摘要
针对材料和结构均特殊的透明材料微小器件的键合质量检测,提出了可见光透射机器视觉检测法。分析了检测系统硬件中主要部件的性能要求,研究了该检测系统的图像处理技术。检测系统利用光源、相机、镜头和计算机等主要部件实现图像采集功能,并通过图像相减、灰度直方图调整、图像滤波和图像二值化等图像处理功能来完成质量检测。实验结果表明,提出的可见光透射机器视觉检测法能灵敏有效地检测出透明材料微小器件键合位置处存在的键合间隙和缺陷大小,检测精度可达10μm,满足透明材料微小器件键合质量的要求,是一种高效、非接触、无损、无污染的检测方法。
A visible light transmittance machine vision detection method was put forward to measure the bonding quality of micro devices made by transparent materials with specific compositions and structures. The performance requirements of main components in the system hardware was analyzed, and the image processing techniques for the detection system were researched. The visible light trans- mittance machine vision detection system captured the image with the main components of the light source, camera, lens and the computer and implemented quality testing by image subtraction, gray histogram adjustment, image filtering and image binarization. Experimental results indicate that the proposed detection method can detect the bonding gaps of the micro devices made by transparent mate- rials sensitively and effectively, and the detection accuracy of flaw size is about 10 μm. The results meet the detection requirements of micro devices for bonding quality and verify that the method is effi- cient, non-contact, non-destructive and non-polluting.
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期69-76,共8页
Optics and Precision Engineering
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50705074)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA04Z330)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
关键词
机器视觉
可见光透射
微器件
键合质量检测
machine vision
visible light transmittance
micro device
bonding quality testing
作者简介
王小鹏（1972-），男，山东单县人，博士，副教授，硕士生导师，1996年于西安交通大学获得学士学位，主要从事生物微纳器件设计与制备，结构动力学方面的研究。E—mail：xpwang@mail．xjtu．edu．cn
刘志华（1987-），女，河南周口人，硕士研究生，2005年于西安工程大学获得学士学位，2012年在西安交通大学获得硕士学位，主要进行透明材料键合质量检测技术方面的研究。E—mail：liu．zhi．hua@stu．xjtu．edu．cn
陈天宁（1956-），男，浙江宁波人，博士，教授，博士生导师，1982年于西安交通大学获得学士学位．主要从事振动与噪声控制和机械动力学方面的研究。Email：tnchen@mail．xjtu．edu．cn
