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基于微谐振器的圆片级真空封装真空度测试技术 被引量:1
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作者 胥超 王敏 杨志 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期162-167,共6页
针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率... 针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率的测试。采用MEMS体硅工艺和共晶圆片键合技术实现了微谐振器的圆片级真空封装,利用微谐振器阻尼特性建立了谐振器品质因数与真空度的对应关系,通过设计的激励电路实现了微谐振器品质因数的在片测试,对不同键合腔体真空度下封装的MEMS微谐振器进行测试,测试结果显示该微谐振器在高真空度0.1~8 Pa范围内品质因数与真空度有很好的对应关系。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微谐振器 品质因数 真空度 圆片级真空封装
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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
2
作者 乔靖评 焦斌斌 +10 位作者 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该... 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程
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基于1D-DenseRNet的罐头真空度数据分类检测方法研究
3
作者 俞烁辰 张俊 +1 位作者 宋新杰 周锦云 《浙江农业学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期2846-2856,共11页
针对食品罐头真空度检测精度低、成本高的问题,为实现食品罐头真空度的无损检测,提高检测速度与精确度,提出利用激光位移传感器测量罐头顶部曲线数据,通过1D-DenseRNet模型对曲线数据进行分类的研究。该模型包括多个改进的密集连接模块... 针对食品罐头真空度检测精度低、成本高的问题,为实现食品罐头真空度的无损检测,提高检测速度与精确度,提出利用激光位移传感器测量罐头顶部曲线数据,通过1D-DenseRNet模型对曲线数据进行分类的研究。该模型包括多个改进的密集连接模块、门循环单元、注意力层和残差连接模块,提取时序电压序列特征和捕捉长期依赖关系。采用交叉验证的方法,分析了不同网络层对模型性能的影响。通过改变卷积层、结合注意力机制、不同的循环神经网络模块和残差网络结构,观察模型的准确率、模型大小等其他评价指标的变化,设计出最优的网络模型结构。实验数据表明,动量因子设定为0.9,学习率设定为0.0005时,结合了门循环单元的1D-DenseRNet模型小样本数据集上达到了最高的准确率(98.77%),且模型参数量也相对较小。对比单一的卷积神经网络及其他混合网络,展现了1D-DenseRNet模型处理食品罐头真空度检测任务的优势。 展开更多
关键词 罐头无损检测 神经网络 真空度检测 小样本数据分类
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基于锁定放大技术的真空度检测系统
4
作者 谭金博 于占东 《现代电子技术》 北大核心 2024年第20期33-38,共6页
针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理... 针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理。该方法能够提高检测系统的信噪比,使失调电压的测量精度获得提升。电桥的定温控制在XC866单片机中实现,采用继电反馈临界比例度法完成控制参数的自整定。最后,搭建了交流定温锁定放大真空度测试实验平台,并对真空检测的数据进行处理和标定。实验结果表明,交流定温锁定放大真空检测系统在10-1~103Pa范围内,真空度测量误差不超过15%,验证了所设计方案的有效性和可行性。 展开更多
关键词 电阻真空 真空度检测 锁定放大技术 交流定温电桥 XC866单片机 参数自整定
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离子推力器电参数对真空度及工质流率的敏感特性实验研究
5
作者 李贺 祁小峰 +4 位作者 张宏 陈新伟 颜能文 郑茂繁 刘超 《航天器环境工程》 CSCD 2024年第4期445-449,共5页
为探究影响LIPS-200离子推力器地面测试一致性的因素,深入理解离子推力器工作机理,通过实验研究获取了LIPS-200离子推力器电参数对真空度及工质流率的敏感特性。结果表明:真空度从2×10^(-3)Pa至1×10^(-2)Pa的变化过程中,束电... 为探究影响LIPS-200离子推力器地面测试一致性的因素,深入理解离子推力器工作机理,通过实验研究获取了LIPS-200离子推力器电参数对真空度及工质流率的敏感特性。结果表明:真空度从2×10^(-3)Pa至1×10^(-2)Pa的变化过程中,束电流为额定束电流的1.7%左右,而加速电流升高了3倍;在改变中和器工质流率时,束电流及阳极电压几乎没有变化;而在增大阳极及主阴极工质流率的过程中,阳极电压均减小,束电流随着阳极工质流率的增大而逐渐增大,随着主阴极工质流率的增大而逐渐减小。研究结果对提升离子推力器地面测试一致性及优化工作点设置具有参考价值。 展开更多
关键词 离子推力器 真空度 工质流率 电参数 实验研究
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交流定温电桥正交锁定放大真空度检测系统设计
6
作者 陈勇 于占东 谭金博 《电子设计工程》 2024年第17期45-50,56,共7页
针对中低真空环境高精度测量领域,提出了交流定温电桥正交锁定放大真空度检测方案。以电阻式真空规管作为桥臂构成定温电桥,并采用可调幅400 Hz交流信号激励。交流定温电桥的失调电压采用双相正交锁定放大技术进行精确提取。为使交流定... 针对中低真空环境高精度测量领域,提出了交流定温电桥正交锁定放大真空度检测方案。以电阻式真空规管作为桥臂构成定温电桥,并采用可调幅400 Hz交流信号激励。交流定温电桥的失调电压采用双相正交锁定放大技术进行精确提取。为使交流定温电桥保持在动态平衡状态,设计了PI调节器,并通过临界比例度法完成了校正环节的参数整定。仿真和实验表明,交流定温电桥正交锁定放大真空度检测方案可以在1×10^(2)~1×10^(5)Pa范围内,将真空度测量误差控制在10%以内,验证了该方案的有效性和可行性。 展开更多
关键词 真空度检测 交流定温电桥 失调电压 锁定放大
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基于毛毯吸水箱真空度评价毛毯保洁剂使用效果的研究
7
作者 金星明 《中国造纸》 CAS 北大核心 2024年第11期188-191,共4页
首先对纸机当前压榨部毛毯清洗保洁技术及评价方法进行了介绍;然后通过实例探讨基于纸机DCS系统显示的压榨部毛毯吸水箱真空度曲线来评价毛毯保洁剂使用效果的可行性,进而对毛毯保洁剂使用成本及经济效益进行了分析;最后总结了毛毯保洁... 首先对纸机当前压榨部毛毯清洗保洁技术及评价方法进行了介绍;然后通过实例探讨基于纸机DCS系统显示的压榨部毛毯吸水箱真空度曲线来评价毛毯保洁剂使用效果的可行性,进而对毛毯保洁剂使用成本及经济效益进行了分析;最后总结了毛毯保洁剂使用的必要性和强化压榨部毛毯的监测和检测手段的重要性。 展开更多
关键词 纸机DCS系统 吸水真空 真空度 毛毯保洁剂 使用效果
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超软淤泥地基处理中真空度传递特性研究 被引量:42
8
作者 朱群峰 高长胜 +3 位作者 杨守华 张凌 李东兵 汪璋淳 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1429-1433,共5页
为探索低位真空预压用淤泥替代密封膜的密封性及真空度在地基中传递规律,本文在超软淤泥地基处理工程中埋设原观仪器进行现场试验研究。结果表明:用淤泥替代密封膜进行密封其密封效果能满足要求;排水板和淤泥中的真空度沿深度衰减,排水... 为探索低位真空预压用淤泥替代密封膜的密封性及真空度在地基中传递规律,本文在超软淤泥地基处理工程中埋设原观仪器进行现场试验研究。结果表明:用淤泥替代密封膜进行密封其密封效果能满足要求;排水板和淤泥中的真空度沿深度衰减,排水板中真空度衰减速度与排水板周围土质存在密切关系;淤泥中真空度明显小于排水板中真空度,且存在一个启动过程。真空度在新吹填淤泥中的传递损失明显大于天然淤泥。 展开更多
关键词 低位真空预压 吹填淤泥 排水板中真空度 泥中真空度
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水库虹吸管驼峰真空度机理分析与控制 被引量:1
9
作者 陈革强 施俊跃 +3 位作者 卢健国 赫健 洪一民 徐招才 《水利技术监督》 2008年第4期50-51,73,共3页
通过对水库虹吸管驼峰真空度的形成机理进行分析,得出对虹吸管驼峰顶部真空度进行有效控制的技术措施。
关键词 虹吸管驼峰真空度 真空度机理分析 真空度控制
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真空断路器真空度检测方法研究现状与展望 被引量:5
10
作者 吴梦泽 宋建成 +1 位作者 高云广 陈姝姝 《工矿自动化》 北大核心 2018年第6期6-10,共5页
介绍了真空断路器真空度检测方法——观察法、工频耐压法、脉冲磁控放电法、屏蔽罩电位法等离线式检测方法和耦合电容法、局部放电法、旋转电场探头法、X射线法、内置传感器法等在线式检测方法的研究现状,分析了各方法的检测原理、特点... 介绍了真空断路器真空度检测方法——观察法、工频耐压法、脉冲磁控放电法、屏蔽罩电位法等离线式检测方法和耦合电容法、局部放电法、旋转电场探头法、X射线法、内置传感器法等在线式检测方法的研究现状,分析了各方法的检测原理、特点和应用情况。指出真空度离线式检测方法中脉冲磁控放电法和工频耐压法因为成本低、检测简单和重复性好,成为目前应用最广泛的真空度检测方法,但定期停机检查真空度成为制约该类方法发展的最主要因素;真空度在线式检测方法可实时检测真空度,及时发现真空度的劣化,但存在精度较低、成本高、抗干扰能力和稳定性较差等问题,因此未得到广泛应用。提出提高真空度在线式检测方法精度和融合多种真空度检测方法是真空断路器真空度检测方法的发展趋势。 展开更多
关键词 真空断路器 真空灭弧室 真空度 真空度检测方法
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真空玻璃真空度在线检测技术与应用 被引量:16
11
作者 刘小根 包亦望 +2 位作者 宋一乐 庞世红 邱岩 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2009年第1期101-105,共5页
采用光弹法和动态法在线检测真空玻璃的真空度.试验测试表明,通过光弹仪可以观测到真空玻璃支撑物与玻璃支撑点处因应力集中而产生的应力光斑,而且随着真空度的提高,应力光斑直径也增大.同时,采用动态法测得的真空玻璃的固有频率也随着... 采用光弹法和动态法在线检测真空玻璃的真空度.试验测试表明,通过光弹仪可以观测到真空玻璃支撑物与玻璃支撑点处因应力集中而产生的应力光斑,而且随着真空度的提高,应力光斑直径也增大.同时,采用动态法测得的真空玻璃的固有频率也随着其真空度的增大而增大.对该两种方法的原理、检测过程及工程应用进行了分析,该两种方法特点是操作简单,结果直观可靠,易于实现真空玻璃实际工程在线检测. 展开更多
关键词 真空玻璃 真空度 光弹法 动态法
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真空排水预压法中真空度分布的影响因素分析 被引量:23
12
作者 朱建才 温晓贵 +1 位作者 龚晓南 岑仰润 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1399-1401,1404,1408,共5页
结合浃里陈大桥试验段的真空度测试结果,分析了真空度分布与密封性、真空能量、深度、介质阻力、地下水位线等因素的相关联系.分析结果表明,上述各种因素对真空度的分布均有不同程度的影响;地下水位线对真空度的分布起阻挡作用;水位线... 结合浃里陈大桥试验段的真空度测试结果,分析了真空度分布与密封性、真空能量、深度、介质阻力、地下水位线等因素的相关联系.分析结果表明,上述各种因素对真空度的分布均有不同程度的影响;地下水位线对真空度的分布起阻挡作用;水位线以上的真空度是由抽气直接形成,而水位线以下的真空度主要是由于地下水位的下降或部分封存气体从软管末端逃逸引起的. 展开更多
关键词 真空排水预压法 真空度 密封性 地下水位线 软土地基
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真空排水预压工程中真空度的现场测试与分析 被引量:31
13
作者 岑仰润 俞建霖 龚晓南 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期603-605,共3页
在分析真空和负压基本物理概念的基础上,总结了真空排水预压工程中真空度现场测试技术和应用现状。通过室内试验及工程实践证明,真空排水预压情况下,地下水位以上的软粘土仍是饱和的,因此,对地下水位以上真空度测点,真空表读数实际反映... 在分析真空和负压基本物理概念的基础上,总结了真空排水预压工程中真空度现场测试技术和应用现状。通过室内试验及工程实践证明,真空排水预压情况下,地下水位以上的软粘土仍是饱和的,因此,对地下水位以上真空度测点,真空表读数实际反映的是该处的孔隙水压力;而对地下水位以下的真空度测点,真空表读数无意义。 展开更多
关键词 真空排水预压工程 地下水位 真空 负压 真空度 孔隙水压力
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潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用 被引量:8
14
作者 金大志 唐平瀛 +2 位作者 刘铁 谈效华 戴晶怡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期453-455,共3页
密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个... 密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个电极的密封电真空器件真空度的工作原理 ,设计了测试实验装置 ,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型 ,给出了有关实验数据。 展开更多
关键词 测量 潘宁放电 密封电真空器件 真空度 可靠性
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低真空度下土工离心机产热机理试验研究 被引量:10
15
作者 郑传祥 陈建阳 +2 位作者 蒋建群 林伟岸 陈云敏 《装备环境工程》 CAS 2020年第3期84-88,共5页
目的为1000 g以上的大型高速土工离心机提供散热方案,保证土工离心机的正常工作。方法通过试验研究和理论分析相结合的方法,研究低真空度下高速转子的产热机理,分析散热模式。结果绝对压力越高,离心室内的升温速度越快。不同真空度下(... 目的为1000 g以上的大型高速土工离心机提供散热方案,保证土工离心机的正常工作。方法通过试验研究和理论分析相结合的方法,研究低真空度下高速转子的产热机理,分析散热模式。结果绝对压力越高,离心室内的升温速度越快。不同真空度下(绝对压力10000、5000、3000、2000、1000 Pa),离心机驱动电机的输入功耗分别为2.17、3.79、5.17、7.66、11.56 kW。超重力高速土工离心机的产热主要由空气与高速转子的摩擦引起的第一热源,由高速旋转空气与离心舱壁面摩擦产生的第二热源,还有其他机构摩擦、空气与底部顶部摩擦产生的少量热源。结论第一热源产生的壁面热量可以通过设置冷却夹套快速带走,离心舱中心产生的第二热源的热量可以通过通入适量的冷风加以冷却,还可以通过注入冷却剂快速蒸发,利用汽化潜热进行快速冷却。 展开更多
关键词 土工离心机 风阻功率 真空度 产热机理
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考虑真空度衰减及涂抹区渗透系数变化的真空预压固结解析解 被引量:9
16
作者 吴跃东 吴鸿昇 +1 位作者 罗如平 曾垂昌 《河海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期122-128,共7页
为更好地将理论计算应用于实际真空预压工程并指导工程实践,假设真空度线性衰减,建立真空预压软基径向固结方程,得出超孔隙水压力的计算公式及固结度。研究了涂抹区渗透系数对固结的影响,分别给出了渗透系数不变和渗透系数线性变化时地... 为更好地将理论计算应用于实际真空预压工程并指导工程实践,假设真空度线性衰减,建立真空预压软基径向固结方程,得出超孔隙水压力的计算公式及固结度。研究了涂抹区渗透系数对固结的影响,分别给出了渗透系数不变和渗透系数线性变化时地基中平均孔压和固结度的解析解,并进行了分析。分析结果表明,真空度衰减系数k1与k2、井阻比n及涂抹区半径与排水体半径的比值s越小、非扰动区与涂抹区渗透系数比α越趋近s,则真空预压效果越好。将考虑真空度线性衰减的固结度解析解和Hansbo解与嘉兴港真空预压地基处理的实测数据进行对比,发现前者与实测数据更加吻合,且考虑涂抹区渗透系数线性变化的解更符合工程实际。 展开更多
关键词 真空度线性衰减 涂抹区 超孔隙水压力 固结度 嘉兴港地基处理
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真空度对碳纳米管场发射显示器的影响研究 被引量:3
17
作者 田昌会 朱长纯 +2 位作者 王琪琨 刘兴辉 王小力 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2005年第5期33-35,40,共4页
建立了碳纳米管场发射环境下电子与气体碰撞的数理模型。通过实验观察和理论分析说明:碳纳米管场发射显示器在常规阴阳极间距下,在不同真空度下的显示均为电子轰击荧光粉发光所致,在低真空度下也无气体放电产生紫外光致荧光粉发光;当真... 建立了碳纳米管场发射环境下电子与气体碰撞的数理模型。通过实验观察和理论分析说明:碳纳米管场发射显示器在常规阴阳极间距下,在不同真空度下的显示均为电子轰击荧光粉发光所致,在低真空度下也无气体放电产生紫外光致荧光粉发光;当真空度太低时,气体电离会降低实际加在阴阳极间的电压,致使电子无法发射。通过电子与气体分子的碰撞频率计算可以说明,用气体压力与阴阳极间距的乘积作为标准衡量气体对场发射的影响比仅用真空度来衡量更为合理。场发射显示器阴阳极间距越大,对真空度的要求越高。 展开更多
关键词 碳纳米管 场发射 真空度 电子碰撞频率
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汽轮机凝汽器真空度降低的原因及在线处理 被引量:4
18
作者 蒋红斌 张琰彬 +1 位作者 韩笑 赖全昌 《炼油技术与工程》 CAS 2009年第11期40-43,共4页
中国石化海南炼油化工有限公司连续重整装置重整氢增压机为国内炼油行业首台凝汽式汽轮机驱动的三段压缩机组,开工运行一年后凝汽器冷却效果变差,真空度降低,循环水和蒸汽耗量增大,压缩机工作点接近防喘振区。不停机状态下对凝汽器在线... 中国石化海南炼油化工有限公司连续重整装置重整氢增压机为国内炼油行业首台凝汽式汽轮机驱动的三段压缩机组,开工运行一年后凝汽器冷却效果变差,真空度降低,循环水和蒸汽耗量增大,压缩机工作点接近防喘振区。不停机状态下对凝汽器在线开盖检修,发现由于循环水冲击作用,管程隔板与管箱连接处发生变形移位,循环水短路,而且管束结垢严重,导致凝汽器换热能力下降。焊接改造和污垢清洗后,冷却效果明显好转,真空度提高,装置能耗和操作成本大幅度降低,汽轮机各运行参数接近设计值。 展开更多
关键词 连续重整装置 凝汽器 真空度 移位 结垢 在线处理
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罐头真空度电涡流检测法的研究 被引量:2
19
作者 王先路 朱武 +3 位作者 周永安 干蜀毅 王云芳 赵慧敏 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1993年第S1期80-84,共5页
本文在分析罐头盒盖受力的基础上,建立了罐内真空度与罐盖变形关系的数学模型,提出了用电涡流效应检测罐头真空度的方法,设计制作了微机化罐头真空度检测装置,实现了罐头真空度的无损检测。
关键词 罐头 真空度检测 电涡流效应
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便携式α谱仪中真空度影响特征试验研究 被引量:2
20
作者 黄连美 庹先国 +2 位作者 成毅 李哲 刘春来 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1512-1515,1524,共5页
针对真空度对α能谱分析中峰位、能量分辨率及探测效率的影响,开展了基于自主研发的便携式α谱仪真空度影响特征试验研究,在保证其它实验条件一致的情况下,对六种真空状态下的239Pu标准面源进行了测试。结果表明,α能谱峰位、能量分辨... 针对真空度对α能谱分析中峰位、能量分辨率及探测效率的影响,开展了基于自主研发的便携式α谱仪真空度影响特征试验研究,在保证其它实验条件一致的情况下,对六种真空状态下的239Pu标准面源进行了测试。结果表明,α能谱峰位、能量分辨率与真空度呈线性关系,随真空度增大,能谱峰位线性增加,能量分辨率随之线性变好;探测效率随真空度指数规律增加。根据上述测量结果,分别建立了三者与真空度之间的影响特征方程。建议在工作条件允许的情况下,加大真空度,提高谱仪性能。 展开更多
关键词 α能谱分析 真空度 峰位 能量分辨率 探测效率
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