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提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究 被引量:11
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作者 柯才军 易新建 赖建军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2004年第2期209-212,共4页
为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器... 为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子。 展开更多
关键词 微透镜阵列 填充因子 CCD 反应离子刻蚀
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高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究 被引量:2
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作者 柯才军 易新建 赖建军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期52-55,共4页
为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列。本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论。最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几... 为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列。本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论。最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性。其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率。 展开更多
关键词 有效孔径比 CCD 图像传感器 石英微透镜阵列 反应离子刻蚀
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CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究
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作者 柯才军 易新建 赖建军 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期186-189,共4页
为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善... 为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善CCD入射信号光的光强分布、提高光利用效率 。 展开更多
关键词 CCD传感器 光学设计 微透镜阵列 填充因子
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SF_6/O_2/CHF_3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究 被引量:7
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作者 周宏 赖建军 +3 位作者 赵悦 柯才军 张坤 易新建 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期28-31,共4页
采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术。为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的函数。文中讨论了各种变量的变化对刻蚀速率和选择... 采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术。为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的函数。文中讨论了各种变量的变化对刻蚀速率和选择比的影响以及刻蚀机理,证实了加入CHF3可以显著地减小表面粗糙的结论。 展开更多
关键词 反应离子刻蚀 刻蚀速率 选择比
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Fabrication, Testing and Integration Technologies of Polymer Microlens for Pt/Si Schottky-Barrier Infrared Charge Coupled Device Applications 被引量:2
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作者 柯才军 易新建 +1 位作者 赖建军 陈四海 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2005年第1期135-138,共4页
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三维成像激光雷达的隐伪目标探测技术 被引量:1
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作者 史要涛 赵文 +3 位作者 于临昕 张燕 柯才军 王晓剑 《现代防御技术》 北大核心 2015年第5期7-11,共5页
复杂战场环境下有效探测地面隐伪目标是提高导弹作战效能的关键。针对现有APD阵列大小受限问题,提出了一种利用高空间分辨率的二维焦平面阵列和低空间分辨率的APD阵列进行联合探测技术,仿真实验结果表明,该技术可以实现高分辨率的三维成... 复杂战场环境下有效探测地面隐伪目标是提高导弹作战效能的关键。针对现有APD阵列大小受限问题,提出了一种利用高空间分辨率的二维焦平面阵列和低空间分辨率的APD阵列进行联合探测技术,仿真实验结果表明,该技术可以实现高分辨率的三维成像,为现有的基于高分辨三维激光雷达的隐伪目标探测技术提供了一种可行性方案。 展开更多
关键词 三维成像 激光雷达 隐伪目标 高分辨 期望最大化
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一种红外导引头成像自适应非均匀性校正方法 被引量:1
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作者 张燕 史要涛 +2 位作者 武春风 于翠萍 柯才军 《红外技术》 CSCD 北大核心 2014年第10期836-840,共5页
在红外成像制导应用中,为满足长周期免拆卸贮存的应用需求,红外导引头非均匀性的研究越来越多的集中于采用自适应的校正方法来代替传统的参考源的非均匀性校正方法。针对传统基于神经网络的自适应非均匀性校正算法容易造成"鬼影&qu... 在红外成像制导应用中,为满足长周期免拆卸贮存的应用需求,红外导引头非均匀性的研究越来越多的集中于采用自适应的校正方法来代替传统的参考源的非均匀性校正方法。针对传统基于神经网络的自适应非均匀性校正算法容易造成"鬼影"的问题,提出了一种改进的红外导引头成像自适应非均匀性校正算法。该方法在传统神经网络非均匀性校正的基础上,进行了4点实用化的改进:首先,通过对图像运动判断,避免场景静止时的过学习;其次,采用自适应学习率,避免细节丰富区域的过学习;然后,利用双边滤波求期望目标的评估,减少细节的损失;最后,通过判断误差函数的波动量来决定是否对偏置进行更新。实验结果表明,该方法在校正精度、收敛速度和稳定性方面均优于传统的神经网络校正算法。 展开更多
关键词 红外导引头 非均匀性校正 神经网络 双边滤波
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