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射频同轴传输线的设计仿真与加工工艺 被引量:8
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作者 范新磊 张斌珍 +2 位作者 张勇 郝晓剑 吴淑娟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期397-402,共6页
基于SU-8和BPN紫外负性感光胶,结合微电镀工艺加工制作射频同轴传输线,以实现射频器件信号的传输与耦合。首先确定在阻抗匹配情况下同轴传输线特性阻抗为50Ω的同轴传输线的具体尺寸,然后通过HFSS仿真软件对设计的结构进行模拟仿真。通... 基于SU-8和BPN紫外负性感光胶,结合微电镀工艺加工制作射频同轴传输线,以实现射频器件信号的传输与耦合。首先确定在阻抗匹配情况下同轴传输线特性阻抗为50Ω的同轴传输线的具体尺寸,然后通过HFSS仿真软件对设计的结构进行模拟仿真。通过仿真结果验证设计的可行性,采用紫外光刻技术利用SU-8光刻胶做出内导体支柱,并用BPN光刻胶做出结构,对结构进行电镀。最后将BPN光刻胶剥离,即可得到射频同轴传输线。此方法制得的同轴传输线具有介质损耗小、辐射损耗小、无色散、带宽大和抗干扰强的优点,适用于高性能射频和微波电路。另外,它的制作工艺能与其他射频和微波器件及集成电路工艺兼容,便于与射频和微波电路集成。 展开更多
关键词 同轴传输线 光刻 电镀 SU-8光刻胶 BPN光刻胶
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基于SU-8的高质量平面微透镜阵列压印新方法 被引量:3
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作者 范新磊 张斌珍 +1 位作者 李向红 张勇 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期242-247,共6页
提出一种采用紫外光刻工艺及压印快速制造平面微透镜阵列的新技术。首先采用光刻工艺制作出平面圆柱形阵列,然后用热熔法将圆柱形阵列转化为微透镜阵列。以此微透镜阵列为母板,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制出和母板相反的模具,利用毛... 提出一种采用紫外光刻工艺及压印快速制造平面微透镜阵列的新技术。首先采用光刻工艺制作出平面圆柱形阵列,然后用热熔法将圆柱形阵列转化为微透镜阵列。以此微透镜阵列为母板,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制出和母板相反的模具,利用毛细效应,以SU-8为结构材料,通过特殊的压印方法得到平面微透镜阵列,可用于平面仿生复眼以及晶椎的最后制作。经过测试微透镜阵列的表面形貌和成像结果,可发现制备后的微透镜阵列聚光性能良好、光强均匀、无气泡和表面形貌均匀,解决了传统方法制作气泡多、表面形貌差的缺点。基于此方法加工的平面微透镜阵列对光学仿生复眼的进一步研究提供了有益参考。 展开更多
关键词 仿生复眼 压印 热熔 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微透镜阵列
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主光轴平行于基底的微透镜阵列制作与测试 被引量:5
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作者 张勇 张斌珍 +2 位作者 吴淑娟 姚德启 范新磊 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第1期47-51,共5页
应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200μm。利用激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)对微透镜的表面形貌及曲率半径进行测量,并搭建光学观... 应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200μm。利用激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)对微透镜的表面形貌及曲率半径进行测量,并搭建光学观测平台,测得透镜焦距并观察成像效果。经观测,所加工球面微透镜具有较好的表面形貌和成像效果。基于此方法加工的微透镜阵列,主光轴平行于基底,因而便于与其他光学系统进行片上集成,完成对光线的聚焦,最终实现光开关、扫描成像等功能。此微透镜阵列也将集成在微流式细胞仪上,用于样本流的荧光检测,可极大提高检测精度。 展开更多
关键词 微透镜阵列 SU-8 水浴光刻 球面 成像检测
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后腹腔镜下肾癌剜除术和传统肾肿瘤部分切除术的效果比较 被引量:1
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作者 何涛 杨锦建 +2 位作者 贾占奎 范新磊 刑伟只 《河南医学研究》 CAS 2014年第2期71-73,共3页
目的:比较后腹腔镜下行肾肿瘤剜除术与传统肾肿瘤部分切除术治疗早期肾癌的临床效果。方法:回顾性分析2007年至2010年36例早期肾癌患者资料,随机分为传统组与后腹腔镜组,其中传统组16例行传统肾肿瘤部分切除术,后腹腔镜组20例行后腹腔... 目的:比较后腹腔镜下行肾肿瘤剜除术与传统肾肿瘤部分切除术治疗早期肾癌的临床效果。方法:回顾性分析2007年至2010年36例早期肾癌患者资料,随机分为传统组与后腹腔镜组,其中传统组16例行传统肾肿瘤部分切除术,后腹腔镜组20例行后腹腔镜下肾癌剜除术。分析比较两组患者术中出血量、术中平均热缺血时间、术后胃肠功能恢复时间、术后引流管引流血量、住院时间、术后并发症及生存率的差异。结果:所有患者手术均顺利完成。后腹腔镜组与传统组相比:术中出血量、术中平均热缺血时间、术后胃肠功能恢复时间、术后引流管引流血量、平均住院时间差异均具有统计学意义(P<0.05);术后均无严重并发症,差异无统计学意义(P>0.05);平均随访36个月,所有患者均无远处转移及死亡,两组生存率差异无统计学意义(P>0.05)。结论:与传统肾部分切除术相比,后腹腔镜下肾癌剜除术术中、术后出血少,术后恢复较快,术后并发症少,且远期预后及生存率与传统肾部分切除术效果相当,是治疗早期肾癌的首选方法。 展开更多
关键词 早期肾肿瘤 后腹腔镜下肾癌剜除术 传统肾肿瘤部分切除术
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