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基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究 被引量:15
1
作者 陈长虹 易新建 +1 位作者 张静 熊笔峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期136-138,共3页
用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常... 用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0 展开更多
关键词 测辐射热探测器 探测率 黑体响应率 噪声电压 VO2薄膜非致冷红外探测器 微电子工艺
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红外目标图像循环迭代复原算法的加速技术研究 被引量:15
2
作者 洪汉玉 王进 +1 位作者 张天序 易新建 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期115-118,共4页
为了提高图像处理的实时性,本文针对作者先前提出的循环迭代图像复原算法迭代次数多、收敛速度慢等问题,提出了一种基于线性搜索的加速迭代技术.该加速技术利用泰勒级数展开式根据当前次的迭代结果对下次迭代数据进行预测,合理地跳过原... 为了提高图像处理的实时性,本文针对作者先前提出的循环迭代图像复原算法迭代次数多、收敛速度慢等问题,提出了一种基于线性搜索的加速迭代技术.该加速技术利用泰勒级数展开式根据当前次的迭代结果对下次迭代数据进行预测,合理地跳过原有的一些迭代点,从而加快算法收敛.在达到相同复原效果条件下,减少了迭代次数,提高了算法的实时性.本文对收敛加速技术进行了理论分析和推导,在微机上进行了一系列的对比实验,实验结果表明,本文给出的加速技术效果显著,获取了加速因子的有效取值等一些有用的实验参数,算法具有实用价值. 展开更多
关键词 红外目标 气动光学 图像复原 迭代算法 加速技术
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非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备 被引量:8
3
作者 王宏臣 易新建 +2 位作者 陈四海 黄光 李雄伟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期64-66,共3页
采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化... 采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数 (TCR)在 2 0℃分别为 5 0KΩ和 - 0 .0 2 1K-1. 展开更多
关键词 非致冷红外探测器 氧化钒多晶薄膜 离子束溅射镀膜 电阻温度系数 半导体材料 薄膜结构
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应用于微系统封装的激光局部加热键合技术 被引量:12
4
作者 赖建军 陈西曲 +2 位作者 周宏 刘胜 易新建 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期257-260,共4页
阐述了利用激光与物质相互作用的热效应实现微系统器件的局部加热键合原理 ,提出了激光键合塑料芯片和激光辅助加热阳极键合的思想 ,建立了半导体激光键合实验装置 ,并实现了聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)
关键词 微系统封装 激光 热键合技术 微机电系统 聚甲基丙烯酸甲酯
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320×240红外焦平面阵列驱动电路的小型化设计研究 被引量:15
5
作者 李颖文 易新建 +1 位作者 何兆湘 罗艳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2001年第3期230-234,共5页
文中提出了 32 0× 2 4 0红外非制冷焦平面驱动电路及焦平面阵列模拟输出信号的数字化设计方法。采用Xilinx公司的XC950 0系列综合可编程逻辑器件设计时序电路 ,以实现电路的小型化。采用VHDL语言进行设计 ,便于在试制过程中对电路... 文中提出了 32 0× 2 4 0红外非制冷焦平面驱动电路及焦平面阵列模拟输出信号的数字化设计方法。采用Xilinx公司的XC950 0系列综合可编程逻辑器件设计时序电路 ,以实现电路的小型化。采用VHDL语言进行设计 ,便于在试制过程中对电路的逻辑进行修改。采用TI公司的A/D转换器THS140 8对焦平面输出的 5.5M模拟信号进行模数转换 ,降低了后续传输过程中的干扰。为 32 0× 2 4 0凝视型非制冷红外热像仪的研制打下了基础。 展开更多
关键词 微测辐射热计 非制冷 红外焦平面阵列 驱动电路
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利用FPGA实现红外焦平面阵列实时非均匀性校正 被引量:12
6
作者 孔令彬 易新建 +1 位作者 王典洪 叶敦范 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期39-42,共4页
实时非均匀性校正是红外成像的一项关键技术。根据红外焦平面阵列探测元光谱响应的特点和基于参照源的两点温标非均匀性校正理论,提出一种利用FPGA硬件实现红外焦平面阵列实时非均匀性两点校正的新方法。该方法动态范围大、处理速度快,... 实时非均匀性校正是红外成像的一项关键技术。根据红外焦平面阵列探测元光谱响应的特点和基于参照源的两点温标非均匀性校正理论,提出一种利用FPGA硬件实现红外焦平面阵列实时非均匀性两点校正的新方法。该方法动态范围大、处理速度快,适用于红外成像系统实时图像处理场合。仿真和实验结果证明是可行的。 展开更多
关键词 FPGA 红外焦平面阵列 非均匀性校正 现场可编程门阵列 红外成像系统
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纳米VO_2薄膜的制备及其可见光透过率的改善 被引量:24
7
作者 沈楠 李毅 易新建 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期199-202,共4页
阐述了一种纳米VO2薄膜材料新型结构的制备方法.先用反应离子束溅射和退火工艺在玻璃基底上制备出具有相变特性的薄膜.HRTEM及XRD显示这种薄膜含有纳米量级的VO2颗粒,四探针测试电阻温度关系表明该类材料相变温度已经靠近室温,变化温度... 阐述了一种纳米VO2薄膜材料新型结构的制备方法.先用反应离子束溅射和退火工艺在玻璃基底上制备出具有相变特性的薄膜.HRTEM及XRD显示这种薄膜含有纳米量级的VO2颗粒,四探针测试电阻温度关系表明该类材料相变温度已经靠近室温,变化温度下测得的红外透过曲线表明该材料在相变前后具有良好的红外光开关特性.再针对该薄膜材料较低的可见光透过率,提出S iO2减反膜设计,取得了较好的实验效果.为开展VO2薄膜材料在智能窗类光电产品的应用研究打下了基础. 展开更多
关键词 二氧化钒薄膜 相变 离子束溅射 智能窗
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亚波长浮雕结构的红外抗反射研究 被引量:7
8
作者 陈思乡 易新建 +1 位作者 曾延安 陈四海 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期471-474,共4页
基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维... 基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案 .测试结果表明 ,这种表面结构像单层抗反射膜一样 ,具有很好的增透效果 ,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率 ,而刻蚀深度则相当于镀层的 1/ 4波长厚度 . 展开更多
关键词 抗反射 亚波长结构 二元光学 等效媒质理论 离子束刻蚀技术 浮雕 等效折射率 电镜分析 红外理论
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基于各向异性规整化的总变分盲复原算法研究 被引量:8
9
作者 洪汉玉 何成剑 +2 位作者 陈以超 易新建 张天序 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第1期118-122,共5页
针对大气湍流退化图像复原问题,提出了一种基于各向异性和非线性规整化的总变分盲复原新算法,该算法主要结合图像和湍流点扩展函数的一些性质采用基于各向异性的空间自适应规整化处理,建立了具有非线性和空间各向异性的规整化函数,使其... 针对大气湍流退化图像复原问题,提出了一种基于各向异性和非线性规整化的总变分盲复原新算法,该算法主要结合图像和湍流点扩展函数的一些性质采用基于各向异性的空间自适应规整化处理,建立了具有非线性和空间各向异性的规整化函数,使其在恢复目标图像和估计点扩展函数时能自适应地进行梯度平滑。最后,通过交替最小化方案来极小化代价函数和通过定点迭代策略将非线性方程进行线性化处理,快速地估计点扩展函数和恢复图像。在微机上对数字模拟和实际退化图像进行了一系列恢复实验,验证了算法的有效性和稳健性。 展开更多
关键词 湍流退化图像 图像复原 总变分 各向异性规整化
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线列熔融石英微透镜阵列的光刻和氩离子束刻蚀制备 被引量:11
10
作者 张新宇 易新建 +3 位作者 赵兴荣 麦志洪 何苗 刘鲁勤 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第1期66-73,共8页
采用光刻和熔融成形法制备线列长方形供面光致抗蚀剂微透镜图形,采用固化技术对其作重整化处理,采用氩离子(Ar+)束刻蚀有效地实现线列长方形拱面光致抗蚀剂微透镜图形阵列向熔融石英(SiO2)基片上转移。所制单元熔融石英微透镜底... 采用光刻和熔融成形法制备线列长方形供面光致抗蚀剂微透镜图形,采用固化技术对其作重整化处理,采用氩离子(Ar+)束刻蚀有效地实现线列长方形拱面光致抗蚀剂微透镜图形阵列向熔融石英(SiO2)基片上转移。所制单元熔融石英微透镜底部的外形尺寸为300×95μm2,平均冠高14.3μm,平均曲率半径为86μm,平均焦距为258.1μm平均F/数2.7,平均大T/数2.9;平均光焦度5.8×10(-3)折光度。扫描电子显微镜(SEM)和表面探针测试表明,所制成的线列熔融石英微透镜阵列的图形整齐均匀,每个单元长方形拱面熔融石英微透镜的轮廓清晰,表面光滑平整。实验结果证实,光刻/氩离子束刻蚀技术适用于制备具有良好的均匀性和光学质量的单片熔融石英微透镜阵列器件,此技术对于制备与大面阵凝视焦平面成像探测器相匹配的大面降微透镜阵列具有重要意义。 展开更多
关键词 光刻 氩离子束刻蚀 微透镜 制备 微光学元件
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微型光扫描器研究 被引量:6
11
作者 黄鹰 向思桦 +2 位作者 陈四海 赖建军 易新建 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期26-29,共4页
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表... 设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符. 展开更多
关键词 微透镜阵列 压电驱动器 微光机电系统 微型光扫描器
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红外焦平面阵列基于黑体的非均匀性校正方法中的限制因素 被引量:11
12
作者 刘会通 易新建 +1 位作者 刘靖 徐隆 《红外技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期41-44,共4页
以基本的红外辐射理论为依据 ,阐述了红外焦平面阵列非均匀性校正的物理原理 ,首次综合性地论述了标定类方法所存在的三个基本限制因素 ,并重点给出了红外焦平面阵列响应漂移的实验结果。
关键词 红外焦平面阵列 非均匀性校正 响应漂移 黑体 限制因素
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利用DSP图像处理系统实现红外焦平面阵列的非均匀性校正 被引量:6
13
作者 柳刚 黄竹邻 +3 位作者 周昊 何兆湘 陈四海 易新建 《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期34-37,共4页
实用化、实时的非均匀性校正是红外焦平面器件应用的一个关键技术。根据两点校正法的原理,提出了一种利用 DSP 图像处理系统对红外焦平面阵列非均匀性进行校正的新方法。实验结果表明,此方法可以应用于实时红外视频图像的处理,并能达到... 实用化、实时的非均匀性校正是红外焦平面器件应用的一个关键技术。根据两点校正法的原理,提出了一种利用 DSP 图像处理系统对红外焦平面阵列非均匀性进行校正的新方法。实验结果表明,此方法可以应用于实时红外视频图像的处理,并能达到较好的效果。 展开更多
关键词 非均匀性校正 红外焦平面阵列 DSP 两点校正 图像处理系统 红外焦平面器件 视频图像 实时 关键技术 实用化
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SF_6/O_2/CHF_3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究 被引量:7
14
作者 周宏 赖建军 +3 位作者 赵悦 柯才军 张坤 易新建 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期28-31,共4页
采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术。为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的函数。文中讨论了各种变量的变化对刻蚀速率和选择... 采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术。为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的函数。文中讨论了各种变量的变化对刻蚀速率和选择比的影响以及刻蚀机理,证实了加入CHF3可以显著地减小表面粗糙的结论。 展开更多
关键词 反应离子刻蚀 刻蚀速率 选择比
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高温超导晶界结型红外探测器工作原理 被引量:5
15
作者 周方桥 郝建华 +3 位作者 易新建 赵兴荣 孙汉东 李再光 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第6期447-451,共5页
提出了高温超导晶界结型红外探测器在液氮温区可能同时存在测辐射热和光致非平衡两种效应的工作原理,给出了两种效应的响应率计算式,并在实验上研制了性能指标较高的YBa_2Cu_3O_(7-x)红外探测器。
关键词 高温超导体 测辐射热 光致非平衡 超导红外探测器 晶界结构 YBa2Cu3O7-x超导薄膜红外探测器
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128×128红外焦平面阵列驱动和信号后处理电路的设计 被引量:11
16
作者 徐隆 刘会通 +1 位作者 刘靖 易新建 《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期25-29,共5页
介绍了微测辐射热计的 12 8× 12 8凝视型非致冷红外热像仪的系统结构 ,着重论述了红外焦平面读出电路的驱动设计方案。该设计具有高集成度、高精度、低成本、布线简单等优点 ,符合第三代“灵巧”
关键词 非致冷红外焦平面阵列 驱动电路 红外探测器 信号后处理电路 现场可编程门阵列
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相变型VO_2薄膜的制备及其特性的研究 被引量:7
17
作者 周少波 王双保 +1 位作者 陈四海 易新建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期27-30,共4页
利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表... 利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表明,低温下薄膜的透过率是高温下薄膜透过率的近5倍。通过实验可以看出,氧气分压、退火温度、退火时间是影响制备新型相变型VO2薄膜的重要因素。 展开更多
关键词 VO2 薄膜 反应离子束溅射 相变特性 薄膜制备
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红外焦平面阵列性能参数测试平台 被引量:5
18
作者 肖静 周昊 +2 位作者 何兆湘 陈四海 易新建 《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第5期75-79,共5页
分析了红外焦平面阵列器件性能参数测试平台的要求,建立了包括红外源及 IRFPA 模块、控制模块和信号放大、采集、处理模块在内的测试系统,可用来进行响应率、探测率、噪声等效功率、噪声等效温差等红外焦平面阵列性能参数的测试。用此... 分析了红外焦平面阵列器件性能参数测试平台的要求,建立了包括红外源及 IRFPA 模块、控制模块和信号放大、采集、处理模块在内的测试系统,可用来进行响应率、探测率、噪声等效功率、噪声等效温差等红外焦平面阵列性能参数的测试。用此参数测试平台来测试 160×120 红外焦平面阵列,经软件分析处理测试数据,证明该测试平台是准确有效的。最后对红外焦平面阵列性能参数测试平台的进一步优化提出了要求。 展开更多
关键词 红外焦平面阵列 性能参数 测试平台 IRFPA 器件性能 噪声等效温差 探测率 软件分析 测试数据 模块
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提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究 被引量:11
19
作者 柯才军 易新建 赖建军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2004年第2期209-212,共4页
为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器... 为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子。 展开更多
关键词 微透镜阵列 填充因子 CCD 反应离子刻蚀
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红外焦平面阵列非均匀性的两点校正及依据 被引量:21
20
作者 刘会通 易新建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2004年第1期76-78,共3页
以Planck辐射定律和红外探测元的线性响应模型为基础,在理论上完整地推导了红外焦平面阵列非均匀性的两点校正方法;据此,论证了两点校正方法的物理依据,即从理论上证明如果探测元是线性和稳定响应的,该方法则可以实现非均匀性的准确校正... 以Planck辐射定律和红外探测元的线性响应模型为基础,在理论上完整地推导了红外焦平面阵列非均匀性的两点校正方法;据此,论证了两点校正方法的物理依据,即从理论上证明如果探测元是线性和稳定响应的,该方法则可以实现非均匀性的准确校正;初步分析了非均匀性校正中存在误差的问题。 展开更多
关键词 红外焦平面阵列 非均匀性 线性校正 线性响应模型 红外探测 两点校正
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