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抗PID多晶硅电池的磷扩散工艺改进

Improvement of Phosphorus Diffusion Process for Anti-PID Polycrystalline Silicon Cells
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摘要 电池组件在高电势差的影响下易发生电势诱导衰减(PID)。开发一种三次通源磷扩散工艺,可在较低方阻(70Ω~75Ω)下获得高效率。可通过调节温度、时间、扩散气体的流量等来获得预期的电池方阻。三次通源扩散工艺的最佳工艺参数为:扩散中心温度为830℃、氧气流量为1700 sccm、扩散氮的流量为2300 sccm、通源时间和再分布时间分别为250 s和700 s。该法制备的电池所形成的组件在(85℃+85%RH+负1000V+96H)条件下峰值功率衰减了0.62%,满足峰值功率变化小于5%的抗PID要求。 The potential induced dedradation(PID)phenomenum will happen under the influence of high potential difference.By exploring a new method of diffusing phosphorus three times,high efficiency at lower sheet square resistances(70Ω~75Ω)can be obtained.The predicted square resistances can be achieved by changing the temperature,time and the diffusion gas flow.The best process parameters are diffusion center temperature of 830℃,O 2 flow rate of 1700 sccm,diffusion nitrogen flow rate of 2300 sccm,and source time and redistribution time of 250 s and 700 s,respectively.The peak power of the module formed by the battery prepared according to the method of diffusing phosphorus three times under the condition of(85℃+85%RH+minus1000V+96H)is attenuated by 0.62%,which meets the anti-PID requirement that the peak power change is less than 5%.
作者 黄爽鑫 肖慧萍 曹家庆 李文博 HUANG Shuangxin;XIAO Huiping;CAO Jiaqing;LI Wenbo(School of Materials and Engineering,Nanchang Hangkong University,Jiangxi Nanchang,330063,China;Office of Educational Administration,Nanchang Hangkong University,Jiangxi Nanchang,330063,China)
出处 《江西化工》 2022年第1期1-5,共5页 Jiangxi Chemical Industry
基金 国家自然科学基金(项目编号:51862025) 江西省自然科学基金(项目编号:20192BAB206012) 江西省教改课题(项目编号:JXJG-19-8-1) 南昌航空大学教改课题(项目编号:JY2064) 南昌航空大学材料科学与工程学院一流课程建设经费资助
关键词 电势诱导衰减 三次通源磷扩散 方块电阻 峰值功率衰减 Potential induced degradation Diffusing phosphorus three times Sheet resistance Peak power attenuation
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参考文献2

二级参考文献2

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