福建物构所发现新型无铍深紫外非线性光学晶体材料

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摘要深紫外激光由于波长短、加工精度高的优点,在半导体光刻、激光光电子能谱仪和激光切割等方面具有重要应用。目前,KBe2BO3F2(KBBF)是唯一能实际输出深紫外激光的非线性光学(NLO)晶体,但是,KBBF含剧毒铍元素且其晶体层状生长习性严重。因此,急需探索新型深紫外NLO晶体材料。

机构地区中国科学院福建物质结构研究所

出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期710-710,共1页 Journal of Synthetic Crystals

关键词非线性光学晶体紫外激光晶体材料物质结构研究半导体光刻激光切割光电子能谱仪生长习性光电材料军华

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人工晶体学报

2016年第3期

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