阶段温升的方法.由于线材精轧轧制速度快,散热条件差,可认为轧制过程是绝热的,线材轧制的外功几乎全部转换为热,即线材温升的热量全部来自于变形区内三角形速度场速度不连续线所做的剪切功.三... 提出了以上界三角形速度场计算高速线材精轧阶段温升的方法.由于线材精轧轧制速度快,散热条件差,可认为轧制过程是绝热的,线材轧制的外功几乎全部转换为热,即线材温升的热量全部来自于变形区内三角形速度场速度不连续线所做的剪切功.三角形速度场确定的总上界功率最小上界值决定了变形区内全部温升的总和,以此原理推导出高速线材精轧机组温升计算公式并对6.5 mm线材精轧进行了实际温升计算与测量,计算结果与测量结果的比较表明,计算的理论温升高于实际测量温升约11%,线材精轧入口温度越低,累计温升越大. 展开更多
关键词 三角形速度场 速度不连续 上界功率 温升 高速线材轧制
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工程法解析平冲头压入半无限体 被引量:6
17
作者 赵德文 李太圭 王国栋 《东北工学院学报》 CSCD 1992年第4期368-372,共5页
以传统工程法解析了平冲头压入半无限体问题,并获得解析解。与滑移线场的解析结果 Prandtl 解及 Hill 解比较,相对误差不大于 0.35%。
关键词 压力加工 平冲头 工程法 半无限体
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单级轴流风机优化设计的研究 被引量:2
18
作者 赵德文 李超俊 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第3期101-108,共8页
本文根据单级轴流风机的特点,提出了一种以工作轮效率最高为目标、环量梯度为控制变量、同时考虑到各种气动约束、几何约束等条件的最优控制优化模型.利用耦合罚函数方法及拉格朗日乘子方法,将有控制约束、状态约束的最优控制问题转化... 本文根据单级轴流风机的特点,提出了一种以工作轮效率最高为目标、环量梯度为控制变量、同时考虑到各种气动约束、几何约束等条件的最优控制优化模型.利用耦合罚函数方法及拉格朗日乘子方法,将有控制约束、状态约束的最优控制问题转化为无约束的最优控制问题.提出了一种无须进行两点边值迭代计算的简便方法,并用该优化方法设计了变功流型的双向轴流风机,其计算效率较常规等环量流型的要高4%左右.模型风机沿叶高气流参数的实测值与计算值吻合较好,表明本优化方法合理可行,具有较好的效果. 展开更多
关键词 通风机 轴流通风机 最优化 设计
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三角形速度场解析平面变形辊拔与辊挤 被引量:2
19
作者 赵德文 王国栋 范鹤峰 《东北工学院学报》 CSCD 1991年第6期625-630,共6页
文章对平面变形辊拔与辊挤问题建立了运动许可的三角形速度场并获得上界解析解。该解与 Avitzur 以连续速度场得到的上界解进行比较表明,有时本文解法可得到更低的上界值。
关键词 辊拔 辊挤 三角形速度场 平面变形
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解析辊拔问题的变上限与参变量积分 被引量:1
20
作者 赵德文 李隆旭 方有康 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 1994年第1期87-94,共8页
本文建立与Avitzur不同的直角坐标系速度场与应变速率场,并采用变上限积分与参变量积分获得辊拔力的上界解析解。
关键词 辊拔 变上限积分 参变量积分
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