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场发射扫描电镜在半导体中的若干应用

Some Applications of FESEM To Semiconduetors

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摘要本文简要说明场发射扫描电镜(FESEW)的特点及其在半导体中的若干应用。 This paper briefly describes the characteristics of FESEM and some applications to semiconductors.

作者葛玉如

机构地区中国科学院半导体研究所

出处《电子显微学报》 CAS 1982年第2期61-65,85-86,共7页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词加速电压形貌 FESEM 电压衬度电子枪场发射扫描电镜半导体材料电工材料

分类号 G6 [文化科学—教育学]

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电子显微学报

1982年第2期

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