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题名石英晶振加力方位角的ANSYS分析与实验检验
被引量：3
- 1
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作者
宁永怀
田文杰
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第5期537-539,543,共4页
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基金
北京市科技发展基金资助项目(KM200610772009)
北京市高校学术创新团队基金资助项目(51050031)
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文摘
通过ANSYS8.0对几种石英晶振在加力方位角改变时的应力分布进行了分析计算,并通过实验对石英晶振频率变化和加力方位角关系进行了验证。实验表明,ANSYS8.0分析结果曲线和实验曲线几乎一致。利用此法分析了石英谐振器力敏特性简单、实用、高效。
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关键词
ANSYS分析
石英谐振器
方位角
力频特性
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Keywords
ANSYS analysis
quartz sensor
azimuth
force-frequency effect
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分类号
TP202
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性
被引量：3
- 2
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作者
田文杰
程红亚
宁永怀
崔媛媛
鄂然
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
中国电子技术标准化研究所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第6期641-643,共3页
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基金
北京市科技发展资助项目(KM200610772009)
北京市高校学术创新团队资助项目(51050031)
北京市传感器重点实验室资助项目(KM200710772022)
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文摘
利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性。在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力-频灵敏度系数可达251.9 Hz/N,输出特性非线性度小于0.5%满刻度(FS)。
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关键词
有限元法
多电极石英谐振器
力-频特性
非线性度
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Keywords
finite element method
multi-electrode quartz resonator
force-frequency characteristic
non-linear degree
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分类号
TP21
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系
- 3
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作者
田文杰
宁永怀
崔媛媛
鄂然
张福学
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期257-259,共3页
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基金
北京市高校学术创新团队基金(51050031)
北京市科技发展基金(KM200610772009)
北京市(传感器)重点实验室开放课题基金(66062019)
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文摘
根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器。采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较。实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数。
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关键词
石英单基多谐振器
力敏特性
加力方位角
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Keywords
quartz crystal single-base multi-resonator
force sensitive characteristic
adding force azimuth
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分类号
TH703.2
[机械工程—精密仪器及机械]
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