扩散炉自动上下料系统安全性设计

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作者 林伯奇 罗于亮 +1 位作者 毛朝斌 陈特超 《电子工业专用设备》 2013年第7期37-40,共4页

介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模... 介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。 展开更多

关键词 自动上下料系统 扩散炉 系统安全性

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SiC外延炉加热系统的设计 被引量：5

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作者 陈特超 林伯奇 +6 位作者 龙长林 肖慧 胡凡 程文静 丁杰钦 杨一鸣 龚杰洪 《电子工业专用设备》 2017年第1期4-7,34,共5页

碳化硅材料是一种宽禁带半导体材料,其耐高温、耐高压的特性特别适合制作大功率半导体器件。近几年来,随着SiC器件生产工艺技术的突破,碳化硅器件得到了快速的发展,其相关设备也在不断开发并走向成熟。简要介绍了SiC外延生长设备中加热... 碳化硅材料是一种宽禁带半导体材料,其耐高温、耐高压的特性特别适合制作大功率半导体器件。近几年来,随着SiC器件生产工艺技术的突破,碳化硅器件得到了快速的发展,其相关设备也在不断开发并走向成熟。简要介绍了SiC外延生长设备中加热器的设计方法、温度控制以及温度均匀性调节方法,通过实验验证了温度均匀性及控制精度。 展开更多

关键词 碳化硅 外延生长 加热器 线圈 温度曲线

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一种用于预估MOCVD工艺结果的改进方法 被引量：1

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作者 陈立宁 林伯奇 +1 位作者 魏唯 胡晓宇 《电子工业专用设备》 2015年第8期10-14,23,共6页

Apriori算法是关联规则中的一种典型算法。该算法结构简单,以递归统计为基础,采用逐层搜索的方式对大量数据进行提取,挖掘数据记录之间的关联规则。针对Apriori算法产生候选记录集过多的问题,提出了一种改进方法减少候选记录集的组合个... Apriori算法是关联规则中的一种典型算法。该算法结构简单,以递归统计为基础,采用逐层搜索的方式对大量数据进行提取,挖掘数据记录之间的关联规则。针对Apriori算法产生候选记录集过多的问题,提出了一种改进方法减少候选记录集的组合个数。一项MOCVD工艺包含了流量、压力、温度等多种实时数据,数据量庞大,根据改进方法对MOCVD工艺中所产生的实时数据以及操作记录进行分析、挖掘出这些数据记录之间的关联关系;然后根据MOCVD工艺结果,判断这些关联关系对MOCVD工艺的影响,并作为下一次工艺数据编辑的依据。 展开更多

关键词 APRIORI算法 MOCVD 关联规则 候选记录集

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高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究 被引量：1

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作者 毛朝斌 陈特超 +1 位作者 李克 林伯奇 《电子工业专用设备》 2012年第4期20-23,共4页

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。

关键词 串级控制 扩散炉 PID

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高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究

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作者 毛朝斌 李克 +2 位作者 李健志 林伯奇 陈特超 《电子工业专用设备》 2012年第9期11-13,17,共4页

制绒工艺作为晶体硅太阳能电池生产的重要环节,电池厂商在要求保证工艺质量的前提下,希望能扩大单台设备的产能。介绍了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统中关键部件制绒槽和移载机械手。该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研... 制绒工艺作为晶体硅太阳能电池生产的重要环节,电池厂商在要求保证工艺质量的前提下,希望能扩大单台设备的产能。介绍了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统中关键部件制绒槽和移载机械手。该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研究该系统能满足100 MW生产线的生产要求。 展开更多

关键词 制绒设备 晶体硅太阳能电池 高产能

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图形双缓冲和GDI+在多靶磁控溅射系统中的应用

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作者 陈立宁 罗超 +1 位作者 林伯奇 彭栋 《电子工业专用设备》 2017年第4期50-55,共6页

根据双缓冲的原理,利用GDI+中高级图形处理功能较高地还原磁控溅射工艺的全流程,以动画的形式实时呈现在UI界面上的全过程。双缓冲的实现使得用户在观察窗狭小的情况下,通过软件UI界面能实时浏览工艺的当前运行进度。

关键词 双缓冲 闪烁 图形设备用户接口

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Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用

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作者 何华云 林伯奇 胡晓宇 《电子工业专用设备》 2014年第12期27-30,共4页

介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。

关键词 MODBUS TCP 高温MOCVD 以太网通信协议

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氮窑氧含量巡回检测分析仪的抗干扰设计 被引量：1

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作者 龙娟 易臻希 林伯奇 《电子工业专用设备》 2003年第4期59-61,共3页

简要介绍了在氮窑氧含量巡回检测分析仪的研制过程中,硬件、软件设计时针对系统电源、接地、印制电路板布线、信号滤波等方面采取的抗干扰措施。实践表明,采用了诸多抗干扰措施的系统运行稳定可靠,抗干扰效果尤其显著。

关键词 抗干扰设计 巡回检测 可靠性

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EFEM通讯接口与系统设计

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作者 吴限 林伯奇 +1 位作者 万胜强 巴赛 《电子工业专用设备》 2024年第6期7-9,73,共4页

为了实现对外延设备EFEM(Equipment Front End Module)模块的控制,阐述了一种基于Modbus通信协议的自动化控制系统。主要讨论了系统的硬件组成,并详细分析了Modbus RTU协议工作方式,同时,在软件层面上说明了接口控制的协议指令定义规则... 为了实现对外延设备EFEM(Equipment Front End Module)模块的控制,阐述了一种基于Modbus通信协议的自动化控制系统。主要讨论了系统的硬件组成,并详细分析了Modbus RTU协议工作方式,同时,在软件层面上说明了接口控制的协议指令定义规则与常规运行流程。 展开更多

关键词 接口协议 MODBUS通信协议 机器人 设备前端模块(EFEM)

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SiC外延生长设备控制系统设计 被引量：2

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作者 周立平 林伯奇 +1 位作者 吴限 袁祖浩 《电子工业专用设备》 2021年第6期35-40,共6页

为实现对SiC外延生长设备运行中水、电、气、温度、压力、运动等参数的全面实时稳定的控制,采用模块化设计方法,设计了SiC外延生长设备控制系统,介绍了SiC外延生长设备控制系统总体架构、硬件组成与主要分控系统的设计。目前已成功应用... 为实现对SiC外延生长设备运行中水、电、气、温度、压力、运动等参数的全面实时稳定的控制,采用模块化设计方法,设计了SiC外延生长设备控制系统,介绍了SiC外延生长设备控制系统总体架构、硬件组成与主要分控系统的设计。目前已成功应用于SiC外延生长设备上,经过实际工艺验证,控制系统架构完备、性能稳定。 展开更多

关键词 SiC外延 控制系统 分控系统 架构设计

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影响SiC外延生长速率的相关因素探讨 被引量：1

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作者 丁杰钦 陈特超 +3 位作者 林伯奇 龙长林 杨一鸣 龚杰洪 《电子工业专用设备》 2017年第5期14-17,共4页

研制了水平热壁式外延沉积系统,设计了双加热器温控系统和水平三层流喷淋系统,介绍了温场和流场获得方法。在偏4°的Si面4H-SiC单晶衬底上进行了工艺验证。研究了生长温度、C/Si以及SiH_4流量对SiC外延生长速率的影响,通过主要参数... 研制了水平热壁式外延沉积系统,设计了双加热器温控系统和水平三层流喷淋系统,介绍了温场和流场获得方法。在偏4°的Si面4H-SiC单晶衬底上进行了工艺验证。研究了生长温度、C/Si以及SiH_4流量对SiC外延生长速率的影响,通过主要参数的综合调整,生长出了表面光滑的SiC外延膜。 展开更多

关键词 三层流喷淋头 4H-SIC C/Si比 生长速率

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水平液相外延设备控制系统研究与设计

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作者 罗臻 林伯奇 《中国集成电路》 2022年第9期65-70,共6页

液相外延(LPE)是制备碲镉汞(HgCdTe)薄膜的主流工艺技术,也是Hg CdTe红外焦平面器件制造的最关键工序,目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运。为了实现LPE设备的国产替代,我们对设备进行研究,设计了一套满足高精度温度控制、工... 液相外延(LPE)是制备碲镉汞(HgCdTe)薄膜的主流工艺技术,也是Hg CdTe红外焦平面器件制造的最关键工序,目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运。为了实现LPE设备的国产替代,我们对设备进行研究,设计了一套满足高精度温度控制、工艺压力控制、自动拉舟等要求的控制系统,并详细介绍了该控制系统下位机和上位机软件的设计思路,并给出了相关的设计流程图。 展开更多

关键词 水平液相外延 控制系统 监控软件 温度控制

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