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题名高次碳化硅非球面次镜CGH补偿面形检测技术
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作者
唐卓睿
毛朝斌
张瀛怀
冯畅
丘敏艳
胡承
张鑫
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机构
季华实验室
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出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第2期94-100,共7页
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基金
广东省基础与应用基础研究基金项目(2023B1515120059)。
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文摘
次镜的全口径面形测量是干涉检测中的难点问题,为了实现同轴高次碳化硅非球面次镜的全口径面形检测,提出了一种基于CGH的零位补偿测量模型。利用该模型对90 mm口径的高次碳化硅非球面次镜进行了零位补偿设计。设计中,为了降低次镜的调整测试难度,采用平面波出射干涉仪、CGH及待测同轴高次碳化硅非球面次镜进行光路搭建设计。从设计分析可以得出,基于文中的次镜补偿设计方法,其补偿设计的理论设计精度RMS值为0 nm,验证了该设计方法的精度与准确性。同时,对该次镜进行了干涉检测及误差分析,其全口径面形检测结果 RMS值达到0.015λ(λ=632.8 nm),标定CGH透射波像差后其全口径面形检测结果 RMS值为0.016λ(λ=632.8 nm),进一步验证了文中方法的可靠性。
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关键词
干涉检测
零位补偿
计算全息
非球面次镜
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Keywords
interferometry
null compensation
computer generated hologram
aspherical convex mirror
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
O436.1
[机械工程—光学工程]
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题名Y型光纤折衍混合光谱共焦测距系统设计
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作者
黄贺
张斌智
张瀛怀
李鑫
郑仲
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机构
季华实验室
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出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第6期196-205,共10页
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基金
国家重点研发计划项目(2021YFB3704300)。
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文摘
对零件厚度和公差的检测是当前精密制造行业中非常重要的一个环节,其中基于光谱共焦的非接触式测量具有无应力、对被测物影响小和检测速度快等优点,在工业上被广泛应用于零件的厚度检测和公差检测。首先介绍了光谱共焦测距系统的分类和原理,然后基于Y型结构光谱共焦系统进行了设计,使用带有8°楔角接囗的APC(Angled Physical Contact)光纤,模块化地设计了整个光谱共焦系统,色散物镜的测量距离达到了2.1 mm,光谱仪分辨率达到了0.1 nm,采用多项式对测量曲线进行了拟合,理论分辨率达到了0.35μm,并对透镜的可加工性能进行了分析,在保证良好加工性能的同时具有较低的透镜成本,然后对色散物镜和光谱仪进行了公差分析,最后对色散物镜和光谱仪系统进行了结构设计。
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关键词
光谱共焦系统
非接触式
像差优化
光谱仪
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Keywords
spectral confocal system
non-contact
aberration optimization
spectrometer
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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