摘要
对硅片表面杂质浓度扩散方程,通过对初、边值条件的仔细观察,根据其具有的特点,提出了一种差分求解格式,数值试验表明该格式条件稳定、有效。
This paper talks about the diffusion equation of impurity concentration on the surface of silicon wafer. A finite difference scheme is put forward after a careful observation of initial conditions and boundary ones according to its characteristics. Numerical experiments show that the presented scheme is conditionally stable and effective.
出处
《西华师范大学学报（自然科学版）》
2017年第1期92-96,共5页
Journal of China West Normal University(Natural Sciences)
基金
重庆市自然科学基金项目(CSTC
2010BB8270)
关键词
扩散方程
差分格式
数值解
有效性
条件稳定
diffusion equation
difference scheme
numerical solution
effectiveness
conditionally stable
作者简介
杜绍洪（1972-），男，四川阆中人，博士，副教授，主要从事有限元方法及偏微分方程数值解的研究。通信作者：杜绍洪，E-mail：duzheyan．student@sina．com
