摘要
介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。
A kind of autom atic loading and unloading system for horizontal diffusion furnace is m entioned in this dissertation,in w hich the security about this system is discussed and the resolution isproduced especially.Thissystem hasgood controleffect,reduce laborcosts,increase productivity, and enhance the security of the device , w hich is suitable for large-scale solar cell production requirem ents.
出处
《电子工业专用设备》
2013年第7期37-40,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
自动上下料系统
扩散炉
系统安全性
A utom atic loading and unloading system
D iffusion furnace
System security
作者简介
林伯奇（1969-），男，湖南武冈人，高级工程师。研究方向：半导体、光伏装备制造。
