混合集成电路可靠性

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摘要一、前言由于混合集成电路所用材料多、工艺复杂且批量小等原因,因此,与国外集成电路可靠性发展历史相似,国内混合电路研究与生产的起点和步伐比单块电路晚和慢,尤其在可靠性方面。至今国内有些厂家仍认为混合电路由于某些工艺固有特点(如金铝双金属内互连等)可靠性难以提高。因此,对检验规范、筛选条件等要求均订得很低。有的甚至不作筛选。

作者郑鹏洲

机构地区骊山微电子公司

出处《微电子学与计算机》 1986年第1期-,共4页 Microelectronics & Computer

关键词混合集成电路无源元件有源元件电路可靠性

分类号 TN7 [电子电信—电路与系统]

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