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氮化学计量TiCrN涂层的制备及导电性能研究
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作者 李琳 楼美琪 +2 位作者 赵小花 杜军旗 孙峰 《热加工工艺》 北大核心 2025年第17期201-205,共5页
采用反应磁控共溅射技术,通过调节转速(0、5、10、20 r/min)制备了具有不同化学计量比的TiCrN涂层材料。研究了氮化学计量比对TiCrN涂层的相组成、微观形貌、结合力以及导电性能的影响。结果表明:TiCrN涂层的氮化学计量比均小于1,并且... 采用反应磁控共溅射技术,通过调节转速(0、5、10、20 r/min)制备了具有不同化学计量比的TiCrN涂层材料。研究了氮化学计量比对TiCrN涂层的相组成、微观形貌、结合力以及导电性能的影响。结果表明:TiCrN涂层的氮化学计量比均小于1,并且随着转速的增加而增加;制备的晶体TiCrN涂层颗粒均为纳米级,并且粒径随着氮的化学计量比的增加而变大;TiCrN涂层的结合力与氮的化学计量比变化趋势一致,都随着转速的升高而增加;TiCrN涂层的电阻率的变化为几何缺陷和电子缺陷相互作用的结果,当转速为0 r/min时,薄膜呈现非晶态,电阻率最高,当转速增加到5 r/min时,几何缺陷使TiCrN涂层的电阻率仍然很高;当转速为10和20 r/min时,随着氮原子的填补,晶体变形减弱,几何缺陷下降,TiCrN涂层的电阻率均明显下降,电子缺陷使得转速为20 r/min的TiCrN涂层的电阻率比转速为10 r/min的高。 展开更多
关键词 TiCrN 磁控溅射 氮化学计量比 电阻率
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烧结温度对注射成形93W-4Ni-3Fe小尺寸螺纹的影响
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作者 郭亚杰 杜军旗 +1 位作者 陈俊之 潘小栋 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第10期88-90,100,共4页
研究了烧结温度对金属注射成形93W-4Ni-3Fe钨重合金小尺寸螺纹的影响。结果表明,样品在1400℃烧结后呈明显的固相烧结特征,W晶粒仍保持原始的不规则多边形,且分布不均匀。烧结温度高于1445℃,钨晶粒明显球化,属于液相烧结。随烧结温度升... 研究了烧结温度对金属注射成形93W-4Ni-3Fe钨重合金小尺寸螺纹的影响。结果表明,样品在1400℃烧结后呈明显的固相烧结特征,W晶粒仍保持原始的不规则多边形,且分布不均匀。烧结温度高于1445℃,钨晶粒明显球化,属于液相烧结。随烧结温度升高,钨的颗粒尺寸和基体体积分数不断增大,样品的致密化程度不断提高。在1480℃保温10 min条件下,W晶粒明显长大,硬度出现明显提高;样品在径向和轴向具有接近的收缩率,且随温度升高,两个方向的收缩率均增大。 展开更多
关键词 金属注射成形 钨重合金 烧结温度 近静成形
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