摘要
本文针对一字型悬臂梁RF MEMS开关,提出了两种降低驱动电压RF MEMS开关的方法,分别为:增大局部驱动面积和降低弹性系数。根据这两种方法设计了4种形状的悬臂梁开关,分别为增大局部驱动面积的十字型梁,降低弹性系数的三叉戟型、蟹钳型和折叠型梁。在梁的长度、厚度和初始间隙等参数一致的情况下,通过CMOSOL软件建模仿真得到了这4种悬臂梁的驱动电压,分别为7.2 V、5.6 V、3.8 V和3.6 V。相比于驱动电压为9 V的一字型悬臂梁,优化后的这4款开关可以降低驱动电压。并且低弹性系数方面,比增大局部驱动面积的开关效率要高。
出处
《电子产品世界》
2020年第7期81-84,共4页
Electronic Engineering & Product World
基金
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金支持。
作者简介
欧书俊(1995-),男,硕士,研究方向为MEMS器件设计与工艺;张国俊(1960-),男,教授,主要从事新型功率半导体器件、集成电路设计和微细加工。
