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外加辅助阳极的高功率脉冲磁控溅射管内Cr涂层制备及其性能分析
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作者 王子嘉 李宇鑫 +3 位作者 胡天时 田修波 巩春志 张辉 《中国表面工程》 北大核心 2025年第1期99-106,共8页
工业生产中管筒件内表面的工作环境恶劣,对腐蚀和磨损等方面的性能有更高要求。为改善管筒件的内表面性能,采用管尾添加辅助阳极的高功率脉冲磁控溅射(Hi PIMS)技术对内径40 mm、长度120 mm碳钢管进行内壁Cr涂层制备。探究辅助阳极电压... 工业生产中管筒件内表面的工作环境恶劣,对腐蚀和磨损等方面的性能有更高要求。为改善管筒件的内表面性能,采用管尾添加辅助阳极的高功率脉冲磁控溅射(Hi PIMS)技术对内径40 mm、长度120 mm碳钢管进行内壁Cr涂层制备。探究辅助阳极电压对Cr靶放电特性和管内Cr沉积的可达深度、相结构及其力学性能的影响规律,分析外加辅助阳极后管内等离子体分布情况,并建立理论模型。结果表明,较高的辅助阳极电压下,基体电流有所增加,特别在管尾位置处。随着辅助阳极电压升高,管内Cr沉积可达深度整体提高,膜层致密度提升。Cr膜的涂层硬度和弹性模量均随着辅阳电压的提高先上升后下降。当辅助阳极电压40V时,Cr涂层可达深度最好,具有最高的硬度和弹性模量。在HiPIMS放电条件下,辅助阳极可以通过牵引电子实现对等离子体定向输运的调控,并显著提高管尾等离子体密度。实现了在管筒件内表面沉积Cr涂层,满足了管筒件内表面在恶劣环境下广泛应用的需求。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射 管内壁镀膜 辅助阳极 等离子体分布 可达深度
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工作气压对管内HiPIMS等离子体输运行为和Cr涂层性能的影响
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作者 胡天时 田修波 +3 位作者 巩春志 王本福 祝天放 张辉 《中国表面工程》 北大核心 2025年第2期27-35,共9页
受限于等离子体输运等问题,在细长管内壁进行物理气相沉积涂层制备面临极大挑战。通过自主设计的高真空条件下高功率脉冲磁控溅射系统实现了低气压下稳定放电,并探究了工作气压对平面Cr靶放电等离子体输运特性和管内Cr膜沉积的影响规律... 受限于等离子体输运等问题,在细长管内壁进行物理气相沉积涂层制备面临极大挑战。通过自主设计的高真空条件下高功率脉冲磁控溅射系统实现了低气压下稳定放电,并探究了工作气压对平面Cr靶放电等离子体输运特性和管内Cr膜沉积的影响规律。对沉积膜层厚度、组织结构、纳米硬度及耐磨性进行了研究。放电结果显示在保持放电功率和脉冲电压不变,降低工作气压会削弱气体放电作用,促进等离子体向管尾的输运。膜层沉积结果表明,随工作气压从1.2 Pa降低到0.1 Pa,四组涂层的膜厚不均匀度系数从310%降低到205%,膜层均匀性明显提高;管内位置1处晶粒尺寸从35.77 nm降低到27.1 nm,表面粗糙度从3.58 nm降低到2.29 nm,纳米硬度从6.37 GPa提高到8.36 GPa。同时,0.1 Pa时磨痕宽度和摩擦系数均降低,表现出最优的耐磨性能。低气压HiPIMS技术在等离子体远距离输运中表现出显著优势,有望进一步扩展磁控溅射技术在管内壁涂层制备等领域的应用。 展开更多
关键词 工作气压 磁控溅射 等离子体输运 管内膜层沉积 Cr膜
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高压冷喷涂制备微纳米双尺度SiCp/6061Al复合涂层
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作者 周长壮 银谱馨 +2 位作者 巩春志 刘启明 田修波 《中国表面工程》 北大核心 2025年第3期306-315,共10页
冷喷涂制备碳化硅颗粒增强铝基复合涂层在材料防护领域展现出广阔的应用前景,但目前单一尺度增强相对复合涂层性能的强化作用有限。为了进一步增强复合涂层力学性能,采用微米+纳米双尺度增强相模式,通过纳米颗粒的加入进一步增强SiC颗... 冷喷涂制备碳化硅颗粒增强铝基复合涂层在材料防护领域展现出广阔的应用前景,但目前单一尺度增强相对复合涂层性能的强化作用有限。为了进一步增强复合涂层力学性能,采用微米+纳米双尺度增强相模式,通过纳米颗粒的加入进一步增强SiC颗粒对复合涂层的各自尺度优势和耦合效应,制备出综合性能优异的复合涂层,从而满足对其强度、耐磨性等性能的综合要求。通过高压冷喷涂技术设计并制备微纳米SiC/6061Al复合涂层,系统研究微纳米增强复合涂层制备及微观组织及性能变化。结果表明:冷喷涂可实现微纳米双尺度SiC/6061Al复合涂层的制备,所制备SiC/Al纳米复合涂层组织致密,微米及纳米级SiC弥散分布在6061Al基体之上;相比于单一微米增强SiC/6061Al复合涂层,纳米颗粒SiC颗粒对6061Al基体有明显强化作用,冷喷涂微纳米增强SiC/6061Al复合涂层的硬度相比微米增强SiC/6061Al复合涂层提高了14%,且耐磨损性能明显增强,磨损率降低了41.92%。随着气体压力逐渐增大,微纳米增强SiC/6061Al复合涂层的硬度逐渐升高,磨损率逐渐降低。当气体压力达到5 MPa时,磨损率降低到3.0919×10^(-4)mm^(3)/(N·m)。所提出的冷喷涂制备双尺度SiC/6061Al复合涂层方可为未来碳化硅颗粒增强铝基复合涂层的应用提供数据支持。 展开更多
关键词 高压冷喷涂 微纳米增强SiCp/6061Al复合涂层 气体压力
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超声波塑料焊机发生器研制的若干问题 被引量:7
4
作者 田修波 阎久春 +1 位作者 蔡七雄 杨士勤 《声学技术》 CSCD 1994年第2期69-74,共6页
本文从超声波塑料焊工艺特点和换能器特性出发,对发生器应具备的功能、技术关键进行了分析和研究。根据实际研究中出现的问题,设计了较为完善的频率自动跟踪电路,并对焊机的功率自动调节、电路匹配等技术关键进行了实验研究和探讨分析。
关键词 超声波应用 塑料焊机 发生器
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AISI304钢表面低电压等离子体基离子注入层摩擦磨损性能研究 被引量:6
5
作者 田修波 汤宝寅 Chu Paul K 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期81-84,共4页
采用高频低电压等离子体浸没离子注入 (HL PIII)技术对 AISI30 4不锈钢表面进行了氮离子注入处理 ;用球 -盘摩擦磨损试验机考察了注入处理后钢表面改性层的摩擦磨损性能 ;用扫描电子显微镜 (SEM)、俄歇电子能谱仪(AES)和 X射线衍射仪 (X... 采用高频低电压等离子体浸没离子注入 (HL PIII)技术对 AISI30 4不锈钢表面进行了氮离子注入处理 ;用球 -盘摩擦磨损试验机考察了注入处理后钢表面改性层的摩擦磨损性能 ;用扫描电子显微镜 (SEM)、俄歇电子能谱仪(AES)和 X射线衍射仪 (XRD)考察了改性层的相组成、N元素的深度分布及磨损机理 .研究结果表明 :HL PIII处理能够显著提高样品的摩擦学性能 ,且其摩擦学性能对温度有较大的依赖性 . 40 0℃下处理样品的改质层明显比30 0℃下处理样品的厚 ,表面形成了较厚的膨胀奥氏体 ,从而提高了材料的承载能力 ;同时试样摩擦状态发生变化 ,导致材料摩擦系数减小 ,耐磨性提高约 2~ 1 0倍 . 展开更多
关键词 AISI304钢 摩擦磨损性能 不锈钢 HLPIII
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塑料制品超声波焊接表面热破坏行为研究 被引量:3
6
作者 田修波 潘欣虹 杨士勤 《工程塑料应用》 CAS CSCD 1998年第2期16-17,20,共3页
对塑料制品超声波焊接表面热破坏行为进行了研究。功率超声波本身特性及热传导作用致使焊件表面造成热破坏,它与工艺参数设置不当有关,提出了减少塑料制品表面热破坏的措施。
关键词 塑料制品 超声波焊接 表面热破坏 焊接
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等离子体浸没离子注入球形靶的鞘层尺度 被引量:3
7
作者 田修波 Paul K.Chu 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期99-104,共6页
对于等离子体浸没离子注入 (PIII)技术 ,球形靶鞘层尺度预测对真空室设计、批量处理研究等是十分有用的。但由于球形靶鞘层Child Langmuir定律数学表达的非线性使得工程应用较为困难。本文对球形靶的鞘层尺度进行了数值求解、讨论了注... 对于等离子体浸没离子注入 (PIII)技术 ,球形靶鞘层尺度预测对真空室设计、批量处理研究等是十分有用的。但由于球形靶鞘层Child Langmuir定律数学表达的非线性使得工程应用较为困难。本文对球形靶的鞘层尺度进行了数值求解、讨论了注入参数对鞘层尺度的影响。计算结果表明 ,鞘层厚度 (包括离子阵鞘层和稳态鞘层 )随球体半径或注入电压增加而增加 ,随等离子体密度增加而减小。但对于不同的参数区间 ,鞘层特性对参数的变化表现出不同的敏感性。当等离子体密度较高、注入电压较低时 ,稳态鞘层厚度对于靶体半径的变化极不敏感。相反鞘层厚度对靶体大小变化较为敏感。虽然平面靶与球形靶的离子阵鞘层尺度比值与等离子体密度及球体半径有关 ,但平面靶稳态鞘层尺度总是大于球形靶的。这对于实际的PIII应用具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 球形靶 鞘层尺度 金属 表面处理
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超声波塑料焊机声学系统连接界面破坏及PIII强化
8
作者 田修波 汤宝寅 +1 位作者 杨士勤 PaulKChu 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期233-237,共5页
对超声波塑料焊机的声学系统连接界面破坏进行了分析研究。表明硬铝合金焊头极易发生表面的粘着磨损破坏,使得声学系统谐振特性变坏,效率降低。采用等离子体浸没离子注入(PIII)的方法对声学系统的连接面进行了氮的注入强化。高... 对超声波塑料焊机的声学系统连接界面破坏进行了分析研究。表明硬铝合金焊头极易发生表面的粘着磨损破坏,使得声学系统谐振特性变坏,效率降低。采用等离子体浸没离子注入(PIII)的方法对声学系统的连接面进行了氮的注入强化。高、低压的交替处理使得表面显微硬度提高60 % ,而且在材料近表面生成了AlN 相,从而改变了其表面化学特性,使处理后的声学系统连接表面粘着倾向大大降低。 展开更多
关键词 超声波塑料焊机 粘着破坏 声学系统 离子注入
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C3场效应管型超声波清洗机研制中的若干问题
9
作者 田修波 杨士勤 +1 位作者 董震 王小峰 《声学技术》 CSCD 1996年第4期187-188,共2页
C3场效应管型超声波清洗机研制中的若干问题田修波杨士勤董震王小峰(哈尔滨工业大学现代焊接国家重点实验室哈尔滨·150001)1引言在各种化学的、物理的以及机械的清洗方法中,超声波清洗是最理想、最有效的一种,尤其对... C3场效应管型超声波清洗机研制中的若干问题田修波杨士勤董震王小峰(哈尔滨工业大学现代焊接国家重点实验室哈尔滨·150001)1引言在各种化学的、物理的以及机械的清洗方法中,超声波清洗是最理想、最有效的一种,尤其对于深孔、盲孔、狭缝中的污物,以及形状复... 展开更多
关键词 场效应管型 清洗机 超声波清洗机
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9Cr18轴承钢的金属离子加氮离子复合注入处理新工艺 被引量:14
10
作者 汤宝寅 王松雁 +4 位作者 王晓峰 甘孔银 曾照明 田修波 Paul K.Chu 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期24-28,共5页
简单地叙述了金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)表面处理新工艺的发展,以及MePIIID工艺对于脉冲阴极弧金属等离子体源的要求。详细报导了9Cr18轴承钢样品的氮离子注入表面处理工艺以及金属离子加氮离子复合注入处理新工艺。... 简单地叙述了金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)表面处理新工艺的发展,以及MePIIID工艺对于脉冲阴极弧金属等离子体源的要求。详细报导了9Cr18轴承钢样品的氮离子注入表面处理工艺以及金属离子加氮离子复合注入处理新工艺。对被处理和未被处理试样进行了显微硬度、磨痕、摩擦因数及腐蚀特性测试后表明:用金属离子加氮离子复合注入处理的9Cr18钢试样的表面特性改善明显优于只用氮离子处理的试样,证明脉冲阴极弧金属等离子体源和气体等离子体浸没离子注入相结合是现代材料表面强化的一个很有效的手段。 展开更多
关键词 金属离子 氮离子 离子注入 表面改性 轴承钢
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添加K2ZrF6对LY12铝合金微弧氧化膜层结构调制及隔热性能影响 被引量:15
11
作者 张欣盟 陈东方 +2 位作者 巩春志 杨士勤 田修波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期865-870,共6页
基于K_2ZrF_6在碱性溶液中形成负电Zr(OH)_4颗粒的作用机理,在添加K_2ZrF_6的Na_2SiO_3-KOH溶液中,对LY12铝合金表面进行微弧氧化处理.利用扫描电镜(SEM)、能谱(EDX)和X射线衍射仪(XRD)探讨了K_2ZrF_6添加剂对成膜速率、膜层形貌及结构... 基于K_2ZrF_6在碱性溶液中形成负电Zr(OH)_4颗粒的作用机理,在添加K_2ZrF_6的Na_2SiO_3-KOH溶液中,对LY12铝合金表面进行微弧氧化处理.利用扫描电镜(SEM)、能谱(EDX)和X射线衍射仪(XRD)探讨了K_2ZrF_6添加剂对成膜速率、膜层形貌及结构的调制作用,并借助热阻隔性能测试评价了不同溶液中所形成膜层的热阻隔效果.结果表明,溶液中添加K_2ZrF_6增大了微弧氧化的成膜速率,使膜层的内外表面较为平整,且膜层中大尺寸缺陷减少.EDX线扫描分析表明,添加K_2ZrF_6后形成的膜层中出现大量Zr元素,且其含量随距膜/基界面距离的增加而增加.XRD结果显示,未添加K_2ZrF_6溶液制得的膜层主要由γ-Al_2O_3和α-Al_2O_3相组成;添加K_2ZrF_6后,膜层中晶态氧化物含量降低、非晶态物质增多.隔热性能测试显示,经K_2ZrF_6调制后的膜层具有更加优良的热阻隔性能. 展开更多
关键词 铝合金 微弧氧化 组织结构 调制作用
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等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化 被引量:10
12
作者 黄永宪 田修波 +3 位作者 杨士勤 黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了... 等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了一维粒子模型(PIC)对其进行了数值模拟,该模型通过求解空间电势的Poisson方程,电子的Bolzmann分布以及离子在网格中受力运动的Newton运动方程来完成。本文重点研究了一个初始离子阵鞘层内电势、离子浓度、离子注入靶体的速度和动能以及离子流密度的时空演化规律。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 离子注人 鞘层 子阵 PⅢ 物理量 Poisson方程 材料表面改性 Newton 时空演化规律 离子流密度 脉冲偏压 数值模拟 粒子模型 求解空间 运动方程 离子浓度 靶体 电势 一维 电子 动能
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高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积CrN薄膜研究 被引量:13
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作者 吴忠振 田修波 +2 位作者 王泽明 巩春志 杨士勤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期459-464,共6页
采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的... 采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,相结构单一,主要是CrN(200)相。对薄膜的结合力、硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试分析表明:薄膜与基体之间有很好的结合力,临界载荷最高可达68 N,同时硬度、弹性模量、耐磨性及耐腐蚀性都有很大提高,其中硬度最高达到23.6 GPa,是基体硬度的4.7倍,摩擦系数为0.5左右,且磨痕较窄、较浅,腐蚀电位最高提高0.32 V,腐蚀电流下降12个数量级。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控放电 等离子体离子注入与沉积 氮化铬 微观结构 表面性能
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镁合金微弧氧化Na_2CO_3诱导析气反应及结构调制 被引量:10
14
作者 王晓波 田修波 +1 位作者 巩春志 杨士勤 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期721-725,共5页
阳极析气能够有效调制微弧氧化膜层表面形貌.实验提出了一种CO2增强析气的方法.在Na3PO4+KOH+NaF溶液中添加Na2CO3对AZ31镁合金表面进行微弧氧化处理.利用气相质谱、扫描电镜、X射线衍射、红外光谱扫描探讨了Na2CO3添加剂对阳极区析气... 阳极析气能够有效调制微弧氧化膜层表面形貌.实验提出了一种CO2增强析气的方法.在Na3PO4+KOH+NaF溶液中添加Na2CO3对AZ31镁合金表面进行微弧氧化处理.利用气相质谱、扫描电镜、X射线衍射、红外光谱扫描探讨了Na2CO3添加剂对阳极区析气反应的影响和对膜层形貌、结构的调制作用.结果表明:与传统微弧氧化不同,添加Na2CO3之后,阳极区产生的气体既有O2也有CO2.在含Na2CO3的电解液中,微弧氧化前期的阳极氧化阶段有MgCO3生成;在微弧氧化后期,膜层中不含有MgCO3,膜层主要相仍为MgO相.对比发现,经过Na2CO3调制之后的膜层表面大尺寸孔隙数目减少,膜层孔隙率提高. 展开更多
关键词 微弧氧化 析气 镁合金 NA2CO3 调制作用
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超声波焊接聚乙烯接头温度场的计算及检测 被引量:10
15
作者 杨士勤 董庆刚 +2 位作者 田修波 王小峰 魏强 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期172-178,共7页
利用波在粘弹性体中能量的转换机理,给出了超声波焊接聚乙烯时在接头处能量的转换形式,同时计算了接头处的温度分布。试验结果表明,所建立的能量模型及温度计算结果是合理的,这有助于建立合理的焊接工艺规范。
关键词 超声波焊接 聚乙烯 有限差分 接头 温度场
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Ⅲ型界面裂纹Dugdale模型的动态扩展问题 被引量:8
16
作者 吕念春 程云虹 +1 位作者 田修波 程靳 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2005年第9期1105-1113,共9页
通过复变函数论的方法,对材料的非线性特性下的Ⅲ型界面裂纹Dugdale模型的动态扩展问题进行了研究.采用自相似函数的方法可以获得解析解的一般表达式.应用该法还可以很容易将所讨论的问题转化为Riemann_Hilbert问题,并可以相当简单地得... 通过复变函数论的方法,对材料的非线性特性下的Ⅲ型界面裂纹Dugdale模型的动态扩展问题进行了研究.采用自相似函数的方法可以获得解析解的一般表达式.应用该法还可以很容易将所讨论的问题转化为Riemann_Hilbert问题,并可以相当简单地得到问题的闭合解.利用这些解并采用叠加原理,就可以求得任意复杂问题的解. 展开更多
关键词 复变函数 Dutgdale模型 界面裂纹 自相似函数 解析解
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脉冲偏压占空比和放置状态对大颗粒分布规律的影响 被引量:6
17
作者 魏永强 刘建伟 +2 位作者 文振华 蒋志强 田修波 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第4期134-137,共4页
利用电弧离子镀方法在201不锈钢基体上制备了Ti N薄膜,研究了脉冲偏压占空比和基体放置状态对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电镜观察了Ti N薄膜的表面形貌,利用Image J图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在... 利用电弧离子镀方法在201不锈钢基体上制备了Ti N薄膜,研究了脉冲偏压占空比和基体放置状态对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电镜观察了Ti N薄膜的表面形貌,利用Image J图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在工艺参数相同情况下,转动时Ti N薄膜表面的大颗粒数目较多;随脉冲偏压占空比的增大,薄膜表面的大颗粒数目迅速降低,当占空比为40%时,大颗粒所占的面积比达到最小值,分别为静止时的1.9%和转动时的6.8%,为最佳的占空比值。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TIN 脉冲偏压 大颗粒 占空比
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基于同步信号的多路延时IGBT驱动电路设计 被引量:4
18
作者 石经纬 巩春志 +2 位作者 张可心 田修波 杨士勤 《电力自动化设备》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期123-126,共4页
基于同步信号设计了一种可实现相互之间高压隔离的IGBT多路延时驱动电路系统,并应用到Marx电路中,实现了可柔性调节的阶梯型脉冲高压输出。试验结果表明,延时驱动电路可实现最大30μs的延时,且具有IGBT驱动电压欠压保护、自给反向栅压... 基于同步信号设计了一种可实现相互之间高压隔离的IGBT多路延时驱动电路系统,并应用到Marx电路中,实现了可柔性调节的阶梯型脉冲高压输出。试验结果表明,延时驱动电路可实现最大30μs的延时,且具有IGBT驱动电压欠压保护、自给反向栅压等功能,同时场效应管的存在抑制了栅射极电压振荡。驱动信号高压隔离变压器为单原边多副边结构,简单紧凑,通过副边数目的增减,可驱动不同级数的Marx电路,具有扩展性好的优点。过流保护电路反应速度快,IGBT关断可靠,可在2μs之内抑制短路电流继续上升。该驱动电路应用于10级的Marx电路中,实现了峰值电压10 kV,脉冲宽度30μs,最大电压阶数10阶的脉冲高压输出。 展开更多
关键词 延时 驱动电路 MARX电路 阶梯型脉冲 欠压保护 IGBT 场效应管
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等离子体浸没离子注入及表面强化工艺的进展 被引量:7
19
作者 汤宝寅 王松雁 +5 位作者 刘爱国 曾照明 田修波 王小峰 王浪平 PaulKChu 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1999年第S1期181-185,192,共6页
等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍有若干重要的物理... 等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍有若干重要的物理与技术问题 ,诸如浅的注入层、离子注入不均匀性、气体 (氮 )等离子体的有限应用范围等等 ,阻碍了PIII工业应用的发展 .目前 ,这些问题已成为国内外学者关注的焦点 .我实验室近年来在注入过程鞘层动力学的计算机理论模拟、离子注入剂量不均匀性改善、圆筒内表面注入研究、新型长射程阴极弧金属等离子体源研制、气体及金属等离子体的综合性表面改性工艺研究、以及低能高温PIII新工艺研究等方面进行了研究工作 . 展开更多
关键词 离子注入 等离子体浸没离子注入 表面改性
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磁控溅射TiN/Cu-Zn纳米多层膜腐蚀和抗菌性能研究 被引量:8
20
作者 韦春贝 巩春志 +1 位作者 田修波 杨士勤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期96-100,共5页
采用双靶磁控溅射的方法在不锈钢表面沉积了TiN/Cu-Zn纳米多层膜,研究了多层结构对膜层耐腐蚀性能和抗菌性能的影响,以及表面腐蚀与抗菌的关系。结果表明,Cu-Zn层比较薄时,膜层的耐腐蚀性能比较好,随着Cu-Zn层厚度的增加耐腐蚀性... 采用双靶磁控溅射的方法在不锈钢表面沉积了TiN/Cu-Zn纳米多层膜,研究了多层结构对膜层耐腐蚀性能和抗菌性能的影响,以及表面腐蚀与抗菌的关系。结果表明,Cu-Zn层比较薄时,膜层的耐腐蚀性能比较好,随着Cu-Zn层厚度的增加耐腐蚀性能显著下降。Cu-Zn层薄时,膜层抗菌性能对TLN层厚度较为敏感;而当Cu-Zn层较厚时,抗菌性能对TiN层厚度不敏感,均具有较好的抗菌性能。存在合适的多层结构,如TIN层厚度为3.3~5nm左右,Cu-Zn层厚度约为4nm时,使得膜层具有良好的抗菌性能和耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 TiN/Cu-Zn多层膜 腐蚀 抗菌性能
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