期刊文献+

一种力平衡式隧道加速度传感器的特性研究 被引量:5

Characteristic Research for a Balancing Force Tunneling Macro-accelerator
在线阅读 下载PDF
导出
摘要 本文主要阐述了闭环微硅加速度计的工作原理和动态模型 ,并与开环系统相比较 ,其一些静态和动态特性得到改善 ,同时 。 The paper firstly gives closed loop macro accelerator work principal and dynamic model. Then, comparing with open loop system, some performance of static and dynamic state of closed loop ones are improved, in the same time, other performance that becmes bad, could be calibrated through adding some pure electro tache into the system. In additional, some design methods in the time and frequency area are presented.
作者 张旭
出处 《电子器件》 CAS 2001年第4期295-300,共6页 Chinese Journal of Electron Devices
关键词 微硅 隧道加速度计 力平衡式 传感器 macrosilicon Tunning accelerator force balancing.
  • 相关文献

参考文献6

二级参考文献4

  • 1Shen Shaoqun,Sensors and Actuators A,1992年,34卷,101页
  • 2余瑞芬,传感器原理(第2版),1995年
  • 3孙训方,材料力学.上(第2版),1991年
  • 4陈德英,茅盘松.振动式微硅型加速度传感器的研究[J].固体电子学研究与进展,1999,19(2):157-162. 被引量:2

共引文献13

同被引文献20

  • 1龙志峰,韩荔,李庆祥,白立芬.微硅隧道加速度变送器的优化设计[J].仪器仪表学报,2001,22(z2):193-1294. 被引量:3
  • 2俞阿龙,黄惟一.加速度传感器的动态性能校正技术[J].测控技术,2004,23(7):5-7. 被引量:7
  • 3高锋,谭春毅.新型双向加速度传感器MMA6260的原理与应用[J].传感技术学报,2005,18(1):150-152. 被引量:4
  • 4陈渝,郁发新,王慧泉,金仲和,王跃林.电容式力平衡加速度计的设计[J].传感技术学报,2006,19(2):411-414. 被引量:10
  • 5Jia Yubin, Hao Yilong, Zhang Rong Bulk-Silicon Resonant Accelerometer[J]. Chinese Journal Of Semiconductors,2005,26(2) : 281
  • 6Kraft M, Lewis C, P, Hesketh T, G, Closed-Loop Silicon Accelerometers[J ]. IEEE Proc-Circuit s Syst, 1998,146 (5) : 325
  • 7Weiping Chen, Hong Chen, Xiaowei Liu, Xiaoyun Tan. A Hybrid Micro-Accelerometer System with CMOS Readout Circuit and Self-Test Function [J]. Mechatronics, MEMS, and Smart Materials, 2005,6040 (604004) : 33-37
  • 8王显正,陈正航,王旭东,控制理论基础[J].科学出版社,2004:7
  • 9Navid Yazdi, Farrokh Ayazi, Khalil Najafi. Micromachined Inertial Sensors[J]. Proceedings of the IEEE, 1998, 86(8): 1641
  • 10Colinet E,Juillard J,Kielbasa R, Self-Calibration Method for a Sigma-Delta Micro Accelerometer [C]//Instrumentation and Measurement Technology Conference,2004:1170

引证文献5

二级引证文献11

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部