期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到66篇文章
< 1 2 … 4 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
压电陶瓷微位移器件迟滞模型的研究 被引量：16
1
作者 荣伟彬 曲东升 +2 位作者 孙立宁 徐晶 蔡鹤皋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第1期22-25,35,共5页
在通过统计物理学角度分析压电陶瓷迟滞规律的基础上,结合数学建模方法,提出了一种简单实用的压电陶瓷迟滞数学模型。并设计了压电陶瓷实验控制系统,对迟滞数学模型进行了验证,实验结果表明,此模型可以有效减小压电陶瓷的迟滞非线性误差... 在通过统计物理学角度分析压电陶瓷迟滞规律的基础上,结合数学建模方法,提出了一种简单实用的压电陶瓷迟滞数学模型。并设计了压电陶瓷实验控制系统,对迟滞数学模型进行了验证,实验结果表明,此模型可以有效减小压电陶瓷的迟滞非线性误差,提高压电陶瓷微位移的控制精度,本研究有助于实现基于压电陶瓷的高精度开环微位移控制。 展开更多
关键词 压电陶瓷 迟滞效应 统计物理 数学建模 微位移控制 非线性误差
在线阅读 下载PDF
压电陶瓷管驱动三自由度微操作手的研究与应用 被引量：11
2
作者 荣伟彬 曲东升 +2 位作者 孙立宁 张涛 蔡鹤皋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第3期186-190,共5页
基于机构、驱动、检测一体化的设计思想 ,研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作手 ,研究了微操作手的建模、驱动与位置检测 ,给出了静力学建模公式 ,研制出双极性压电陶瓷驱动电源、微位移检测电路 ,并构成高精度位置闭环控制系统 ,实... 基于机构、驱动、检测一体化的设计思想 ,研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作手 ,研究了微操作手的建模、驱动与位置检测 ,给出了静力学建模公式 ,研制出双极性压电陶瓷驱动电源、微位移检测电路 ,并构成高精度位置闭环控制系统 ,实现了纳米级微动定位。最后以微操作手为核心构成微操作机器人系统 ,通过微操作手的微动调整 ,成功完成了直径为 0 .2 m m轴孔零件的微装配任务。 展开更多
关键词 压电陶瓷管 微操作手 压电驱动与检测 微装配 微操作机器人
在线阅读 下载PDF
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究 被引量：11
3
作者 荣伟彬 王家畴 +2 位作者 赵玉龙 陈立国 孙立宁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期692-698,共7页
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实... 针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN。 展开更多
关键词 三维微力传感器 压阻检测技术 有限元分析 标定实验
在线阅读 下载PDF
基于压电陶瓷管的三自由度微操作手建模与实验 被引量：6
4
作者 荣伟彬 孙立宁 +2 位作者 曲东升 张涛 蔡鹤皋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期160-164,共5页
微操作手是微操作机器人的重要组成部分 ,文章把压电扫描器的工作原理应用于微操作手的设计中 ,研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作手 ,实现了机构、驱动、检测一体化设计 ,通过对四分压电陶瓷管的变形进行静力学分析 ,建立了微操作... 微操作手是微操作机器人的重要组成部分 ,文章把压电扫描器的工作原理应用于微操作手的设计中 ,研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作手 ,实现了机构、驱动、检测一体化设计 ,通过对四分压电陶瓷管的变形进行静力学分析 ,建立了微操作手微位移量与驱动电压的关系 ,修正了用几何法建立的公式 。 展开更多
关键词 压电陶瓷 三自由度微操作手 建模 实验 微操作机器人
在线阅读 下载PDF
超细径保偏光纤的对轴方法优化及实验 被引量：4
5
作者 荣伟彬 高健 +2 位作者 陈涛 王乐锋 孙立宁 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期36-41,共6页
为了在光纤陀螺等关键器件中使用超细径保偏光纤取代常用的普通直径保偏光纤,需要对其偏振轴的确定方法进行改进和优化。首先,使用光线追迹法对图像侧面成像对轴法在几种条件下的理论图像进行计算机仿真,并对仿真结果较好的两种情形进... 为了在光纤陀螺等关键器件中使用超细径保偏光纤取代常用的普通直径保偏光纤,需要对其偏振轴的确定方法进行改进和优化。首先,使用光线追迹法对图像侧面成像对轴法在几种条件下的理论图像进行计算机仿真,并对仿真结果较好的两种情形进行实验验证;然后,对实验数据曲线进行傅里叶展开以抑制随机干扰,将结果较好的三亮纹方法改进为三亮纹四点特征法,并对该方法进行实验验证;最后,测定使用三亮纹四点特征法得到的重复精度。实验结果表明,该方法大大提高了超细径保偏光纤偏振轴定轴过程中的抗干扰能力,重复精度达到1.6°,达到了普通直径保偏光纤的偏振轴定轴精度,满足实际应用要求。 展开更多
关键词 保偏光纤对轴 超细径 POL方法 傅里叶展开 三亮纹四点特征法
在线阅读 下载PDF
一种集成三维微力传感器的微夹持器研制 被引量：5
6
作者 荣伟彬 谢晖 +2 位作者 王家畴 孙立宁 陈伟 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第2期175-178,共4页
微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y... 微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y向的分辨率均为2.4μN,z向的分辨率为4.2μN。微夹持器采用压电陶瓷驱动两级柔性放大机构,实现张合量300μm,完成了微夹持实验。 展开更多
关键词 微夹持器 三维微力传感器 压阻检测 标定实验
在线阅读 下载PDF
挠性陀螺十字铰链模型的建立与分析 被引量：5
7
作者 荣伟彬 陈涛 +1 位作者 陈立国 孙立宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期864-869,共6页
在对动力调谐陀螺刚度和漂移误差分析的基础上,建立了由内外挠性接头装配后铰链所形成的十字型铰链的模型,并利用伪刚度体理论对该模型进行了分析。得出了内外挠性接头两铰链的相对位置关系对十字型铰链模型的影响曲线。通过影响曲线的... 在对动力调谐陀螺刚度和漂移误差分析的基础上,建立了由内外挠性接头装配后铰链所形成的十字型铰链的模型,并利用伪刚度体理论对该模型进行了分析。得出了内外挠性接头两铰链的相对位置关系对十字型铰链模型的影响曲线。通过影响曲线的分析,得出内外挠性接头铰链方位上的偏差对十字型铰链模型的刚度的影响程度,而模型刚度变化则对整个陀螺的装配精度提出了同轴以及正交的要求,对整个陀螺仪的装配和调试起到了指导作用。 展开更多
关键词 动力调谐陀螺 十字铰链模型 伪刚度体模型
在线阅读 下载PDF
用于MEMS传感器批量制造的微装配系统(英文) 被引量：7
8
作者 荣伟彬 谢晖 孙立宁 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1573-1579,共7页
手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的... 手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的附属系统.通过模块重构和调整,可实现不同尺寸规格传感器的键合.基于显微视觉以及微装配系统的特性,提出了基于小波变换的自动调焦清晰度评价函数,同时提出了基于改进史密斯预估器的用于克服视觉延迟的伺服控制结构.集成一维微力传感器的微操作手可实现高精度和无损操作.为了实现自动化操作,开发了包括任务规划和实时控制功能的控制系统.试验验证了该系统的自动键合功能. 展开更多
关键词 MEMS传感器 批量制造 柔性装配系统
在线阅读 下载PDF
基于电流与电压复合控制的压电陶瓷驱动器 被引量：5
9
作者 荣伟彬 徐敏 张世忠 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第4期496-499,503,共5页
针对电压控制型压电陶瓷驱动器存在动态性能差的问题，及电流控制型压电陶瓷驱动器存在在静态下易充电饱和、难以获得稳定输出的问题，该文设计了基于电流与电压控制的复合型压电陶瓷驱动器。该驱动器具有电流电压双闭环反馈，使驱动器... 针对电压控制型压电陶瓷驱动器存在动态性能差的问题，及电流控制型压电陶瓷驱动器存在在静态下易充电饱和、难以获得稳定输出的问题，该文设计了基于电流与电压控制的复合型压电陶瓷驱动器。该驱动器具有电流电压双闭环反馈，使驱动器可兼具良好的静态和动态特性。在此基础上，分析了复合型驱动器的性能特点和各参数对其性能的影响，通过调整参数可改变驱动器性能，以满足不同需求。实验结果表明，该驱动器驱动行程为10sm的压电陶瓷时，0～100V阶跃信号响应时间小于400μs，满行程带宽可达1.5kHz，给定直流信号下可获得良好的稳定输出。 展开更多
关键词 压电陶瓷驱动器 复合型控制 电流控制 动态性能 稳态性能
在线阅读 下载PDF
压电马达驱动3-PPTRR并联机器人研究 被引量：2
10
作者 荣伟彬 秦志刚 +1 位作者 王乐锋 孙立宁 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第1期141-144,148,共5页
设计了一种压电马达驱动的3-PPTRR构型的3支链6自由度并联机器人,具有结构简单,支链不易干涉,无电磁干扰等优点。介绍了这种机器人的结构特点,分别采用解析法、矢量构造法对机构位置反解和雅克比矩阵进行分析。针对雅克比矩阵条件数的... 设计了一种压电马达驱动的3-PPTRR构型的3支链6自由度并联机器人,具有结构简单,支链不易干涉,无电磁干扰等优点。介绍了这种机器人的结构特点,分别采用解析法、矢量构造法对机构位置反解和雅克比矩阵进行分析。针对雅克比矩阵条件数的局限性,采用兼顾全域条件数均值和波动性的全域可操作度指标描述机构的操作性能,并以此为目标函数,结合典型应用研究了此类并联机器人的关键尺寸优化过程,结果显示优化后的结构在整个运动空间内都具有良好的运动性能。 展开更多
关键词 压电马达 并联机器人 可操作度 尺寸优化
在线阅读 下载PDF
压电驱动三支链六自由度微动机器人机构设计 被引量：1
11
作者 荣伟彬 王乐锋 +1 位作者 孙立宁 矫杰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第3期276-279,共4页
为简化6支链并联微动机器人结构、减小其装配误差,提出了压电陶瓷驱动的3支链6自由度并联微动机器人结构。采用整体式下平台和3条两端带有柔性球铰链和单轴直圆柔性铰链的支杆,使结构紧凑并有利于提高精度。在分析逆解的基础上,根据工... 为简化6支链并联微动机器人结构、减小其装配误差,提出了压电陶瓷驱动的3支链6自由度并联微动机器人结构。采用整体式下平台和3条两端带有柔性球铰链和单轴直圆柔性铰链的支杆,使结构紧凑并有利于提高精度。在分析逆解的基础上,根据工作空间要求设计了整体尺寸。根据柔性铰链选取原则,对直角平板和支杆处柔性铰链进行尺寸选择,采用有限元分析对整体刚度进行分析和安全校验。样机测试结果表明了设计的可行性。 展开更多
关键词 并联微动机构 压电陶瓷 柔性铰链
在线阅读 下载PDF
面向光纤熔融拉伸的电磁力施加装置设计与实验
12
作者 荣伟彬 关楠楠 +1 位作者 王乐锋 孙立宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期72-79,共8页
设计了相应的电磁力施加装置以实现对超细径光纤熔融拉伸力的精确控制。采用有限元法分析不同线圈参数下电磁线圈与永磁铁之间电磁力的大小,获得电磁力与线圈各参数间的数学关系式。以拉伸系统性能要求及线圈骨架的外形尺寸为限制条件... 设计了相应的电磁力施加装置以实现对超细径光纤熔融拉伸力的精确控制。采用有限元法分析不同线圈参数下电磁线圈与永磁铁之间电磁力的大小,获得电磁力与线圈各参数间的数学关系式。以拉伸系统性能要求及线圈骨架的外形尺寸为限制条件建立约束方程及目标函数进行优化求解,得到最优参数。在依据优化参数制作电磁线圈的基础上设计了电磁力控制电路,通过调节线圈电流精确控制电磁力。最后,进行电磁力施加装置性能实验。实验结果表明:光纤拉伸力的范围达到26.073mN;光纤拉伸力的分辨率达到7.473μN,满足超细径光纤熔融拉伸对拉伸力范围及分辨率的要求。 展开更多
关键词 超细径光纤 熔融拉伸 电磁力施加装置 微力测量
在线阅读 下载PDF
MEMS压力传感器批量组装设备的研制
13
作者 荣伟彬 陈立国 +1 位作者 孙立宁 谢晖 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1847-1851,共5页
针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后... 针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后进行系统集成研制MEMS压力传感器批量组装设备.批量组装实验表明该系统可实现典型MEMS传感器批量组装,对MEMS产业化发展具有重要意义. 展开更多
关键词 MEMS 批量组装 压力传感器
在线阅读 下载PDF
BP神经网络补偿并联机器人定位误差 被引量：30
14
作者 马立 于瀛洁 +2 位作者 程维明 荣伟彬 孙立宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期878-883,共6页
分析了6-DOF精密并联机器人末端位姿的误差来源及以往误差补偿方法的局限性。通过测量末端位姿,提出了基于BP神经网络在精密定位的局部工作空间内对机器人关节空间进行误差补偿的方法。确定了BP神经网络模型,建立了误差补偿的数据样本,... 分析了6-DOF精密并联机器人末端位姿的误差来源及以往误差补偿方法的局限性。通过测量末端位姿,提出了基于BP神经网络在精密定位的局部工作空间内对机器人关节空间进行误差补偿的方法。确定了BP神经网络模型,建立了误差补偿的数据样本,并对数据样本进行了标准化。用实验对比的方法确定了隐层神经元的个数,同时对网络的推广能力进行了验证。经过误差补偿,6-DOF精密并联机器人的平移定位误差下降了80%,转角定位误差下降了60%。实验结果表明,基于BP神经网络的误差补偿方法对机器人局部工作空间的补偿具有明显的效果,能够满足精密并联机器人工作的精度要求。 展开更多
关键词 并联机器人 BP神经网络 定位误差 误差补偿
在线阅读 下载PDF
基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究 被引量：18
15
作者 孙立宁 荣伟彬 +3 位作者 曲东升 高振国 楼朝飞 蔡鹤皋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期514-518,共5页
根据仿生学原理 ,采用分立式布局 ,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器。该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式 ,实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明 ,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点 ,... 根据仿生学原理 ,采用分立式布局 ,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器。该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式 ,实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明 ,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点 ,也适用于其它微操作中大行程高分辨率的旋转驱动。 展开更多
关键词 微操作 微驱动 仿生型旋转微驱动器 电磁铁箝位 压电陶瓷 机器人
在线阅读 下载PDF
新型二维纳米级微动工作台的动力学分析 被引量：29
16
作者 刘品宽 孙立宁 +1 位作者 曲东升 荣伟彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第2期143-147,共5页
提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统 ,工作台采用直角柔性平行板铰链 ,实现X ,Y方向的运动 ,采用杠杆放大柔性铰链机构实现对压电陶瓷位移的放大。并对这种新型结构形式理论分析与实验测试。根据拉格郎日方程建... 提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统 ,工作台采用直角柔性平行板铰链 ,实现X ,Y方向的运动 ,采用杠杆放大柔性铰链机构实现对压电陶瓷位移的放大。并对这种新型结构形式理论分析与实验测试。根据拉格郎日方程建立微动工作台的运动微分方程 ,推导出系统前两阶固有频率的解析式。采用有限元分析方法对微动工作台进行模态分析 ,得到微定位工作台有效工作的谐振频率和振型 ,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试。经理论分析、有限元计算和实验测试结果进行对比与分析的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性。 展开更多
关键词 微动工作台 动力学 纳米定位 柔性铰链 有限元方法
在线阅读 下载PDF
压电陶瓷微位移器件控制模型的研究 被引量：16
17
作者 曲东升 荣伟彬 +2 位作者 孙立宁 徐晶 蔡鹤皋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期602-607,共6页
从不同角度介绍了压电陶瓷微位移器件的两种控制模型。首先,借助于统计物理学分析,结合数学建模方法,建立了一个简单实用的压电陶瓷的迟滞数学模型。其次,借助于弹性体变形理论,介绍了压电/电致伸缩陶瓷的归一化控制模型,从理论上说明... 从不同角度介绍了压电陶瓷微位移器件的两种控制模型。首先,借助于统计物理学分析,结合数学建模方法,建立了一个简单实用的压电陶瓷的迟滞数学模型。其次,借助于弹性体变形理论,介绍了压电/电致伸缩陶瓷的归一化控制模型,从理论上说明了采用电极化强度的方法可以有效减小迟滞的观点。并设计了两种实验系统,对两种控制模型进行了实验验证,实验结果表明,所建立的两种模型可有效减小压电陶瓷的迟滞非线性误差,提高压电陶瓷微位移的控制精度,有助于实现压电陶瓷驱动器的高精度开环微位移控制。 展开更多
关键词 压电陶瓷 微位移器件 控制模型 迟滞 极化强度
在线阅读 下载PDF
一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析 被引量：24
18
作者 孙立宁 马立 +1 位作者 荣伟彬 高燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期406-411,共6页
研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位工作台固有频率及沿x、y方向刚度的试验测试,并结合解析方法... 研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位工作台固有频率及沿x、y方向刚度的试验测试,并结合解析方法和有限元方法对微定位工作台设计刚度及动力特性进行分析验证。有限元分析表明:当工作台的直角平板柔性铰链长度较小而铰链宽度较大时,其刚度、频率及驱动力较高,铰链根部应力集中也较严重。通过改变柔性铰链的特征参数,可达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出了一种优选微定位工作台柔性铰链参数的简易方法。 展开更多
关键词 柔性铰链 纳米定位工作台 有限元分析
在线阅读 下载PDF
基于机器视觉零件轴线直线度误差测量的研究 被引量：25
19
作者 张伟 韩宗旺 +2 位作者 程祥 荣伟彬 郑宏宇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期2168-2177,共10页
轴类零件的直线度误差是判断其是否合格的一个重要标准。针对接触测量轴零件直线度误差效率低、精度不高等问题,设计一个针对小型轴类零件直线度误差测量的平台;采用一种基于自适应阈值的八邻域空心梯度加权的清晰度评价函数用于相机自... 轴类零件的直线度误差是判断其是否合格的一个重要标准。针对接触测量轴零件直线度误差效率低、精度不高等问题,设计一个针对小型轴类零件直线度误差测量的平台;采用一种基于自适应阈值的八邻域空心梯度加权的清晰度评价函数用于相机自动对焦,经图像预处理、形态学操作、亚像素级边缘坐标提取后,通过径向局部区域搜索的方法得到零件中心轴线;提出基于最小区域的大变异双切点交叉遗传算法来评定零件中心轴线的直线度误差;采用图像用户界面集成评定算法。结果表明文中方法评定误差优于最小二乘法、分割逼近法和最小区域法,与文献中算法的评定结果基本一致。最后与三坐标测量仪测量结果进行对比,其中94%以上的测量结果相差10μm以内,因而本检测系统能够用于小型轴类零件轴线的直线度误差的测量中。 展开更多
关键词 机器视觉 直线度误差 清晰度函数 亚像素边缘检测 大变异双切点交叉遗传算法
在线阅读 下载PDF
三维纳米级微动工作台的设计与分析 被引量：18
20
作者 马立 荣伟彬 孙立宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1017-1024,共8页
研究开发了一种新型精密三维微动工作台。采用呈等边三角形分布的三个压电陶瓷和环形平板铰链机构,保证了运动传递的连续性、无洄滞、无摩擦、高精度。建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿z方向平动刚度、绕x、y... 研究开发了一种新型精密三维微动工作台。采用呈等边三角形分布的三个压电陶瓷和环形平板铰链机构,保证了运动传递的连续性、无洄滞、无摩擦、高精度。建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿z方向平动刚度、绕x、y方向转动刚度以及前三阶固有频率解析式。进行了微动工作台沿z方向平动刚度、绕x、y方向转动刚度以及固有频率试验测试,验证了解析方法和有限元方法进行三维工作台刚度及动力特性分析的正确性。有限元分析表明:当工作台的环形平板铰链半径较小而铰链厚度较大时,其刚度、频率及驱动力较高,其铰链根部应力集中也较严重。通过改变环形平板铰链的特征参数,可达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出了一种优选微动工作台环形平板铰链参数的简易方法。 展开更多
关键词 环形平板铰链 纳米定位 有限元分析 刚度 固有频率
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 4 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部