电场探测先进传感器关键技术及应用

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摘要该成果属于电子通讯领域。主要创新点包括：1发明了微型电场传感器高性能敏感结构。提出并实现了静电梳齿差分激励、热激励驱动电极和上下遮蔽式、共面屏蔽式阵列感应电极，获得了国际最高分辨力的微结构电场敏感单元。

出处《中国科技奖励》 2016年第3期46-47,共2页 China Awards for Science and Technology

关键词电场传感器电场探测应用技术感应电极敏感单元电子通讯高分辨力

1电场探测先进传感器关键技术及应用[J].中国科技成果,2015,0(20).
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中国科技奖励

2016年第3期

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