摘要
石英是MEMS元器件的重要基底材料,其各向异性湿法刻蚀过程极为复杂。Level Set方法作为一种隐式追踪运动界面的方法,可用于追踪复杂运动界面。详细说明了Level Set方法在石英各向异性湿法刻蚀模拟中的应用过程,包括构建函数、控制方程、数值解法和重新初始化。通过Z切石英凹槽、凸台刻蚀形貌SEM图和模拟结果的对比,表明基于Level Set方法开发的石英湿法刻蚀三维形貌模拟程序是稳定有效的。
Quartz is an important for MEMS and its anisotropic wet substrat etching e material process 1S quite complex. As an implicit-expression mathematical approach for the capture of dynamic surface, the Level Set （LS） method can be used to track complex motions. The application process of LS method simulation of quartz is introduc in ed 3-D micro-structure in detail, including building LS function and control equation, numerical solution and reinitialization. Then, the simulation results of 3-D micro-structures of the mesas and cavities of Z-cut quartz after anisotropic wet etching are compared with the SEM pictures, and the results verify that the developed simulation program is stable and effective
出处
《传感器世界》
2016年第4期7-11,共5页
Sensor World
基金
江苏省前瞻性联合研究项目(NO.BY2015070-06)
关键词
LEVEL
SET
Z切石英
湿法刻蚀
三维形貌模拟
Level Set （LS）
Z-cut quartz
anisotropic wet etching
3-D micro-structure simulation
作者简介
蔡鹏鹏，东南大学研究生，从事MEMS微结构加工工艺研究。通讯地址：南京市江宁区东南大学路2号东南大学九龙湖校区机械工程学院邮编：211189邮箱：ppcaid@163．com
仇晓黎，东南大学教授，从事CAD／CAM／CAPP／CAE、数控技术、先进制造技术等方面研究。
幸研，东南大学教授，从事微纳加工工艺及其表面质量控制、微纳工艺物理计算模型研究等方面研究。
