摘要
光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行转换,可同时获得DOE远场衍射图样的极平衡性、极张角、极方位角、半孔径角和径向光强分布等多种光学特性参数。实验中,对国外加工的产生四极照明模式的DOE进行了远场多参数检测与分析,结果表明该方法可以满足光刻机光瞳整形DOE的检测要求。
Diffractive optical element （DOE） is widely used to generate various illumination modes for pupil shaping in the lithography system. A far-field multi-parameter measuring method for the DOE is proposed according to its testing requirements of optical performance. The multi-parameters of optical performance, such as the pole balance, the pole opening angle, the pole azimuth angle, the semi-aperture angle, and the radial intensity distribution are obtained simultaneously by converting the far-field intensity distribution. The multi-parameter measurement and analysis of DOE made abroad are done experimentally. And the experimental results indicate that this measuring method can be applied to the testing of DOE for pupil shaping in the lithography system.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期167-171,共5页
Chinese Journal of Lasers
基金
国家国际科技合作项目(2011DFR10010)
国家科技重大专项课题(2011ZX02402)
关键词
测量
光学检测
衍射光学元件
多参数检测
经纬坐标变换
measurement
optical testings diffractive optical element
multi-parameter measurement
latitude-longitude coordinate transform
作者简介
胡中华（1984-），男，博士研究生，主要从事高数值孔径光学光刻技术方面的研究。E—mail：huzhonghua@siom．ac．cn
导师简介：黄惠杰（1966-），男，研究员，博士生导师，主要从事光散射测量技术、光学生物传感技术、光学检测技术和光学光刻技术等方面的研究。E-mail：huanghuijie@siom．ac．cn（通信联系人）
