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B离子注入n(Si)-GaAs层的特性研究
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作者 刘伊犁 罗晏 +1 位作者 李国辉 姬成周 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1992年第4期472-477,共6页
B^+注入n(Si)-GaAs层,可以在带间引入与损伤相关的深能级,补偿自由电子,使n型导电层变为高阻层。若注B后退火,在一定的退火条件下,在GRAs晶格的恢复过程中,B占据Ga的位置,形成B_(Ga),并与As空位V_(As)络合形成络合物B_(Ga)V_(As)。由于B... B^+注入n(Si)-GaAs层,可以在带间引入与损伤相关的深能级,补偿自由电子,使n型导电层变为高阻层。若注B后退火,在一定的退火条件下,在GRAs晶格的恢复过程中,B占据Ga的位置,形成B_(Ga),并与As空位V_(As)络合形成络合物B_(Ga)V_(As)。由于B_(Ga)V_(As)和Si的相互作用,促使Si占据As的位置,形成受主,从而降低了n(Si)-GaAs层中的载流子浓度。我们认为B注入n(Si)-GaAs层光发光测量中观察到的1.33 eV峰与B,Si相关。 展开更多
关键词 离子注入 砷化镓 硼离子
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BF^+对^(29)Si^+注入GaAs层的影响
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作者 李国辉 韩德俊 +5 位作者 陈如意 罗晏 刘伊犁 姬成周 朱红清 王策寰 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1992年第4期478-482,共5页
研究了硅离子注入LEC生长的SI-Ga'As材料时BF^+对离子注入层特性的影响。认为BF^+的影响主要反应在B的影响,由于B的掺入使B替Ga位从而促使大量Si去替As位,形成B_(Ga)-Si_(As)和Si_(As)受主,从而减少了Si_(Ga)的施主浓度并且补偿了n... 研究了硅离子注入LEC生长的SI-Ga'As材料时BF^+对离子注入层特性的影响。认为BF^+的影响主要反应在B的影响,由于B的掺入使B替Ga位从而促使大量Si去替As位,形成B_(Ga)-Si_(As)和Si_(As)受主,从而减少了Si_(Ga)的施主浓度并且补偿了n型载流子浓度。因此B的掺入减小了注入层的电激活率。又因为B的掺入产生了一些空位和间隙原子等点缺陷,从而使注入层迁移率下降。实验说明避免BF^+对离子注入层的影响是提高注入层质量的重要关键。 展开更多
关键词 砷化镓 离子注入 硅离子
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MOSi_2生长动力学研究
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作者 刘伊犁 姬成周 林文廉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1988年第4期46-51,共6页
用超高真空电子束蒸发法,在单晶Si(100)衬底上淀积厚度为1000A的单层Mo膜,并在不破坏真空条件下,继续蒸镀120Aα-Si层。将样品在1.3×10^(-4)~2.6×10_(-4)Pa真空条件下退火,烧结硅化物。观察到硅化物的形成温度为500℃。通过5... 用超高真空电子束蒸发法,在单晶Si(100)衬底上淀积厚度为1000A的单层Mo膜,并在不破坏真空条件下,继续蒸镀120Aα-Si层。将样品在1.3×10^(-4)~2.6×10_(-4)Pa真空条件下退火,烧结硅化物。观察到硅化物的形成温度为500℃。通过500,525,550℃等温退火,得到MoSi_2生长厚度与退火时间的平方根成正比的结论。说明MoSi_2生长过程受主扩散元Si通过MoSi_2生长层的扩散限制,生长动力学服从抛物线规律。从而得到表观激活能E_a=1.92eV。 展开更多
关键词 界面反应 生长动力学 激活能
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杂质氧在离子束混合形成MoSi_2中的行为 被引量:1
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作者 姬成周 黄致新 刘伊犁 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1989年第A04期39-44,共6页
Mo膜中的杂质氧明显减慢了Xe^+离子轰击诱生的MoSi_2的生长速率,氧的内扩散和再分布是由损伤分布支配的.小电流密度(<5×10^(-7)A/cm^2)Xe^+离子轰击引起的Mo/Si混合区,随轰击剂量增大而增大,但不生成钼硅化物相;衬底适当加温(&g... Mo膜中的杂质氧明显减慢了Xe^+离子轰击诱生的MoSi_2的生长速率,氧的内扩散和再分布是由损伤分布支配的.小电流密度(<5×10^(-7)A/cm^2)Xe^+离子轰击引起的Mo/Si混合区,随轰击剂量增大而增大,但不生成钼硅化物相;衬底适当加温(>300℃)条件下,Xe^+离子轰击诱生的MoSi_2为六角结构.后退火温度大于850℃时,六角结构的MoSi_2转变为四角结构.选择适当的轰击剂量和衬底温度,利用离子束混合技术可以生长出不含氧杂质的均匀的Mosi_2层. 展开更多
关键词 离子束混合 再分布 硅化物生成
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快中子辐照抗菌素产生菌诱变育种的研究
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作者 张荫芬 蓝李桥 +1 位作者 张孝吉 刘伊犁 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1983年第1期49-54,共6页
快中子辐照在抗菌素产生菌育种上的应用,早已引起人们的重视.1945年,Myers 和Hanson 曾用42英寸迥旋加速器产生的快中子处理青霉素产生菌.1962年,Alikanian 用10—40千拉德剂量的快中子处理红霉素产生菌(Actinomyces erythreus)。
关键词 产生菌 中子辐照 诱变育种 吸水链霉菌 注量 诱变剂 拉德 中子源 次级电离 形态变异
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砷离子束感生铂硅化物的形成
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作者 刘伊犁 王忠烈 丁维清 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1985年第4期40-44,共5页
本文研究了砷离子感生硅化铂的形成与生长动力学.用150keV的砷离子束轰击在P型、(111)单晶硅上淀积一层铂的薄膜的样品.在铂膜与单晶硅界面附近观察到铂与硅两类原子的混合层.用RBS方法研究混合层的厚度与砷离子的剂量和能量,以及与轰... 本文研究了砷离子感生硅化铂的形成与生长动力学.用150keV的砷离子束轰击在P型、(111)单晶硅上淀积一层铂的薄膜的样品.在铂膜与单晶硅界面附近观察到铂与硅两类原子的混合层.用RBS方法研究混合层的厚度与砷离子的剂量和能量,以及与轰击时样品温度的依赖关系.用X射线衍射测量确认混合层的物相.实验结果说明,样品中存在的杂质如氧及氩将会影响硅化铂的形成与生长. 展开更多
关键词 混合层 硅化物 生长动力学 淀积 离子束混合 样品温度 溅射法 衍射线 背散射分析 离子轰击
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